Гранит компоненттери жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде жогорку беттик жасалгалоо, жогорку катуулук жана мыкты титирөөнү басуу сыяктуу эң сонун мүнөздөмөлөрүнөн улам кеңири колдонулуп келет. Гранит компоненттери жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү жабдуулары, анын ичинде литографиялык машиналар, жылтыраткыч машиналар жана метрология системалары үчүн абдан маанилүү, анткени алар өндүрүш процессинде так позициялоону жана туруктуулукту камсыз кылат. Гранит компоненттерин колдонуунун бардык артыкчылыктарына карабастан, алардын кемчиликтери да бар. Бул макалада биз жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессиндеги продукциялар үчүн гранит компоненттеринин кемчиликтерин талкуулайбыз.
Биринчиден, гранит компоненттеринин жылуулук кеңейүү коэффициенти жогору. Бул алардын жылуулук чыңалуусунун астында бир топ кеңейээрин билдирет, бул өндүрүш процессинде көйгөйлөрдү жаратышы мүмкүн. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесси жогорку тактыкты жана өлчөмдүү тактыкты талап кылат, бул жылуулук чыңалуусунан улам бузулушу мүмкүн. Мисалы, жылуулук кеңейүүсүнөн улам кремний пластинасынын деформациясы литография учурунда тегиздөө көйгөйлөрүн жаратып, жарым өткөргүч түзүлүштүн сапатына доо кетириши мүмкүн.
Экинчиден, гранит компоненттеринде жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде вакуумдук агып кетүүгө алып келиши мүмкүн болгон тешиктүүлүк кемчиликтери бар. Системада абанын же башка газдын болушу пластинанын бетинде булганууну жаратып, жарым өткөргүч түзүлүштүн иштешине таасир этүүчү кемчиликтерге алып келиши мүмкүн. Аргон жана гелий сыяктуу инерттүү газдар тешиктүү гранит компоненттерине сиңип, вакуум процессинин бүтүндүгүнө тоскоол боло турган газ көбүкчөлөрүн пайда кылышы мүмкүн.
Үчүнчүдөн, граниттин компоненттеринде өндүрүш процессинин тактыгына тоскоол боло турган микрожарыктар бар. Гранит - бул морт материал, ал убакыттын өтүшү менен, айрыкча туруктуу стресс циклдерине дуушар болгондо, микрожарыктарды пайда кылышы мүмкүн. Микрожарыктардын болушу өлчөмдүү туруксуздукка алып келиши мүмкүн, бул өндүрүш процессинде литографияны тегиздөө же пластинаны жылтыратуу сыяктуу олуттуу көйгөйлөрдү жаратат.
Төртүнчүдөн, гранит компоненттеринин ийкемдүүлүгү чектелүү. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесси ар кандай процесстик өзгөрүүлөргө ылайыкташа алган ийкемдүү жабдууларды талап кылат. Бирок, гранит компоненттери катуу жана ар кандай процесстик өзгөрүүлөргө ыңгайлаша албайт. Ошондуктан, өндүрүш процессиндеги ар кандай өзгөрүүлөр гранит компоненттерин алып салууну же алмаштырууну талап кылат, бул иштебей калууга алып келет жана өндүрүмдүүлүккө таасир этет.
Бешинчиден, гранит компоненттери салмагына жана морттугуна байланыштуу атайын иштетүүнү жана ташууну талап кылат. Гранит - бул крандар жана көтөргүчтөр сыяктуу атайын иштетүүчү жабдууларды талап кылган тыгыз жана оор материал. Мындан тышкары, гранит компоненттери ташуу учурунда бузулуп калбашы үчүн кылдат таңгактоону жана ташууну талап кылат, бул кошумча чыгымдарды жана убакытты талап кылат.
Жыйынтыктап айтканда, гранит компоненттеринин жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессиндеги продукциялардын сапатына жана өндүрүмдүүлүгүнө таасир этиши мүмкүн болгон айрым кемчиликтери бар. Бул кемчиликтерди гранит компоненттерин кылдаттык менен колдонуу жана техникалык тейлөө аркылуу азайтууга болот, анын ичинде микроскрецияларды жана тешиктүүлүк кемчиликтерин мезгил-мезгили менен текшерүү, булгануунун алдын алуу үчүн тийиштүү тазалоо жана ташуу учурунда кылдаттык менен колдонуу. Кемчиликтерге карабастан, гранит компоненттери жогорку беттик жасалгасы, жогорку катуулугу жана эң сонун титирөөнү басуусунан улам жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинин маанилүү бөлүгү бойдон калууда.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 5-декабры