Чип өндүрүшүнүн негизги звеносунда – пластинаны сканерлөөдө, жабдуулардын тактыгы чиптин сапатын аныктайт. Жабдуулардын маанилүү компоненти катары гранит машинасынын базасынын термикалык кеңейүү маселеси көп көңүл бурду.
Граниттин термикалык кеңейүү коэффициенти, адатта, 4 жана 8 × 10⁻⁶/℃ ортосунда болот, бул металлдар менен мраморго караганда бир топ төмөн. Бул температура өзгөргөндө, анын өлчөмү салыштырмалуу аз өзгөрөт дегенди билдирет. Бирок, төмөнкү жылуулук кеңейүү эч кандай жылуулук кеңейүү жок дегенди билдирбейт экенин белгилей кетүү керек. Температуранын кескин өзгөрүүсүндө, кичине эле кеңейүү да вафли сканерлөөнүн нано масштабдагы тактыгына таасир этиши мүмкүн.
Вафли сканерлөө процессинде термикалык кеңейүүнүн пайда болушунун көптөгөн себептери бар. Цехтеги температуранын өзгөрүшү, жабдуулардын тетиктеринин иштешинен пайда болгон жылуулук жана лазердик иштетүү менен алып келинген бир заматта жогорку температура гранит негизинин «температуранын өзгөрүшүнөн улам кеңейип, жыйрылышына» себеп болот. Негизги жылуулук кеңейүүсүнө дуушар болгондон кийин, багыттоочу рельстин түзлүгү жана платформанын тегиздиги четтеп кетиши мүмкүн, натыйжада пластинка үстөлүнүн кыймыл траекториясынын так эмес болушуна алып келет. Колдоочу оптикалык компоненттер да жылып, сканерлөө нурунун "четтөөсүнө" себеп болот. Узак убакыт бою тынымсыз иштөө да каталарды топтоп, тактыкты ого бетер начарлатат.
Бирок кабатыр болбо. Элде мурунтан эле чечимдер бар. Материалдар боюнча, жылуулук кеңейүү коэффициенти төмөн гранит тамырлар тандалып, эскирүү дарылоосуна дуушар болот. Температураны көзөмөлдөө жагынан, цехтин температурасы 23 ± 0,5 ℃ же андан да төмөн так көзөмөлдөнөт, ошондой эле база үчүн активдүү жылуулук таркатуучу аппарат иштелип чыгат. Структуралык долбоорлоо жагынан симметриялуу структуралар жана ийкемдүү таянычтар кабыл алынып, реалдуу убакыт режиминде температуралык сенсорлор аркылуу мониторинг жүргүзүлөт. Термикалык деформациядан келип чыккан каталар алгоритмдер менен динамикалык түрдө оңдолот.
ASML литографиялык машиналары сыяктуу жогорку деңгээлдеги жабдуулар, бул ыкмалар аркылуу гранит базасынын термикалык кеңейүү эффектин өтө кичинекей диапазондо сактап, пластинаны сканерлөө тактыгын нанометрдик деңгээлге жеткирүүгө мүмкүндүк берет. Ошондуктан, ал туура көзөмөлдөнүп турганда, гранит базасы пластиналарды сканерлөөчү жабдуулар үчүн ишенимдүү тандоо бойдон калууда.
Посттун убактысы: Jun-12-2025