Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү тармагында пластиналарды текшерүү жабдууларынын тактыгы чиптердин сапатын жана өндүрүмдүүлүгүн түздөн-түз аныктайт. Негизги аныктоо компоненттерин колдогон пайдубал катары, жабдуулардын негизги материалынын өлчөмдүү туруктуулугу жабдуулардын узак мөөнөттүү иштөөсүндө чечүүчү ролду ойнойт. Гранит жана чоюн пластиналарды текшерүү жабдуулары үчүн кеңири колдонулган эки негизги материал болуп саналат. 10 жылдык салыштырмалуу изилдөө алардын ортосундагы өлчөмдүү туруктуулук жагынан олуттуу айырмачылыктарды аныктап, жабдууларды тандоо үчүн маанилүү шилтемелерди берди.
Эксперименталдык фон жана дизайн
Жарым өткөргүч пластиналарды өндүрүү процесси аныктоонун тактыгына өтө жогорку талаптарды коёт. Микрометр деңгээлиндеги өлчөмдүк четтөө да чиптин иштешинин төмөндөшүнө же ал тургай калдыктардын пайда болушуна алып келиши мүмкүн. Узак мөөнөттүү колдонууда гранит менен чоюндун өлчөмдүк туруктуулугун изилдөө үчүн изилдөө тобу чыныгы жумушчу чөйрөнү симуляциялаган эксперименттерди иштеп чыгышты. Бирдей мүнөздөмөдөгү гранит жана чоюн үлгүлөрү тандалып алынып, температурасы 15℃ден 35℃ге чейин, ал эми нымдуулугу 30%дан 70%га чейин өзгөрүп турган айлана-чөйрө камерасына жайгаштырылды. Жабдууларды иштетүү учурундагы механикалык термелүү термелүү таблицасы аркылуу симуляцияланды. Үлгүлөрдүн негизги өлчөмдөрү ар бир квартал сайын жогорку тактыктагы лазердик интерферометрди колдонуу менен өлчөнүп, маалыматтар 10 жыл бою үзгүлтүксүз жазылып турду.
Эксперименталдык жыйынтык: Граниттин абсолюттук артыкчылыгы
Он жылдык эксперименталдык маалыматтар граниттин негизи таң калыштуу туруктуулукту көрсөтөрүн көрсөтүп турат. Анын жылуулук кеңейүү коэффициенти өтө төмөн, орточо эсеп менен 4,6 × 10⁻⁶/℃ гана. Температуранын кескин өзгөрүшүндө өлчөмдүк четтөө ар дайым ±0,001 мм чегинде көзөмөлдөнөт. Нымдуулуктун өзгөрүшүнө карабастан, граниттин тыгыз түзүлүшү аны дээрлик өзгөртпөйт жана өлчөнө турган өлчөмдүк өзгөрүүлөр болбойт. Механикалык титирөө чөйрөсүндө граниттин эң сонун демпфердик мүнөздөмөлөрү титирөө энергиясын натыйжалуу сиңирип алат жана өлчөмдүк өзгөрүүлөр өтө аз.
Ал эми чоюн негизи үчүн анын жылуулук кеңейүүсүнүн орточо коэффициенти 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃ жетет, ал эми 10 жылдын ичинде температуранын өзгөрүшүнөн улам келип чыккан максималдуу өлчөм четтөөсү ±0,05 мм. Нымдуу чөйрөдө чоюн дат басууга жана коррозияга жакын. Айрым үлгүлөрдө жергиликтүү деформация байкалат, ал эми өлчөм четтөөсү андан ары жогорулайт. Механикалык термелүүнүн таасири астында чоюндун термелүүнү басуу көрсөткүчү начар жана анын өлчөмү тез-тез өзгөрүп турат, бул пластиналарды текшерүүнүн жогорку тактык талаптарын аткарууну кыйындатат.
Туруктуулуктун айырмасынын негизги себеби
Гранит жүздөгөн миллиондогон жылдар бою геологиялык процесстер аркылуу пайда болгон. Анын ички түзүлүшү тыгыз жана бирдей, ал эми минералдык кристаллдар туруктуу жайгашкан, бул табиятынан ички чыңалууну жок кылат. Бул аны температура, нымдуулук жана титирөө сыяктуу тышкы факторлордун өзгөрүшүнө өтө сезгич кылбайт. Чоюн куюу процесси менен жасалат жана ичинде тешикчелер жана кум тешиктери сыяктуу микроскопиялык кемчиликтер бар. Ошол эле учурда, куюу процессинде пайда болгон калдык чыңалуу тышкы чөйрөнүн стимулдаштыруусу астында өлчөмдүн өзгөрүшүнө алып келүүгө жакын. Чоюндун металлдык касиеттери аны нымдуулуктан улам дат басууга, структуралык бузулууну тездетүүгө жана өлчөмдүн туруктуулугун төмөндөтүүгө алып келет.
Вафли текшерүү жабдууларына тийгизген таасири
Гранит негизине негизделген пластинаны текшерүү жабдуулары өзүнүн туруктуу өлчөмдүү иштеши менен текшерүү системасынын узак убакыт бою жогорку тактыкты сактоосун камсыздай алат, жабдуулардын тактыгынын жылышынан улам келип чыккан туура эмес баалоолорду жана байкабай калууларды азайтат жана продукциянын чыгышын бир топ жакшыртат. Ошол эле учурда, тейлөө талаптарынын төмөндүгү жабдуулардын толук жашоо циклинин баасын төмөндөтөт. Чоюн негиздерди колдонгон жабдуулар, өлчөмдүү туруктуулугунун начардыгынан улам, тез-тез калибрлөөнү жана тейлөөнү талап кылат. Бул эксплуатациялык чыгымдарды гана көбөйтпөстөн, тактыктын жетишсиздигинен улам жарым өткөргүчтөрдүн өндүрүшүнүн сапатына таасир этиши мүмкүн, бул потенциалдуу экономикалык жоготууларга алып келиши мүмкүн.
Жарым өткөргүчтөр өнөр жайынын жогорку тактыкка жана жакшыраак сапатты көздөө тенденциясынын шартында, гранитти пластинаны текшерүү жабдуулары үчүн негизги материал катары тандоо, албетте, жабдуулардын иштешин камсыз кылуу жана ишканалардын атаандаштыкка жөндөмдүүлүгүн жогорулатуу үчүн акылдуу кадам болуп саналат.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 14-майы