Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү: Чипти өндүрүү процессинде фотолитография процесси схеманын үлгүсүн пластинага так өткөрүп бериши керек. Бир октуу аба калкып жүрүүчү өтө так кыймыл модулунун гранит негизи литография жабдууларында пластина столуна жогорку тактык менен позициялоону жана туруктуу колдоону камсыздай алат. Мисалы, ASML жана башка эл аралык деңгээлде белгилүү литография машиналарын өндүрүүчүлөр өздөрүнүн жогорку класстагы жабдууларында гранит негиздүү аба калкып жүрүүчү кыймыл модулдарын колдонушат, алар литография үлгүсүнүн тактыгын камсыз кылуу үчүн пластинанын позициялоо тактыгын нанометр деңгээлинде башкара алышат, ошону менен чиптин интеграциясын жана иштешин жакшыртат.
Так өлчөө талаасы: CMM - бул өнөр жай өндүрүшүндө кеңири колдонулган так өлчөөчү жабдык, ал бөлүктүн өлчөмүн, формасын жана абалынын тактыгын өлчөө үчүн колдонулат. Гранит негизиндеги бир октуу аба калкымасынын өтө так кыймыл модулу CMMдин кыймыл платформасы катары колдонулушу мүмкүн, ал жогорку тактыктагы сызыктуу кыймылды ишке ашыра алат жана өлчөөчү зонд үчүн туруктуу кыймыл траекториясын камсыздай алат. Мисалы, Hexagon компаниясынын жогорку класстагы CMM бул айкалышты микрон деңгээлине чейин өлчөө тактыгы менен чоң жана татаал бөлүктөрдү өлчөө үчүн колдонот, бул автомобиль, аэрокосмос жана башка тармактарда бөлүктөрдүн сапатын көзөмөлдөө үчүн күчтүү кепилдик берет.
Аэрокосмос тармагы: Аэрокосмостук тетиктерди иштетүүдө жана сыноодо жогорку тактык талап кылынат. Мисалы, учак кыймылдаткычынын бычактарын иштетүүдө бычактын профилинин тактыгын камсыз кылуу үчүн шаймандын кыймыл траекториясын так башкаруу талап кылынат. Бир октуу аба калкып жүрүүчү өтө так кыймыл модулунун гранит негизи беш октуу иштетүү борборуна жана башка жабдууларга колдонулуп, шайман үчүн жогорку тактыктагы кыймылды башкарууну камсыз кылат жана бычактын иштетүү тактыгы долбоорлоо талаптарына жооп берерин камсыздай алат. Ошол эле учурда, аэродинамикалык кыймылдаткычты чогултуу процессинде тетиктердин чогултуу тактыгын аныктоо үчүн жогорку тактыктагы өлчөөчү жабдууларды колдонуу зарыл. Гранит негизинин аба калкып жүрүүчү кыймыл модулу чогултуу сапатын камсыз кылуу үчүн өлчөөчү жабдуулар үчүн туруктуу колдоону жана так кыймылды камсыздай алат.
Оптикалык текшерүү тармагы: Оптикалык компоненттерди өндүрүү жана сыноо процессинде оптикалык компоненттерди жогорку тактыкта жайгаштыруу жана өлчөө зарыл. Мисалы, күзгүлөр жана линзалар сыяктуу жогорку тактыктагы оптикалык компоненттерди өндүрүүдө беттин формасынын тактыгын аныктоо үчүн интерферометрлерди жана башка жабдууларды колдонуу зарыл. Бир октуу аба калкып жүрүүчү өтө так кыймыл модулунун гранит негизи интерферометрдин кыймыл платформасы катары колдонулушу мүмкүн, ал микрондон төмөн позициялоо тактыгын ишке ашырып, оптикалык компоненттерди аныктоо үчүн так маалыматтарды колдоону камсыздай алат. Мындан тышкары, лазердик иштетүүчү жабдууларда лазер нурунун сканерлөө траекториясын башкаруу үчүн жогорку тактыктагы кыймыл платформасын колдонуу керек, аба калкып жүрүүчү кыймыл модулунун гранит негизи бул талапка жооп берип, жогорку тактыктагы лазердик иштетүүгө жетише алат.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 7-апрели