Жарым өткөргүчтөр тармагында пластиналарды текшерүү чиптин сапатын жана иштешин камсыз кылуунун негизги звеносу болуп саналат, ал эми текшерүү столунун тактыгы жана туруктуулугу аныктоо натыйжаларында чечүүчү ролду ойнойт. Уникалдуу мүнөздөмөлөрү бар гранит негизи жарым өткөргүч пластиналарды текшерүү столунун идеалдуу тандоосу болуп калды, бул сиз үчүн көп өлчөмдүү анализден келип чыгат.
Биринчиден, тактык кепилдигинин өлчөмү
1. Өтө жогорку тегиздик жана түздүк: Гранит негизи өнүккөн иштетүү технологиясы менен иштетилет жана тегиздик ±0,001 мм/м же андан да жогорку тактыкка жетиши мүмкүн, ошондой эле түздүк да эң сонун. Пластинаны текшерүү процессинде жогорку тактыктагы тегиздик пластинаны туруктуу колдоону камсыз кылат жана текшерүү жабдууларынын зондунун жана пластинанын бетиндеги ширетүүчү муундардын ортосундагы так байланышты камсыз кылат.
2. Жылуулук кеңейүү коэффициенти өтө төмөн: жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү температуранын өзгөрүшүнө сезгич келет, ал эми граниттин жылуулук кеңейүү коэффициенти өтө төмөн, адатта 5 × 10⁻⁶/℃ тегерегинде. Аныктоо платформасы иштеп турганда, айлана-чөйрөнүн температурасы өзгөрүп турса да, гранит негизинин өлчөмү өтө аз өзгөрөт. Мисалы, жай мезгилинде жогорку температурадагы цехте жалпы металл негизин аныктоо платформасынын температурасы пластинанын жана аныктоочу жабдуулардын салыштырмалуу абалын жылыштырып, аныктоонун тактыгына таасир этиши мүмкүн; Гранит негизин аныктоо платформасы туруктуулукту сактай алат, аныктоо процессинде пластинанын жана аныктоочу жабдуулардын салыштырмалуу абалынын тактыгын камсыздай алат жана жогорку тактыктагы аныктоо үчүн туруктуу чөйрөнү камсыздай алат.
Экинчиден, туруктуулуктун өлчөмү
1. Туруктуу түзүлүш жана титирөөгө туруктуулук: Гранит миллиондогон жылдар бою геологиялык процесстерден кийин ички түзүлүшү тыгыз жана бирдей. Жарым өткөргүч заводдун татаал чөйрөсүндө перифериялык жабдуулардын жана айланада жүргөн персоналдын иштешинен пайда болгон титирөө гранит негизи тарабынан натыйжалуу басаңдатылат.
2. Узак мөөнөттүү колдонуу тактыгы: башка материалдар менен салыштырганда, граниттин катуулугу жогору, эскирүүгө туруктуулугу күчтүү жана Моостун катуулугу 6-7ге жетиши мүмкүн. Граниттин негизинин бети пластиналарды тез-тез жүктөө, түшүрүү жана текшерүү операцияларында оңой менен эскирбейт. Маалыматтардын статистикасын иш жүзүндө колдонуу боюнча, гранит негизин сыноо столун колдонуу, 5000 сааттан кийин үзгүлтүксүз иштөө, тегиздик жана түздүктүн тактыгы баштапкы тактыктын 98% дан ашык деңгээлинде сакталып калышы мүмкүн, бул үзгүлтүксүз калибрлөө жана техникалык тейлөө убактысынан улам негиздин эскиришинен улам жабдууларды азайтып, бизнестин эксплуатациялык чыгымдарын азайтып, сыноо иштеринин узак мөөнөттүү туруктуулугун камсыз кылат.
Үчүнчүдөн, таза жана кийлигишүүгө каршы өлчөм
1. Чаңдын аз пайда болушу: жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү чөйрөсү өтө таза болушу керек, ал эми гранит материалынын өзү туруктуу жана чаң бөлүкчөлөрүн пайда кылуу оңой эмес. Сыноо платформасын иштетүү учурунда, негиз тарабынан пайда болгон чаңдын пластинаны булгашына жол берилбейт жана чаң бөлүкчөлөрүнөн келип чыккан кыска туташуу жана үзүлүү коркунучу азаят. Чаңсыз цехтин пластинаны текшерүү аймагында гранит негизин текшерүү столунун айланасындагы чаңдын концентрациясы ар дайым өтө төмөн деңгээлге чейин көзөмөлдөнүп, жарым өткөргүч өнөр жайынын катуу тазалык талаптарына жооп берет.
2. Магниттик тоскоолдуктар жок: аныктоочу жабдуулар электромагниттик чөйрөгө сезгич, ал эми гранит магниттик эмес материал болуп саналат, ал аныктоочу жабдуулардын электрондук сигналына тоскоол болбойт. Электрондук нурларды аныктоону жана өтө жогорку электромагниттик чөйрөнү талап кылган башка сыноо технологияларын колдонууда гранит негизи аныктоочу жабдуулардын электрондук сигналынын туруктуу берилишин камсыздайт жана сыноо натыйжаларынын тактыгын камсыздайт. Мисалы, пластина жогорку тактыктагы электрдик көрсөткүчтөргө текшерилгенде, магниттик эмес гранит негизи аныктоочу токтун жана чыңалуу сигналдарына тоскоол болбоого мүмкүндүк берет, ошондуктан аныктоо маалыматтары пластинанын электрдик мүнөздөмөлөрүн чындап чагылдырат.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 31-марты