Чип өндүрүшүнүн негизги звеносунда - пластинаны сканерлөөдө, жабдуулардын тактыгы чиптин сапатын аныктайт. Жабдуунун маанилүү компоненти катары гранит машинасынын негизинин жылуулук кеңейүү көйгөйү көп көңүлдү бурду.
Граниттин жылуулук менен кеңейүү коэффициенти, адатта, 4төн 8×10⁻⁶/℃ге чейин болот, бул металлдар менен мрамордукуна караганда бир топ төмөн. Бул температура өзгөргөндө анын өлчөмү салыштырмалуу аз өзгөрөрүн билдирет. Бирок, жылуулук менен кеңейүүнүн төмөндүгү жылуулук менен кеңейүүнүн жок экендигин билдирбей турганын белгилей кетүү керек. Температуранын кескин өзгөрүшүндө, эң кичинекей кеңейүү да пластинаны сканерлөөнүн наноөлчөмдөгү тактыгына таасир этиши мүмкүн.
Пластинаны сканерлөө процессинде жылуулук кеңейишинин бир нече себептери бар. Цехтеги температуранын өзгөрүшү, жабдуулардын компоненттеринин иштешинен пайда болгон жылуулук жана лазердик иштетүүдөн улам пайда болгон жогорку температура гранит негизинин "температуранын өзгөрүшүнөн улам кеңейип жана кысылып" калышына алып келет. Негиз жылуулук кеңейгенден кийин, жетектөөчү рельстин түздүгү жана платформанын тегиздиги өзгөрүп, пластина столунун кыймыл траекториясынын туура эмес болушуна алып келиши мүмкүн. Колдоочу оптикалык компоненттер да жылып, сканерлөөчү нурдун "өзгөрүшүнө" алып келет. Узак убакыт бою тынымсыз иштөө каталарды топтоп, тактыкты начарлатат.
Бирок кабатыр болбоңуз. Адамдарда буга чейин эле чечимдер бар. Материалдар жагынан алганда, жылуулук кеңейүүсүнүн төмөнкү коэффициентине ээ гранит тамырлары тандалып алынып, эскирүү менен иштетилет. Температураны көзөмөлдөө жагынан алганда, цехтин температурасы 23±0,5℃ же андан да төмөн деңгээлде так көзөмөлдөнөт, ошондой эле негиз үчүн активдүү жылуулукту таркатуу түзүлүшү да иштелип чыгат. Конструкциялык дизайн жагынан алганда, симметриялуу конструкциялар жана ийкемдүү тирөөчтөр колдонулат, ал эми реалдуу убакыт режиминде мониторинг температура сенсорлору аркылуу жүргүзүлөт. Жылуулук деформациясынан келип чыккан каталар алгоритмдер менен динамикалык түрдө оңдолот.
ASML литография машиналары сыяктуу жогорку класстагы жабдуулар ушул ыкмалар аркылуу гранит негизинин жылуулук кеңейүү эффектин өтө кичинекей диапазондо кармап турат, бул пластинаны сканерлөөнүн тактыгын нанометрдик деңгээлге жеткирүүгө мүмкүндүк берет. Ошондуктан, эгерде ал туура башкарылса, гранит негизи пластинаны сканерлөөчү жабдуулар үчүн ишенимдүү тандоо бойдон калууда.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 12-июну