жогорку чендеги өндүрүш жана заманбап илимий изилдөө тармактарында, так статикалык басым аба калкып кыймыл платформа ультра тактык иш жетүү үчүн негизги жабдуулар болуп саналат. Гранит тактык базасы платформанын негизги колдоочу бөлүгү болуп саналат жана анын иштеши жумушчу чөйрө менен тыгыз байланышта. Бул экологиялык талаптарды түшүнүү жана канааттандыруу платформанын жогорку тактыкта иштешин гана камсыз кылбастан, ошондой эле төмөндө майда-чүйдөсүнө чейин баяндалган тиешелүү тармактарда анын атаандаштыкка жөндөмдүүлүгүн жогорулатуу үчүн ишкананын маанилүү бөлүгү болуп саналат.
1. Температура: өлчөмдүү туруктуулукту камсыз кылуу үчүн так башкаруу
Гранит өзүнүн туруктуулугу менен белгилүү болсо да, анын жылуулук кеңейүү коэффициенти нөлгө барабар эмес, температуранын кичине өзгөрүүлөрү дагы эле анын өлчөмдүү тактыгына таасир этиши мүмкүн. Жалпысынан алганда, граниттин жылуулук кеңейүү коэффициенти 5-7 × 10⁻⁶/℃ болуп саналат. Так статикалык басымдагы абанын калкып жүрүүчү кыймыл платформасынын колдонмо сценарийинде бул бир аз өзгөрүү платформа тарабынан күчөтүлөт, бул кыймылдын тактыгынын четтөөсүнө алып келиши мүмкүн. Мисалы, жарым өткөргүч микросхемаларын өндүрүү процессинде, данами деңгээлиндеги тактык талаптарын позициялоо үчүн литография процесси, айлана-чөйрөнүн температурасынын 1 ° C термелүүсү, 1 метр гранит базасынын каптал узундугу 5-7 микрон сызыктуу кеңейүүнү же жыйрышты пайда кылышы мүмкүн, бул чиптин литографиясынын үлгүсүн азайтуу үчүн жетиштүү. Ошондуктан, гранит тактык базасы менен жабдылган так статикалык басым аба калкып платформа, идеалдуу жумушчу чөйрөнүн температурасы 20 ° C ± 1 ° C катуу көзөмөлгө алынышы керек, ишканалар жогорку тактыктагы туруктуу температура кондиционер системасын орното алат, үзгүлтүксүз мониторинг жана айлана-чөйрөнүн температурасын так жөнгө салуу, гранит базасынын өлчөмүн сактап калуу үчүн, платформанын туруктуу иштешин камсыз кылуу үчүн.
2.humidity: акылга сыярлык башкаруу, базалык аткарууну коргоо
Нымдуулук да так гранит негиздерине олуттуу таасирин тийгизет. Жогорку нымдуулуктагы чөйрөдө гранит суу буусун оңой сиңирип алат жана бетинде конденсация болушу мүмкүн, бул аба флотация системасынын нормалдуу иштешине гана тоскоолдук кылбастан, граниттин бетинин узак мөөнөттүү эрозиясына алып келет, анын тактыгын жана кызмат мөөнөтүн кыскартат. Мисал катары оптикалык линзаларды майдалоочу цехти алсак, нымдуулук узак убакыт бою 60% RH жогору болсо, гранит базасынын бетине адсорбцияланган суу буусу аба сүзүүчү пленканын бирдейлигин бузуп, линзанын жылмалоо тактыгынын жана бетиндеги кемчиликтердин төмөндөшүнө алып келет. Ошондуктан, жумушчу чөйрөнүн салыштырмалуу нымдуулугун 40% -60% RH ортосунда көзөмөлдөө керек. Ишканалар реалдуу убакыт режиминде нымдуулукту көзөмөлдөө жана көзөмөлдөө, так гранит базасы үчүн ылайыктуу нымдуулук чөйрөсүн түзүү жана так статикалык басымдагы аба сүзүүчү кыймыл платформасынын туруктуу иштешин камсыз кылуу үчүн dehumidifiers, нымдуулук сенсорлорун жана башка жабдууларды колдоно алышат.
3. тазалык: катуу көзөмөлдөө, бөлүкчөлөрдүн кийлигишүүсүн жок кылуу
Чаң бөлүкчөлөрү так статикалык басымдагы аба сүзүүчү кыймыл платформасынын "душманы" болуп саналат жана гранит тактык базасына чоң зыян келтирет. Майда бөлүкчөлөр газ сүзгүч менен гранит негизинин ортосундагы газ пленкасынын боштугуна киргенден кийин, алар газ пленкасынын бирдейлигин бузуп, сүрүлүүнү күчөтүшү мүмкүн, ал тургай, платформанын кыймылынын тактыгына олуттуу таасирин тийгизип, базанын бетин чийип коюшу мүмкүн. Аэрокосмостук тетиктерди ультра тактык менен иштетүүчү цехте абадагы чаң бөлүкчөлөрү гранит негизине түшсө, иштетүүчү аспаптын кыймыл траекториясы четтеп, тетиктерди иштетүүнүн тактыгына таасирин тийгизиши мүмкүн. Ошондуктан, жумушчу аймак абдан таза болушу керек жана 10,000 же андан да жогору тазалык стандартына жетиши керек. Ишканалар жогорку эффективдүү аба чыпкаларын (HEPA) орнотуу менен абадагы чаң бөлүкчөлөрүн чыпкалай алат жана адамдар алып келген чаңды азайтуу үчүн кызматкерлерден чаңсыз кийимдерди, бут кийимдерди ж.б. кийүүнү талап кылышы мүмкүн.
4. Титирөө: жылмакай мейкиндикти түзүү үчүн эффективдүү изоляция
Тышкы титирөө тактык статикалык басымдагы аба сүзүүчү платформанын тактыгына олуттуу тоскоол болот, бирок так гранит базасы титирөөнү басаңдатуу мүмкүнчүлүгүнө ээ, бирок жогорку күчтүү титирөө дагы эле буфердик чекти бузушу мүмкүн. Заводдун айланасындагы кыймылдын жана ири механикалык жабдуулардын иштешинин натыйжасында пайда болгон титирөө жер аркылуу гранит негизине жеткирилип, платформанын кыймылынын тактыгына тоскоол болот. Жогорку сапаттагы CMMде титирөө өлчөөчү зонд менен өлчөөчү тетиктин ортосундагы байланышты туруксуз кылып, өлчөө маалыматтарынын четтөөсүнө алып келиши мүмкүн. Бул көйгөйдү чечүү үчүн титирөө изоляциясынын эффективдүү чараларды көрүү керек, мисалы, жабдууларды орнотуу аянтына титирөө изоляциялоочу аянтчаларды төшөө, титирөөнүн изоляциясынын пайдубалын куруу же тышкы титирөөнү активдүү жабуу үчүн жигердүү титирөө изоляциялоо тутумун колдонуу жана граниттин тактык базасы жана аба фломасынын статикалык басымынын статикалык платформасы үчүн тынч жана туруктуу иштөө чөйрөсүн түзүү.
Жогорудагы экологиялык талаптарга жооп бериңиз, так статикалык басымдагы абада калкып жүрүүчү кыймыл платформасында гранит тактык базасынын артыкчылыктарына толук мүмкүнчүлүк берүү үчүн, платформа ар кандай тармактар үчүн жогорку тактык жана туруктуу кыймылды башкаруу кызматтарын камсыз кылуу үчүн. Эгерде ишканалар өндүрүш чөйрөсүндө бул майда-чүйдөсүнө чейин көңүл бура алышса, алар так өндүрүш, илимий изилдөө жана башка тармактарда мүмкүнчүлүктөн пайдаланып, атаандаштыкка жөндөмдүүлүгүн жогорулатып, туруктуу өнүгүүгө жетишет.
Посттун убактысы: 10-апрель-2025