Жарым өткөргүч өндүрүшү: Чипти өндүрүү процессинде фотолитография процесси схеманын үлгүсүн вафлиге так өткөрүп бериши керек. Жалгыз огу аба калкып жүрүүчү ультра тактык кыймыл модулунун гранит базасы литография жабдыктарындагы пластинка үстөлүн жогорку тактыкта жайгаштырууну жана туруктуу колдоону камсыздай алат. Мисалы, ASML жана башка эл аралык атактуу литография машина өндүрүүчүлөрү жогорку чендеги жабдууларында гранит базасы абада калкып жүрүүчү кыймыл модулдарын колдонушат, алар литография үлгүсүнүн тактыгын камсыз кылуу үчүн нанометрдик деңгээлде пластинанын жайгашуу тактыгын көзөмөлдөй алышат, ошону менен чиптин интеграциясын жана иштешин жакшыртышат.
Тактык өлчөө талаасы: CMM - өнөр жай өндүрүшүндө кеңири колдонулуучу тактык өлчөөчү жабдуу, ал даярдалган материалдын өлчөмүн, формасын жана абалынын тактыгын өлчөө үчүн колдонулат. Гранит базасында бир огу аба калкып ультра тактык кыймыл модулу жогорку тактыктагы сызыктуу кыймылды ишке ашыруу жана өлчөө зонд үчүн туруктуу кыймыл траекториясын камсыз кыла алат CMM кыймыл платформа катары колдонулушу мүмкүн. Мисалы, Hexagon'дун жогорку класстагы CMM бул комбинацияны микрон деңгээлине чейин өлчөө тактыгы менен чоң жана татаал тетиктерди өлчөө үчүн колдонот, бул автомобиль, аэрокосмостук жана башка тармактарда тетиктердин сапатын көзөмөлдөөгө күчтүү кепилдик берет.
Аэрокосмостук талаа: аэрокосмостук бөлүктөрүн иштетүүдө жана сыноодо жогорку тактык талап кылынат. Мисалы, самолеттун кыймылдаткычынын локаларын механикалык иштетүү пычак профилинин тактыгын камсыз кылуу үчүн инструменттин кыймыл траекториясын так көзөмөлдөөнү талап кылат. Бир огу аба калкып ультра тактык кыймыл модулунун гранит базасы курал үчүн жогорку тактык кыймыл башкарууну камсыз кылуу жана бычактын иштетүү тактыгын камсыз кылуу үчүн беш огу иштетүү борборуна жана башка жабдууларга колдонулушу мүмкүн дизайн талаптарына жооп берет. Ошону менен бирге аэродвигателди жыйноо процессинде тетиктердин монтаждоо тактыгын аныктоо учун жогорку тактыктагы елчеечу аппаратураны да колдонуу зарыл. Гранит базасынын абада калкып жүрүүчү кыймыл модулу монтаждоо сапатын камсыз кылуу үчүн өлчөө жабдуулары үчүн туруктуу колдоо жана так кыймылды камсыз кыла алат.
Оптикалык текшерүү талаасы: Оптикалык компоненттерди өндүрүү жана сыноо процессинде оптикалык компоненттерди жогорку тактыкта жайгаштыруу жана өлчөө керек. Мисалы, күзгү жана линзалар сыяктуу жогорку тактыктагы оптикалык компоненттерди жасап жатканда, беттин формасынын тактыгын аныктоо үчүн интерферометрлерди жана башка жабдууларды колдонуу керек. Бир огу абада калкып жүрүүчү ультра тактык кыймыл модулунун гранит базасы суб-микрондук жайгаштыруу тактыгын ишке ашыра турган жана оптикалык компоненттерди аныктоо үчүн так маалыматтарды колдоону камсыз кылган интерферометрдин кыймыл платформасы катары колдонулушу мүмкүн. Мындан тышкары, лазердик иштетүүчү жабдууларда, ошондой эле лазер нурунун сканерлөө траекториясын көзөмөлдөө үчүн жогорку тактыктагы кыймыл платформасын колдонуу керек, абада калкып жүрүүчү кыймыл модулунун гранит базасы бул талапка жооп бере алат, лазердик жогорку тактыкта иштетүүгө жетишүү.
Посттун убактысы: 07-07-2025