Жогорку класстагы өндүрүш жана алдыңкы илимий изилдөөлөр тармактарында тактыктагы статикалык басымдагы аба калкып жүрүүчү кыймыл платформасы өтө так иштөөгө жетишүү үчүн негизги жабдуу болуп саналат. Граниттен жасалган тактык базасы платформанын негизги тирөөч бөлүгү болуп саналат жана анын иштеши жумушчу чөйрө менен тыгыз байланышта. Бул экологиялык талаптарды түшүнүү жана аткаруу платформанын жогорку тактыкта иштешин камсыз кылуу менен бирге, ишкананын тиешелүү тармактардагы атаандаштыкка жөндөмдүүлүгүн жогорулатуунун маанилүү бөлүгү болуп саналат, бул төмөндө кеңири баяндалат.
1. Температура: өлчөмдүү туруктуулукту камсыз кылуу үчүн так башкаруу
Гранит туруктуулугу менен белгилүү болгону менен, анын жылуулук кеңейүү коэффициенти нөлгө барабар эмес жана температуранын кичине өзгөрүүлөрү анын өлчөмдүү тактыгына таасир этиши мүмкүн. Жалпысынан алганда, граниттин жылуулук кеңейүү коэффициенти 5-7 × 10⁻⁶/℃. Так статикалык басымдагы аба калкып жүрүүчү кыймыл платформасын колдонуу сценарийинде бул кичинекей өзгөрүү платформа тарабынан күчөтүлөт, бул кыймылдын тактыгынын четтөөсүнө алып келиши мүмкүн. Мисалы, жарым өткөргүч чип өндүрүү процессинде, литография процессинде позициялоо тактыгынын талаптары данами деңгээлинде, айлана-чөйрөнүн температурасынын 1°C өзгөрүшүндө, 1 метр гранит негизинин каптал узундугунда 5-7 микрон сызыктуу кеңейүүнү же кысылууну пайда кылышы мүмкүн, бул чип литографиясынын үлгүсүнүн четтөөсүн жасоого, түшүмдүүлүктү азайтууга жетиштүү. Ошондуктан, гранит тактык базасы менен жабдылган тактык статикалык басымдуу аба калкып жүрүүчү платформа, идеалдуу жумушчу чөйрөнүн температурасы 20°C ±1°C деңгээлинде катуу көзөмөлдөнүшү керек, ишканалар жогорку тактыктагы туруктуу температурадагы кондиционер системасын орното алышат, айлана-чөйрөнүн температурасын тынымсыз көзөмөлдөп жана так жөнгө сала алышат, гранит базасынын өлчөмүнүн туруктуулугун сактап, платформанын жогорку тактыкта иштешин камсыздай алышат.
2. нымдуулук: акылга сыярлык көзөмөл, базанын иштешин коргоо
Нымдуулук граниттин так негиздерине да олуттуу таасир этет. Нымдуулук жогору болгон чөйрөдө гранит суу буусун оңой сиңирип алат жана бетинде конденсация пайда болушу мүмкүн, бул аба флотация системасынын кадимки иштешине тоскоол болбостон, граниттин бетинин узак мөөнөттүү эрозиясына алып келип, анын тактыгын жана иштөө мөөнөтүн кыскартат. Оптикалык линзаларды майдалоочу цехти мисал катары алсак, эгерде нымдуулук узак убакыт бою 60% RH жогору болсо, граниттин негизинин бетине адсорбцияланган суу буусу аба калкып жүрүүчү пленканын бирдейлигин бузат, натыйжада линзаларды майдалоо тактыгы төмөндөйт жана беттин кемчиликтери пайда болот. Ошондуктан, жумушчу чөйрөнүн салыштырмалуу нымдуулугун 40%-60% RH ортосунда көзөмөлдөө керек. Ишканалар нымдуулукту реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөө жана башкаруу, так граниттин негизи үчүн ылайыктуу нымдуулук чөйрөсүн түзүү жана так статикалык басымдагы аба калкып жүрүүчү кыймыл платформасынын туруктуу иштешин камсыз кылуу үчүн кургаткычтарды, нымдуулук сенсорлорун жана башка жабдууларды колдоно алышат.
3. тазалык: катуу көзөмөл, бөлүкчөлөрдүн кийлигишүүсүн жок кылуу
Чаң бөлүкчөлөрү так статикалык басымдагы аба калкып жүрүүчү кыймыл платформасынын "душманы" болуп саналат жана гранит так базасына чоң зыян келтирет. Майда бөлүкчөлөр газ калкып жүрүүчү жылдыргыч менен гранит базасынын ортосундагы газ пленкасынын боштугуна киргенден кийин, алар газ пленкасынын бирдейлигин бузуп, сүрүлүүнү күчөтүп, ал тургай базанын бетин чийип, платформанын кыймылынын тактыгына олуттуу таасир этиши мүмкүн. Аэрокосмостук тетиктердин өтө так иштетүү цехинде, эгерде абадагы чаң бөлүкчөлөрү гранит негизине түшсө, иштетүүчү шаймандын кыймыл траекториясы четтеп, тетиктердин иштетүү тактыгына таасир этиши мүмкүн. Ошондуктан, жумушчу аймак өтө таза кармалып, 10 000 же андан да жогорку тазалык стандартына жетиши керек. Ишканалар жогорку эффективдүү аба чыпкаларын (HEPA) орнотуу менен абадагы чаң бөлүкчөлөрүн чыпкалай алышат жана адамдар алып келген чаңды азайтуу жана гранит базасынын жана так статикалык басымдагы аба калкып жүрүүчү кыймыл платформасынын жогорку тактыктагы иштөө чөйрөсүн сактоо үчүн кызматкерлерден чаңсыз кийим, бут кийим каптарын ж.б. кийүүнү талап кылышат.
4. Вибрация: Жылмакай мейкиндикти түзүү үчүн натыйжалуу изоляция
Тышкы титирөө так статикалык басымдагы аба калкып жүрүүчү платформанын тактыгына олуттуу тоскоол болот, бирок так гранит негизи белгилүү бир титирөөнү басаңдатуу мүмкүнчүлүгүнө ээ, бирок жогорку күчтүү титирөө дагы эле анын буфердик чегин бузушу мүмкүн. Заводдун айланасындагы кыймылдан жана ири механикалык жабдуулардын иштешинен пайда болгон титирөө жер аркылуу гранит негизине берилет, бул платформанын кыймылынын тактыгына тоскоол болот. Жогорку класстагы CMMде титирөө өлчөөчү зонд менен өлчөнө турган жумушчу бөлүктүн ортосундагы байланыштын туруксуз болушуна алып келиши мүмкүн, бул өлчөө маалыматтарынын четтөөсүнө алып келет. Бул көйгөйдү чечүү үчүн, жабдууларды орнотуу аянтына титирөөнү изоляциялоочу төшөктөрдү төшөө, титирөөнү изоляциялоочу пайдубал куруу же тышкы титирөөнү активдүү түрдө жоюу үчүн активдүү титирөөнү изоляциялоо системасын колдонуу сыяктуу натыйжалуу титирөөнү изоляциялоо чараларын көрүү зарыл, ошондой эле гранит так негизи жана так статикалык басымдагы аба калкып жүрүүчү кыймыл платформасы үчүн тынч жана туруктуу жумушчу чөйрөнү түзүү керек.
Жогорудагы экологиялык талаптарга жооп берүү, так статикалык басымдагы аба калкып жүрүүчү кыймыл платформасында гранит тактык базасынын артыкчылыктарын толук пайдалануу, платформанын ар кандай тармактар үчүн жогорку тактыктагы жана жогорку туруктуулуктагы кыймылды башкаруу кызматтарын көрсөтүшүн камсыз кылуу. Эгерде ишканалар өндүрүш чөйрөсүндө ушул деталдарга көңүл бурса, алар тактык өндүрүшүндө, илимий изилдөөлөрдө жана башка тармактарда мүмкүнчүлүктөрдү пайдаланып, атаандаштыкка жөндөмдүүлүгүн жогорулатып, туруктуу өнүгүүгө жетишет.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 10-апрели