Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү тармагында автоматтык оптикалык текшерүү (AOI) жабдуулары чиптердин сапатын камсыз кылууда чечүүчү ролду ойнойт. Аны аныктоо тактыгынын бир аз жакшырышы да бүтүндөй тармакка чоң өзгөрүүлөрдү алып келиши мүмкүн. Жабдуулардын базасы, негизги компонент катары, аныктоо тактыгына терең таасирин тийгизет. Акыркы жылдары тармакта негизги материалдарда революция болду. Гранит, өзүнүн мыкты титирөөнү басуу көрсөткүчү менен, акырындык менен салттуу чоюн материалдарды алмаштырып, AOI текшерүү жабдууларынын жаңы сүйүктүүсүнө айланды. Анын титирөөнү басуу натыйжалуулугу чоюнга салыштырмалуу 92% га жогорулады. Бул маалыматтардын артында кандай технологиялык жетишкендиктер жана тармактык өзгөрүүлөр турат?
Жарым өткөргүч AOI текшерүү жабдууларындагы титирөөгө карата катуу талаптар
Жарым өткөргүч чиптерди өндүрүү процесси наноөлчөмдүү доорго кирди. AOI текшерүү процессинде өтө кичинекей термелүүлөр да текшерүү жыйынтыктарында четтөөлөрдү жаратышы мүмкүн. Чиптин бетиндеги майда чийиктердин, боштуктардын жана башка кемчиликтер көбүнчө микрометрдин же ал тургай нанометрдин деңгээлинде болот. Аныктоочу жабдуулардын оптикалык линзалары бул деталдарды өтө жогорку тактык менен чагылдырышы керек. Негиз тарабынан берилген ар кандай термелүү линзанын жылышына же чайпалышына алып келет, бул сүрөттүн бүдөмүк алынышына алып келет жана ошону менен кемчиликтерди таануунун тактыгына таасир этет.
Чоюн материалдары бир кезде AOI текшерүү жабдууларынын негиздеринде кеңири колдонулган, анткени алар белгилүү бир бекемдикке жана иштетүү көрсөткүчтөрүнө ээ жана баасы салыштырмалуу төмөн. Бирок, титирөөнү басуу жагынан чоюндун кемчиликтери бар. Чоюндун ички түзүлүшүндө ичиндеги кичинекей боштуктарга барабар жана материалдын үзгүлтүксүздүгүн буза турган көп сандагы графит барактары бар. Жабдуу иштеп, титирөөнү пайда кылганда же тышкы чөйрөнүн титирөөсү менен бузулганда, титирөө энергиясы чоюнда натыйжалуу басаңдабайт, тескерисинче, графит барак менен матрицанын ортосунда дайыма чагылып, үстүнө коюлуп, титирөөнүн үзгүлтүксүз таралышына алып келет. Тиешелүү эксперименттер көрсөткөндөй, чоюндун негизи тышкы титирөө менен козголгондон кийин, титирөөнүн басаңдоо убактысы бир нече секундга созулушу мүмкүн, бул ушул мезгилде аныктоонун тактыгына олуттуу таасирин тийгизет. Мындан тышкары, чоюндун серпилгичтик модулу салыштырмалуу төмөн. Жабдуулардын тартылуу күчүнүн жана титирөө чыңалуусунун узак мөөнөттүү таасиринин астында ал деформацияга жакын болуп, титирөөнүн берилишин андан ары күчөтөт.
Гранит негиздеринин титирөөнү басуу эффективдүүлүгүнүн 92% га жогорулашынын сыры
Гранит, табигый таштын бир түрү катары, жүздөгөн миллиондогон жылдар бою геологиялык процесстер аркылуу өтө тыгыз жана бирдей ички түзүлүштү түзгөн. Ал негизинен кварц жана талаа шпаты сыяктуу минералдык кристаллдардан турат жана кристаллдардын ортосундагы химиялык байланыштар күчтүү жана туруктуу. Бул түзүлүш гранитке эң сонун титирөөнү басуу жөндөмүн берет. Титирөө граниттин негизине берилгенде, анын ичиндеги минералдык кристаллдар титирөө энергиясын тез жылуулук энергиясына айландырып, аны таркатып жибере алат. Изилдөөлөр көрсөткөндөй, граниттин өчүүсү чоюнга караганда бир нече эсе жогору, бул анын титирөө энергиясын натыйжалуураак сиңире аларын, титирөөнүн амплитудасын жана узактыгын азайтаарын билдирет. Кесипкөй сыноодон кийин, ошол эле титирөөнү козгоо шарттарында, гранит негизинин титирөөнү басаңдатуу убактысы чоюндун убактысынын 8% гана түзөт жана титирөөнү басуунун натыйжалуулугу 92% га жогорулаган.
Граниттин жогорку катуулук жана жогорку ийкемдүүлүк модулу да олуттуу салым кошот. Жогорку катуулук жабдуулардын салмагын жана тышкы күчтөрдүн таасирин көтөргөндө негиздин деформацияланышын азайтат жана ар дайым туруктуу колдоо абалын сактайт. Жогорку ийкемдүүлүк модулу негиздин титирөөгө дуушар болгондо тез арада баштапкы формасына кайтып келишин камсыздайт, бул титирөөнүн топтолушун азайтат. Мындан тышкары, гранит эң сонун жылуулук туруктуулугуна ээ жана айлана-чөйрөнүн температурасынын өзгөрүшүнө дээрлик таасир этпейт, температуранын өзгөрүшүнөн улам пайда болгон жылуулук кеңейүүсүнө жана жыйрылуу деформациясына жол бербейт, ошону менен титирөөнү басуу көрсөткүчүнүн туруктуулугун дагы да камсыздайт.
Гранит негиздеринин алып келген өнөр жайынын трансформациясы жана келечеги
Гранит негиздүү AOI текшерүү жабдуусу аныктоо тактыгын бир топ жакшыртты. Ал кичинекей өлчөмдөгү чиптердеги кемчиликтерди ишенимдүү түрдө аныктай алат, туура эмес баалоо көрсөткүчүн 1% га чейин төмөндөтөт жана чип өндүрүүнүн түшүмдүүлүк көрсөткүчүн бир топ жогорулатат. Ошол эле учурда, жабдуунун туруктуулугу жогорулады, титирөө көйгөйлөрүнөн улам техникалык тейлөө үчүн өчүрүүлөрдүн санын азайтты, жабдуунун иштөө мөөнөтүн узартты жана жалпы эксплуатациялык чыгымдарды азайтты.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 14-майы