Гранит өзгөчө механикалык касиеттери жана бышыктыгы үчүн вафли иштетүү тармагында популярдуу материал болуп саналат.Бул бүткүл дүйнө жүзүндөгү карьерлерден казылып алынган табигый таш жана кылымдар бою ар кандай курулуш максаттарында, анын ичинде жарым өткөргүч жабдууларды өндүрүүдө колдонулган.Бул макалада биз граниттин касиеттерин жана анын пластинкаларды иштетүүчү жабдууларда колдонулушун талкуулайбыз.
Граниттин касиеттери
Гранит - слюда, талаа шпаты жана кварцтан турган магмалык тоо тек.Ал жогорку тактыкты жана тактыкты талап кылган колдонмолор үчүн идеалдуу материал кылып, өзгөчө күчү, катуулугу жана бышыктыгы менен белгилүү.Граниттин жылуулук кеңейүү коэффициенти төмөн, башкача айтканда, температуранын өзгөрүшүнө байланыштуу кеңейбейт же жыйрылбайт, бул аны абдан туруктуу кылат.Андан тышкары, гранит коррозияга жана химиялык заттарга туруктуу, бул аны катаал шарттарда колдонуу үчүн идеалдуу материал кылат.
Wafer иштетүүчү жабдууларда граниттин колдонулушу
Гранит касиеттеринин уникалдуу айкалышынан улам вафли иштетүү өнөр жайында кеңири колдонулган материал.Төмөндө вафли иштетүүчү жабдууларда граниттин айрым колдонмолору бар:
1. Метрология куралдары
Гранит көбүнчө координаталык өлчөө машиналары (CMMs) жана оптикалык өлчөө системалары сыяктуу метрология куралдарын өндүрүүдө колдонулат.Бул шаймандар термелүүгө жана ысыкка туруштук бере ала турган туруктуу беттерди талап кылат.Граниттин жогорку катуулугу жана аз термикалык кеңейиши аны мындай колдонмолор үчүн идеалдуу материал кылат.
2. Вафель Чакс
Вафли патрондору өндүрүш процессинде пластиналарды кармоо үчүн колдонулат.Бул патрондор пластинка ийилип калбашы үчүн жалпак жана туруктуу бетти талап кылат.Гранит жалпак бети менен камсыз кылат, ал абдан туруктуу жана ийрүүгө туруктуу, аны вафли патрондору үчүн эң сонун материал кылат.
3. Химиялык механикалык жылмалоо (CMP) куралдары
CMP куралдары өндүрүш процессинде пластиналарды жылтыратуу үчүн колдонулат.Бул шаймандар термелүүгө жана ысыкка туруштук бере ала турган туруктуу платформаны талап кылат.Граниттин эң сонун катуулугу жана аз термикалык кеңейиши аны CMP шаймандары үчүн идеалдуу материал кылат.
4. Вафельди текшерүүчү жабдуулар
Вафлиди текшерүүчү жабдуу пластиналарды кемчиликтерди жана кемчиликтерди текшерүү үчүн колдонулат.Бул куралдар так өлчөөлөрдү камсыз кылуу үчүн туруктуу жана жалпак бетти талап кылат.Гранит туруктуу жана жалпак бетти камсыздайт, ал кыйшаюуга туруштук берет, бул пластинаны текшерүүчү жабдуулар үчүн идеалдуу материал болуп саналат.
Корутунду
Жыйынтыктап айтканда, гранит өзгөчө механикалык касиеттери жана бышыктыгы үчүн вафли иштетүү тармагында кеңири колдонулган материал болуп саналат.Ал көбүнчө метрология куралдарын, пластинкаларды, CMP куралдарын жана пластиналарды текшерүү жабдууларын өндүрүүдө колдонулат.касиеттердин уникалдуу айкалышы аны жогорку тактыкты жана тактыкты талап кылган колдонмолор үчүн идеалдуу материал кылат.Анын көптөгөн артыкчылыктары менен гранит вафли иштетүүчү жабдуулар үчүн популярдуу тандоо бойдон калууда жана аны колдонуу келечекте дагы өсө берет.
Посттун убактысы: 27-декабрь 2023-жыл