Эмне үчүн жарым өткөргүч жабдуулар гранит негиздерине таянат: ±0,001 мм туруктуулуктун сыры

Жарым өткөргүчтөр тармагында тактык жөн гана көрсөткүч эмес, ал бүтүндөй өндүрүш процессинин негизи болуп саналат. Пластинаны текшерүүдөн жана литографиядан баштап, оптикалык тегиздөө жана метрология системаларына чейин, жабдуулар позициялоонун өтө туруктуу тактыгын сакташы керек. Бир нече микрон четтөө да өлчөө каталарына, түшүмдүүлүктүн төмөндөшүнө же түзмөктүн иштебей калышына алып келиши мүмкүн.

Мына ошондуктан гранит негиздери жарым өткөргүч жабдууларда маанилүү структуралык компонентке айланган. Өзгөчө катуулугу, титирөөнү басуусу жана жылуулук туруктуулугу менен белгилүү болгон өтө так гранит конструкциялары ±0,001 мм позициялоо туруктуулугуна жетүү үчүн зарыл болгон туруктуу таяныч негизди камсыз кылат.

ZHHIMG компаниясында биз өндүрөбүзжогорку тактыктагы гранит негиздерижарым өткөргүчтөр жана метрология колдонмолору үчүн атайын иштелип чыккан, кийинки муундагы өтө так жабдууларды колдойт.

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдөгү тактык маселеси

Жарым өткөргүчтөрдү жасоо процесстери өтө кичинекей масштабда иштейт. Көптөгөн заманбап процесстер нанометр деңгээлиндеги позициялоо тактыгын талап кылат, бул жабдуулардын структуралык негизи өзгөрүп турган айлана-чөйрөнүн шарттарында кемчиликсиз туруктуу бойдон калышы керек дегенди билдирет.

Негизги кыйынчылыктарга төмөнкүлөр кирет:

• Айлана-чөйрөнүн температурасынын өзгөрүшүнөн улам пайда болгон жылуулук кеңейүүсү

• Жакын жердеги техникадан же курулуш конструкцияларынан чыккан титирөө

• Оор жүктөмдөр астында механикалык деформация

• Узак мөөнөттүү өлчөмдүү дрейф

Эгерде базалык түзүлүш туруксуз болсо, эң өнүккөн сенсорлор, сызыктуу кыймылдаткычтар же оптикалык компоненттер да тегиздөөнүн тактыгын сактай албайт.

Дал ушул жерде өтө так гранит негиздери олуттуу артыкчылык берет.

Эмне үчүн гранит жарым өткөргүч жабдуулардын негиздери үчүн идеалдуу материал болуп саналат

1. Метрология системаларындагы жогорку жылуулук туруктуулугу

Жарым өткөргүч жабдуулардагы эң маанилүү талаптардын бири - метрологиядагы жылуулук туруктуулугу. Материалдар температура өзгөргөндө кеңейет жана кысылат, бул өлчөөнүн тактыгына түздөн-түз таасир этет.

Жогорку тыгыздыктагы табигый кара гранит көптөгөн металлдарга салыштырмалуу жылуулук кеңейүү коэффициенти өтө төмөн. Бул гранит негиздерине температуранын анча чоң эмес өзгөрүүлөрү болгон чөйрөлөрдө да геометриялык туруктуулукту сактоого мүмкүндүк берет.

Микрондон төмөн тактыкты талап кылган жарым өткөргүчтөрдү текшерүү жана метрология системалары үчүн бул туруктуулук абдан маанилүү.

2. Өзгөчө титирөөнү басуу

Жарым өткөргүч жабдуулар көбүнчө төмөнкү сыяктуу жогорку ылдамдыктагы кыймыл системаларын бириктирет:

• Сызыктуу моторлор

• Аба көтөрүүчү баскычтар

• Оптикалык сканерлөө системалары

• Так позициялоо модулдары

Бул системалар иштөө учурунда микровибрацияларды пайда кылат. Граниттин табигый кристаллдык түзүлүшү термелүүнү эң сонун басаңдатууну камсыз кылат, бул металл конструкцияларына караганда энергияны алда канча тез сиңирүүгө жана таркатууга жардам берет.

Натыйжада, гранит негиздери өлчөө системаларындагы ызы-чууну азайтып, позициялоонун тактыгын жакшыртат.

3. Жогорку катуулук жана жүктүн туруктуулугу

Өтө так жабдуулар төмөнкү сыяктуу оор компоненттерди камтышы мүмкүн:

• Оптикалык модулдар

• Вафли баскычтары

• Вакуум системалары

• Так кыймыл платформалары

Гранит жогорку кысуу күчүн жана конструкциялык катуулукту камсыз кылат, бул ага деформацияланбастан оор жүктөрдү көтөрүүгө мүмкүндүк берет. Металл конструкцияларынан айырмаланып, гранит ички чыңалууну басаңдатпайт, башкача айтканда, ал өзүнүн формасын жана тактыгын узак убакыт бою сактайт.

Бул гранитти CMM машиналары, жарым өткөргүчтөрдү текшерүү жабдуулары жана оптикалык тегиздөө системалары үчүн артыкчылыктуу негизги материалга айлантат.

4. Коррозияга туруктуулук жана узак мөөнөттүү туруктуулук

Таза бөлмө шарттарында материалдар туруктуу жана булганбаган бойдон калышы керек. Граниттин бир нече табигый артыкчылыктары бар:

• Магниттик эмес

• Коррозияга туруктуу

• Дат баспаган

• Аз тейлөө

Бул касиеттер жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү жайлар жана өнүккөн лабораториялар сыяктуу жогорку тактыктагы чөйрөлөрдө узак мөөнөттүү кызмат мөөнөтүн жана ишенимдүү иштөөнү камсыз кылат.

Жарым өткөргүч жабдууларда гранит негиздеринин колдонулушу

Ушул артыкчылыктардан улам, жарым өткөргүч жабдуулар үчүн гранит негиздери төмөнкүлөрдө кеңири колдонулат:

• Вафли текшерүүчү машиналар

• Жарым өткөргүчтөрдүн метрология системалары

• Оптикалык тегиздөө платформалары

• Литографиянын подсистемаларынын түзүлүштөрү

• Аба көтөрүүчү кыймылдуу платформалар

• Так координата өлчөөчү машиналар (CMM)

Көптөгөн өнүккөн системаларда гранит негизи негизги таяныч бети катары кызмат кылат, бул бардык кыймыл компоненттеринин так тегизделүүсүн камсыздайт.

ZHHIMG өтө так гранит чечимдери

ZHHIMG компаниясында биз жарым өткөргүчтөр жана метрология тармактары үчүн өтө так гранит компоненттерин чыгарууга адистешкенбиз. Биздин гранит базаларыбыз жогорку тактыктагы жабдууларды өндүрүүчүлөрдүн катуу талаптарына жооп берүү үчүн иштелип чыккан.

ZHHIMG гранит негиздеринин негизги артыкчылыктары төмөнкүлөрдү камтыйт:

• Жогорку тыгыздыктагы ZHHIMG® кара гранити, жогорку физикалык касиеттерге ээ

• Өтө жалпак беттер үчүн так майдалоо жана шыпыруу

• Буралган кошумчаларды, аба тешиктерин жана так орнотуу функцияларын ыңгайлаштырылган интеграциялоо

• Жогорку өлчөмдүү тактык үчүн өндүрүш учурунда экологиялык көзөмөл

• Жарым өткөргүч жабдууларды долбоорлоо үчүн ылайыкташтырылган өлчөмдөр жана түзүлүштөр

Биздин өнүмдөр жарым өткөргүч, лазердик жана оптикалык тармактарда дүйнөлүк жабдууларды өндүрүүчүлөр тарабынан кеңири колдонулуп, өтө так системалар үчүн ишенимдүү структуралык пайдубалды камсыз кылат.

Өтө так технологиянын негизи

Структуралык жактан туруктуу пайдубалсыз ±0,001 мм туруктуулукка жетүү мүмкүн эмес. Гранит негиздери заманбап жарым өткөргүч жабдуулар үчүн талап кылынган механикалык туруктуулукту, титирөөнү изоляциялоону жана жылуулук ишенимдүүлүгүн камсыз кылат.

Жарым өткөргүч технологиясы кичирээк түйүндөргө жана жогорку тактыкка карай өнүгүп жаткандыктан, өтө так гранит конструкциялары жогорку өндүрүмдүү метрология жана өндүрүш системаларында маанилүү компонент бойдон кала берет.

Туруктуу жана ишенимдүү структуралык компоненттерди издеген жабдууларды өндүрүүчүлөр үчүн гранит негиздери жөн гана вариант эмес, алар зарылчылык болуп саналат.