|
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү тармагында пластиналарды текшерүүчү жабдуулардын тактыгы чиптердин сапатын жана түшүмүн түздөн-түз аныктайт. Негизги аныктоо компоненттерин колдогон негиз катары, жабдуулардын негизги материалынын өлчөмдүү туруктуулугу жабдуулардын узак мөөнөттүү иштешинде чечүүчү ролду ойнойт. Гранит жана чоюн пластиналарды текшерүү үчүн эки кеңири колдонулган базалык материалдар. 10 жылдык салыштырмалуу изилдөө жабдууларды тандоо үчүн маанилүү шилтемелер менен камсыз кылуу, өлчөмдүк туруктуулук жагынан алардын ортосундагы олуттуу айырмачылыктарды ачып берди. |
Эксперименталдык негиздер жана долбоорлоо
Жарым өткөргүч пластиналарды өндүрүү процесси аныктоонун тактыгына өтө жогорку талаптарды коёт. Ал тургай, микрометрлик деңгээлдеги өлчөмдүү четтөө чиптин иштешинин төмөндөшүнө же атүгүл таштандыга алып келиши мүмкүн. Узак мөөнөттүү пайдаланууда гранит менен чоюндун өлчөмдүү туруктуулугун изилдөө үчүн изилдөө тобу реалдуу иштөө чөйрөсүн окшоштурган эксперименттерди иштеп чыгышкан. Ошол эле спецификациядагы гранит жана чоюн үлгүлөрү тандалып алынган жана температура 15℃ден 35℃ге чейин өзгөрүп турган жана нымдуулук 30%дан 70% RHге чейин өзгөрүп турган экологиялык камерага жайгаштырылды. Жабдууларды эксплуатациялоо учурундагы механикалык титирөө титирөө үстөлү аркылуу окшоштурулган. Үлгүлөрдүн негизги өлчөмдөрү ар бир квартал сайын жогорку тактыктагы лазердик интерферометрдин жардамы менен ченелип, маалыматтар 10 жыл бою үзгүлтүксүз жазылып турган. |
Эксперименттик натыйжа: граниттин абсолюттук артыкчылыгы
Он жылдык эксперименталдык маалыматтар граниттин субстраты укмуштуудай туруктуулукту көрсөтөт. Анын жылуулук кеңейүү коэффициенти өтө төмөн, орточо болгону 4,6×10⁻⁶/℃. Температуранын кескин өзгөрүшүнө жараша өлчөмдүү четтөө дайыма ± 0,001 мм чегинде көзөмөлдөнөт. Нымдуулуктун өзгөрүшүнө байланыштуу граниттин жыш түзүлүшү аны дээрлик эч кандай таасир этпейт жана өлчөмдүү өзгөрүүлөр болбойт. Механикалык титирөө чөйрөсүндө граниттин эң сонун демпфердик мүнөздөмөлөрү титирөө энергиясын эффективдүү соруп алат жана өлчөмдүү термелүү өтө аз. |
Ал эми, чоюн субстрат үчүн анын орточо жылуулук кеңейүү коэффициенти 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃ жетет, ал эми 10 жыл ичинде температуранын өзгөрүшүнөн келип чыккан максималдуу өлчөмдүү четтөө ±0,05мм. нымдуу чөйрөдө, чоюн дат жана коррозияга жакын болот. Кээ бир үлгүлөр жергиликтүү деформацияны көрсөтүп, өлчөмдүү четтөө дагы көбөйөт. Механикалык титирөөнүн таасири астында чоюндун титирөөнү басаңдатуучу көрсөткүчтөрү начар жана анын өлчөмү тез-тез өзгөрүп турат, бул пластинаны текшерүүнүн жогорку тактык талаптарын аткарууну кыйындатат. |
Туруктуулуктагы айырмачылыктын негизги себеби
Гранит геологиялык процесстер аркылуу жүз миллиондогон жылдар бою пайда болгон. Анын ички түзүлүшү тыгыз жана бирдей, минералдык кристаллдары туруктуу жайгашып, табиятынан ички стрессти жок кылат. Бул температура, нымдуулук жана титирөө сыяктуу тышкы факторлордун өзгөрүүлөрүнө өтө сезгич эмес кылат. Чоюн куюу жолу менен жасалат жана анын ичинде тешикчелер жана кум тешиктери сыяктуу микроскопиялык кемчиликтери бар. Ошол эле учурда, куюу процессинде пайда болгон калдык стресс тышкы чөйрөнүн стимулдашуусу астында өлчөмдүү өзгөрүүлөргө алып келет. Чоюндун металлдык касиеттери аны нымдуулуктан дат басып, структуралык бузулууну тездетет жана өлчөмдүк туруктуулукту азайтат. |
Вафли текшерүү жабдууларына таасири
Гранит субстратына негизделген Wafer текшерүү жабдуулары, анын туруктуу өлчөмдүү аткаруу менен, текшерүү системасы узак убакыт бою жогорку тактыкты сактайт камсыз кыла алат, туура эмес баалоо жана жабдуулардын так дрейф менен шартталган аныктоону азайтып, жана олуттуу продукт түшүмдүүлүгүн жакшыртат. Ошол эле учурда, техникалык тейлөөнүн төмөн талаптары жабдуулардын толук өмүр циклинин баасын төмөндөтөт. Чоюн субстраттарды колдонгон жабдуулар начар өлчөмдүү туруктуулугунан улам тез-тез калибрлөө жана тейлөөнү талап кылат. Бул эксплуатациялык чыгымдарды гана жогорулатпастан, ошондой эле жетишсиз тактыктан улам жарым өткөргүч өндүрүшүнүн сапатына таасирин тийгизип, мүмкүн болуучу экономикалык жоготууларга алып келиши мүмкүн. |
Жарым өткөргүч өнөр жайынын жогорку тактыкка жана сапаттуулукка умтулуу тенденциясына ылайык, пластиналарды текшерүүчү жабдуулар үчүн базалык материал катары гранитти тандоо, албетте, жабдуулардын иштешин камсыз кылуу жана ишканалардын атаандаштыкка жөндөмдүүлүгүн жогорулатуу үчүн акылман кадам болуп саналат. |
Посттун убактысы: 14-май-2025