|
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү тармагында микросхемалардын сапатын камсыз кылууда автоматтык оптикалык текшерүү (AOI) жабдуулары чечүүчү роль ойнойт. Аны аныктоонун тактыгынын бир аз жакшыруусу бүткүл тармакка чоң өзгөрүү алып келиши мүмкүн. Негизги компонент катары жабдуулардын базасы аныктоонун тактыгына чоң таасирин тийгизет. Акыркы жылдарда базалык материалдарда революция өнөр жайды каптады. Гранит титирөөнү басуу боюнча мыкты көрсөткүчү менен бара-бара салттуу чоюн материалдарын алмаштырып, AOI текшерүү жабдууларынын жаңы сүйүктүүсүнө айланды. Анын титирөөнү басуу эффективдүүлүгү чоюнга салыштырмалуу 92% өстү. Бул маалыматтардын артында кандай технологиялык жетишкендиктер жана тармактык өзгөрүүлөр жатат? |
Жарым өткөргүч AOI текшерүү жабдууларында титирөө үчүн катуу талаптар
Жарым өткөргүч микросхемалардын өндүрүш процесси нано масштабдуу доорго кирди. AOI текшерүү процессинде өтө кичинекей термелүүлөр да текшерүүнүн жыйынтыгында четтөөлөрдү алып келиши мүмкүн. Чиптин бетиндеги майда чийик, боштуктар жана башка кемчиликтер көбүнчө микрометр же нанометр деңгээлинде болот. Детектордук жабдуулардын оптикалык линзалары бул деталдарды өтө жогорку тактык менен тартып алышы керек. Негизги тарабынан берилүүчү ар кандай титирөө линзанын жылышына же титиреп кетишине алып келет, натыйжада сүрөт бүдөмүк болуп, кемчиликтерди таануунун тактыгына таасирин тийгизет.
Чоюн материалдары бир жолу AOI текшерүү жабдууларынын базасында кеңири колдонулган, анткени алар белгилүү бир күчкө жана иштетүүгө ээ жана баасы салыштырмалуу төмөн. Бирок, титирөөнү басуу жагынан чоюндун ачык-айкын кемчиликтери бар. Чоюндун ички түзүлүшүндө көп сандагы графит барактары бар, алар ичиндеги кичинекей боштуктарга барабар жана материалдын үзгүлтүксүздүгүн бузушат. Жабдуу иштеп жана титирөөнү пайда кылганда же тышкы чөйрөнүн титирөөсүнөн улам бузулганда, титирөө энергиясы чоюнда эффективдүү басаңдатыла албайт, бирок графит баракты менен матрицанын ортосунда үзгүлтүксүз чагылып, үстү-үстүнө жайгаштырылып, титирөөнүн үзгүлтүксүз жайылышына алып келет. Тиешелүү эксперименттер чоюн базасы тышкы титирөө менен козголгондон кийин, титирөөнүн басаңдатуу убактысы бир нече секундага созулушу мүмкүн экенин көрсөтүп турат, бул бул мезгилде аныктоонун тактыгына олуттуу таасирин тийгизет. Мындан тышкары, чоюндун ийкемдүү модулу салыштырмалуу төмөн. Жабдыктын тартылуу күчү жана титирөө стрессинин узак мөөнөттүү аракети астында ал деформацияга жакын болуп, титирөөнүн өткөрүлүшүн андан ары күчөтөт. |
Гранит негиздеринин титирөөнү басуу эффективдүүлүгүн 92% жогорулатуунун сыры
Гранит, табигый таштын бир түрү катары, жүз миллиондогон жылдар бою геологиялык процесстер аркылуу өтө тыгыз жана бирдей ички түзүлүштү түзгөн. Ал негизинен кварц жана талаа шпаты сыяктуу минералдык кристаллдардан турат жана кристаллдардын ортосундагы химиялык байланыштар күчтүү жана туруктуу. Бул структура граниттин термелүүсүн басуу жөндөмдүүлүгүн берет. Дирилдөө гранит негизине өткөндө, анын ичиндеги минералдык кристаллдар термелүү энергиясын тездик менен жылуулук энергиясына айландыра алат жана аны таркатат. Изилдөөлөр көрсөткөндөй, граниттин демпфациясы чоюнга караганда бир нече эсе жогору, бул титирөөнүн амплитудасын жана узактыгын азайтып, термелүү энергиясын эффективдүү сиңире алат. Кесиптик тестирлөөдөн кийин, ошол эле титирөө дүүлүктүрүү шарттарында, гранит базасынын титирөө басаңдатуу убактысы чоюндун 8% ын гана түзөт, ал эми титирөөнү басуу натыйжалуулугу 92% га жогорулады. |
Граниттин жогорку катуулук жана жогорку ийкемдүү модулу да олуттуу салым кошот. Жогорку катуулук базанын жабдыктын салмагын жана тышкы күчтөрдүн таасирин көтөрүүдө деформацияга азыраак болушун камсыздайт жана ар дайым туруктуу колдоо абалын сактап турат. Жогорку ийкемдүү модулу титирөөнүн топтолушун азайтып, базанын титирөөгө кабылганда тез эле баштапкы абалына кайтып келишин камсыздайт. Мындан тышкары, гранит мыкты жылуулук туруктуулугуна ээ жана айлана-чөйрөнүн температурасынын өзгөрүшүнө дээрлик эч кандай таасир этпейт, температуранын өзгөрүүсүнөн келип чыккан термикалык кеңейүү жана жыйрылышы деформациядан качат, ошону менен андан ары титирөөнү басуу ишинин туруктуулугун камсыз кылат. |
Өнөр жайдын трансформациясы жана келечеги гранит негиздери
Гранит базасы бар AOI текшерүүчү жабдуулары анын аныктоо тактыгын бир топ жакшыртты. Ал кичине өлчөмдөгү микросхемалардын кемчиликтерин ишенимдүү аныктай алат, туура эмес чечим чыгаруунун деңгээлин 1% чегинде азайтат жана чип өндүрүшүнүн түшүмдүүлүгүн бир топ жогорулатат. Ошол эле учурда, жабдуулардын туруктуулугу жогорулап, титирөө маселелеринен келип чыккан техникалык тейлөө үчүн өчүрүүлөрдүн санын кыскартуу, жабдуулардын иштөө мөөнөтүн узартуу жана жалпы эксплуатациялык чыгымдарды азайтуу. |
Посттун убактысы: 14-май-2025