Гранит көп жылдар бою жарым өткөргүч жабдууларды өндүрүүдө жана долбоорлоодо кеңири колдонулуп келет. Бул анын эң сонун касиеттерине байланыштуу, бул аны көптөгөн колдонмолор үчүн идеалдуу материал кылат. Гранит эскирүүгө, коррозияга жана жылуулук соккуларына абдан туруктуу, бул аны катаал чөйрөлөрдө колдонууга ылайыктуу кылат. Бул макалада биз жарым өткөргүч жабдууларда граниттин кеңири колдонулган айрым жерлерин талкуулайбыз.
1. Метрологиялык жабдуулар
Метрологиялык жабдуулар жарым өткөргүч түзүлүштөрдүн өлчөмдөрүн жана касиеттерин өлчөө үчүн колдонулат. Гранит көп учурда жогорку өлчөмдүү туруктуулугунан улам мындай жабдуулар үчүн негиз катары колдонулат. Гранит бетинин тегиздиги жана тактыгы так өлчөөлөр үчүн идеалдуу шилтеме болуп саналат. Мындан тышкары, граниттин жылуулук туруктуулугу температуранын өзгөрүшүнөн улам өлчөмдүн өзгөрүшүнүн коркунучун азайтат.
2. Оптикалык жабдуулар
Гранит ошондой эле жарым өткөргүч түзүлүштөрдү жасоодо колдонулган литография машиналары сыяктуу оптикалык жабдууларда колдонулат. Граниттин негизи бул машиналарда колдонулган жогорку тактыктагы оптика үчүн туруктуу платформаны камсыз кылат. Граниттин эң сонун титирөөнү басуучу касиеттери оптиканын иштешине жана тактыгына таасир этүүчү титирөөлөрдү азайтууга жардам берет.
3. Вафли иштетүүчү жабдуулар
Жарым өткөргүчтүү пластиналарды иштетүү бир нече этаптарды камтыйт, анын ичинде тазалоо, оюу жана чөктүрүү. Гранит пластиналарды иштетүүчү жабдуулардын бир нече компоненттеринде колдонулат. Мисалы, гранит химиялык буу чөктүрүү (CVD) жабдуулары үчүн субстрат катары колдонулат, ал кремний пластиналарына жука пленкаларды чөктүрүү үчүн колдонулат. Гранит ошондой эле оюу камераларын жана башка технологиялык идиштерди курууда колдонулат, мында анын эң сонун химиялык туруктуулугу жана өлчөмдүү туруктуулугу маанилүү.
4. Сыноо жабдуулары
Сыноо жабдуулары жарым өткөргүч түзүлүштөрдүн иштешин жана сапатын текшерүү үчүн колдонулат. Гранит көп учурда жогорку катуулугу жана туруктуулугунан улам сыноо жабдуулары үчүн негиз катары колдонулат. Гранит сезгич сыноо жабдууларына тоскоолдуктарды жок кылган магниттик эмес жана өткөргүч эмес платформаны камсыз кылат. Гранит бетинин тегиздиги жана тактыгы сыноолордун жогорку тактыктагы жыйынтыктарын алууга мүмкүндүк берет.
Жыйынтык
Жыйынтыктап айтканда, гранит жарым өткөргүч жабдууларды долбоорлоодо жана өндүрүүдө маанилүү материал болуп саналат. Анын өлчөмдүү туруктуулугу, жылуулук туруктуулугу, химиялык туруктуулугу жана термелүүнү басуу сыяктуу эң сонун касиеттери аны көптөгөн колдонмолор үчүн идеалдуу материалга айлантат. Гранит жарым өткөргүч жабдуулардын бир нече маанилүү компоненттеринде, анын ичинде метрологиялык жабдууларда, оптикалык жабдууларда, пластиналарды иштетүүчү жабдууларда жана сыноо жабдууларында колдонулат. Тезирээк, кичирээк жана күчтүүрөөк жарым өткөргүч түзүлүштөргө суроо-талап өсө бергендиктен, жарым өткөргүч жабдууларда гранитти колдонуу маанилүү бойдон кала берет.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 8-апрели