Гранит жарым өткөргүчтөр өнөр жайында эң сонун механикалык касиеттери, жылуулук туруктуулугу жана жылуулук кеңейүүсүнүн төмөн коэффициенти үчүн кеңири колдонулган материал болуп келген. Бирок, жогорку тактыкка жана өндүрүмдүүлүккө болгон суроо-талаптын тынымсыз өсүшү менен, жарым өткөргүч жабдуулардын компоненттерин жасоо үчүн альтернативдүү материалдар пайда болду. Бул макалада биз жарым өткөргүч жабдуулардагы гранит тетиктери үчүн айрым альтернативдүү материалдарды карап чыгып, алардын артыкчылыктары менен кемчиликтерин салыштырабыз.
Гранит тетиктери үчүн альтернативдүү материалдар
1. Айнек-керамикалык материалдар
Zerodur жана Cervit сыяктуу айнек-керамикалык материалдар кремнийдикине жакын болгон төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициентинен улам жарым өткөргүчтөр өнөр жайында кеңири колдонулуп келет. Натыйжада, бул материалдар жарым өткөргүчтөрдү жасоо процессинде жылуулук туруктуулугун жана тактыгын жогорулатат. Zerodur, атап айтканда, бир тектүүлүктүн жана туруктуулуктун жогорку деңгээлине ээ, бул аны литографиялык жабдууларды өндүрүүгө ылайыктуу кылат.
Артыкчылыктары:
- Жылуулук кеңейүүсүнүн төмөн коэффициенти
- Жогорку тактык жана туруктуулук
- Жогорку температурадагы колдонмолор үчүн ылайыктуу
Кемчиликтери:
- Гранитке салыштырмалуу баасы жогору
- Салыштырмалуу морт, иштетүүдө жана иштетүүдө кыйынчылыктарды жаратышы мүмкүн
2. Керамика
Алюминий кычкылы (Al2O3), кремний карбиди (SiC) жана кремний нитриди (Si3N4) сыяктуу керамикалык материалдар эң сонун механикалык касиеттерге, жогорку температурага туруктуулукка жана төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициентине ээ. Бул касиеттер керамиканы пластина баскычтары жана патрондор сыяктуу жогорку жылуулук туруктуулугун жана тактыгын талап кылган жарым өткөргүч жабдуулардын тетиктери үчүн идеалдуу кылат.
Артыкчылыктары:
- Жогорку жылуулук туруктуулугу жана бекемдиги
- Төмөн жылуулук кеңейүү коэффициенти
- Жогорку эскирүүгө туруктуулук жана химиялык инерция
Кемчиликтери:
- Айрыкча, механикалык иштетүү жана ташуу учурунда морт жана жарака кетүүгө жакын болушу мүмкүн
- Керамиканы иштетүү жана жылтыратуу татаал жана көп убакытты талап кылышы мүмкүн
3. Металлдар
Дат баспас болот жана титан сыяктуу металл негизиндеги материалдар жарым өткөргүч жабдуулардын айрым тетиктери үчүн эң сонун иштетүүгө жөндөмдүүлүгүнөн жана жогорку бекемдигинен улам колдонулган. Алар көбүнчө камеранын тетиктери, муфталар жана өткөргүчтөр сыяктуу жогорку жылуулук туруктуулугу талап кылынбаган жерлерде колдонулат.
Артыкчылыктары:
- Жакшы иштетүү жана ширетүү
- Жогорку бекемдик жана ийкемдүүлүк
- Айрым альтернативдүү материалдарга салыштырмалуу арзан баа
Кемчиликтери:
- Жогорку жылуулук кеңейүү коэффициенти
- Термикалык кеңейүү көйгөйлөрүнөн улам жогорку температурадагы колдонмолор үчүн ылайыктуу эмес
- коррозияга жана булганууга дуушар болот
Жыйынтык:
Кыскасы, гранит жарым өткөргүч жабдуулардын тетиктери үчүн популярдуу тандоо болгону менен, ар биринин уникалдуу артыкчылыктары жана кемчиликтери бар альтернативдүү материалдар пайда болду. Айнек-керамикалык материалдар өтө так жана туруктуу, бирок морт болушу мүмкүн. Керамика бекем жана эң сонун жылуулук туруктуулугуна ээ, бирок ошондой эле морт болушу мүмкүн, бул аларды өндүрүүнү кыйындатат. Металлдар арзан, иштетилүүчү жана ийкемдүү, бирок алардын жылуулук кеңейүү коэффициенти жогору жана коррозияга жана булганууга дуушар болушат. Жарым өткөргүч жабдуулар үчүн материалдарды тандоодо, колдонуунун конкреттүү талаптарын эске алуу жана баасын, иштешин жана ишенимдүүлүгүн тең салмактаган материалдарды тандоо өтө маанилүү.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 19-марты