Эмне үчүн жарым өткөргүч жабдууларды өндүрүүчүлөр табигый гранит негиздерин колдонушат – 5 маанилүү себеп

Жарым өткөргүчтөрдү жасоонун жогорку тобокелдикке дуушар болгон дүйнөсүндө, өзгөчөлүктөрдүн өлчөмдөрү нанометрлер менен өлчөнгөндө, машинанын пайдубалы оптика же вакуумдук система сыяктуу эле маанилүү. Пластинаны текшерүүчү машинабы же терең ультрафиолет (DUV) литография системасыбы, дүйнөлүк OEM өндүрүүчүлөрү өздөрүнүн структуралык негиздери үчүн дайыма табигый кара гранитти колдонушат.

Бирок эмне үчүн табигый таш заманбап синтетикалык материалдар менен аныкталган тармакта алтын стандарт болуп саналат? Жарым өткөргүч жабдуулар үчүн табигый граниттин талашсыз тандоо болушунун беш техникалык себеби.

1. Фабдагы жогорку жылуулук туруктуулугу

Жарым өткөргүч "алдыңкы" чөйрө абсолюттук өлчөмдүү ырааттуулукту талап кылат. Температуранын бир градуска өзгөрүшү да металл структураларынын кеңейишине алып келип, литографияда катмарлоо каталарына же "бүдөмүктөлүүгө" алып келиши мүмкүн.

Табигый граниттин жылуулук кеңейүү коэффициенти (ЖКК) өтө төмөн. Салыштыргандагранит негизиболоттон же алюминийден жасалган пластинаны текшерүүчү машинага альтернатива катары гранит айлана-чөйрөнүн анча чоң эмес өзгөрүүлөрүнө карабастан, өлчөмдүү "тоңуп" турат. Бул жылуулук инерциясы оптикалык жолдун жылыштын биринчи пластинасынан акыркысына чейин бирдей бойдон калышын камсыздайт.

2. Нанометрдик тактык үчүн өзгөчө титирөөнү басуу

Литография жабдуулары жана жогорку чечилиштеги метрологиялык шаймандар "ызы-чууга" — заводдон чыккан термелүүлөргө, муздатуучу желдеткичтерге же робот-пластина иштетүүчүлөргө өтө сезгич.

Металлдар "шакылдап" (согуштан кийин узак убакыт бою дирилдеп) турса да, табигый граниттин ички демпферлөө жөндөмдүүлүгү жогору. Ал кинетикалык энергияны тез сиңирип жана таркатат. Литография жабдуулары үчүн бул дирилдөөнү демпферлөөчү гранит станоктун жогорку ылдамдыктагы этаптык кыймылдан кийин тезирээк отурушуна мүмкүндүк берет, бул шаймандын "Саатына бирдик" (UPH) өндүрүмдүүлүгүн бир кыйла жогорулатат.

3. Магниттик эмес жана электр өткөрбөйт

Жарым өткөргүчтүү процесстер көбүнчө сезгич электрондук нурларды (электрондук нурларды) же жогорку тактыктагы магниттик сызыктуу моторлорду камтыйт. Металл негиз бул магнит талааларына тоскоол болушу же сенсордун тактыгын бузган куюндуу токторду жаратышы мүмкүн.

Табигый изолятор катары гранит таза бөлмөлөр үчүн магниттик эмес метрологиялык платформаны камсыз кылат. Ал шаймандын электромагниттик чөйрөсүнө тоскоолдук кылбайт, бул пластина топографиясын картага түшүрүүдө же кемчиликтерди текшерүүдө таза, бузулбаган маалыматтарды алууга мүмкүндүк берет.

4. Коррозияга туруктуулук жана таза бөлмөнүн шайкештиги

Таза бөлмөдө (1 же 10-класс), газдын бөлүнүп чыгышы жана бөлүкчөлөрдүн пайда болушу түшүмдүн душмандары болуп саналат. Чоюндан же болоттон айырмаланып, табигый гранит дат баспайт, кычкылданбайт же убакыттын өтүшү менен кабырчыктары же газдын бөлүнүп чыгышы мүмкүн болгон химиялык боёкторду жана каптоолорду талап кылбайт.

Гранит химиялык жактан инерттүү. Жарым өткөргүч фабрикасында колдонулган атайын тазалоочу каражаттарга дуушар болгондо да, ал өзүнүн бетинин бүтүндүгүн сактайт. Анын жогорку тыгыздыктагы түзүлүшү (болжол менен 3100 кг/м³) анын жабдуулардын иштөө цикли боюнча "бөлүкчөлөрдөн нейтралдуу" бойдон калышын камсыздайт.

5. Кол менен чаптоо аркылуу "чыныгы тегиздикке" жетүү

Жарым өткөргүчтөр тармагында "жалпак" деген сөз жетиштүү деңгээлде жалпак эмес. Компоненттер көбүнчө CNC станоктору жөн гана жетише албаган нано-деңгээлдеги тактыкты талап кылат.

Табигый гранит кол менен тегиздөөгө мүмкүндүк берет, бул кол менен тазалоо процесси, мында тажрыйбалуу техниктер ±0,001 ммге чейинки тегиздикке чыдамдуулукка жетишишет. Бул тактык деңгээли заманбап пластина сканерлеринде колдонулган аба алып жүрүүчү баскычтар үчүн абдан маанилүү, мында баскыч менен негиздин ортосундагы аба аралыгы бүт жүрүү диапазонунда кемчиликсиз бирдей бойдон калышы керек.

ZHHIMG артыкчылыгы: Нано доору үчүн тактык

UNPARLELLED (ZHHIMG) компаниясында биз жарым өткөргүч фабрикалардагы граниттин жылуулук туруктуулугун башкаларга караганда жакшыраак түшүнөбүз. Биз төмөнкүлөргө адистешкен дүйнөдөгү алдыңкы жарым өткөргүч шайман өндүрүүчүлөрүнө заказ боюнча жасалган гранит компоненттерин жеткирип беребиз:

• Өтө чоң вакуум менен шайкеш келген негиздер.

• Жогорку ылдамдыктагы порталдык системалар үчүн тактыктагы устундар.

• Сызыктуу моторду орнотуу үчүн интеграцияланган кошумчалар.

Биздин жогорку тыгыздыктагы кара гранитибиз глобалдык жарым өткөргүч жол картасынын эң талаптуу мүнөздөмөлөрүнө жооп берүү үчүн алынат жана иштетилет.