|
Жарым өткөргүч тармагында пластинаны текшерүү чиптин сапатын жана иштешин камсыз кылуу үчүн негизги шилтеме болуп саналат жана текшерүү столунун тактыгы жана туруктуулугу аныктоонун натыйжаларында чечүүчү ролду ойнойт. Өзүнүн уникалдуу мүнөздөмөлөрү менен гранит базасы жарым өткөргүч пластинкасын текшерүү столу үчүн идеалдуу тандоо болуп калат, сиз үчүн көп өлчөмдүү талдоо. |
Биринчиден, тактык кепилдик өлчөмү
1. Ultra-жогорку тегиздик жана түздүк: гранит базасы өнүккөн кайра иштетүү технологиясы менен иштетилет, ал эми тегиздик ± 0.001mm / м же андан да жогору тактыкка жетиши мүмкүн, түздүк да эң сонун. Вафлиди текшерүү процессинде жогорку тактыктагы учак пластинка үчүн туруктуу колдоону камсыз кылат жана текшерүүчү жабдыктын зондунун жана пластинанын бетиндеги ширетүүчү муундардын ортосундагы так байланышты камсыз кылат. |
2. Жылуулук кеңейүү коэффициенти өтө төмөн: жарым өткөргүч өндүрүшү температуранын өзгөрүшүнө сезгич жана граниттин жылуулук кеңейүү коэффициенти өтө төмөн, адатта болжол менен 5×10⁻⁶/℃. аныктоо платформа иштеп жатканда, айлана-чөйрөнүн температурасы өзгөрүп турса да, гранит базасынын өлчөмү абдан аз өзгөрөт. Мисалы, жайында жогорку температура цехинде, жалпы металл базалык аныктоо аянтчанын температурасы аныктоо тактыгына таасир пластинанын жана аныктоо жабдуулардын салыштырмалуу абалын алып келиши мүмкүн; Гранит базаны аныктоо платформасы туруктуулукту сактап, аныктоо процессинде пластинанын жана аныктоочу жабдуулардын салыштырмалуу абалынын тактыгын камсыздай алат жана жогорку тактыкта аныктоо үчүн туруктуу чөйрөнү камсыздай алат. |
Экинчиден, туруктуулук
1. Туруктуу түзүлүшү жана титирөө каршылык: геологиялык жараяндардын миллиондогон жылдан кийин гранит, ички түзүлүшү тыгыз жана бирдиктүү болуп саналат. Жарым өткөргүч заводунун татаал шартында перифериялык жабдуулардын жана персоналдын айланасында жүргөндө пайда болгон титирөө гранит базасы менен эффективдүү басаңдатылат. |
2. Узак мөөнөттүү колдонуу тактыгы: башка материалдар менен салыштырганда, гранит жогорку катуулук, күчтүү кийим каршылык бар, жана Mohs катуулугу 6-7 жетиши мүмкүн. Граниттин негизинин бети пластинкаларды тез-тез жүктөө, түшүрүү жана текшерүү операцияларында оңой кийбейт. Статистикалык маалыматтардын иш жүзүндө колдонулушуна ылайык, граниттин базалык тестирлөө үстөлүн колдонуу, 5000 сааттан кийин үзгүлтүксүз иштөө, тегиздик жана түздүк тактыгы дагы деле баштапкы тактыктын 98% дан ашыгы менен сакталышы мүмкүн, үзгүлтүксүз калибрлөө жана тейлөө убакыттарынан улам базанын эскиришинен улам жабдууларды кыскартуу, бизнестин эксплуатациялык чыгымдарын азайтуу, сыноо иштеринин узак мөөнөттүү туруктуулугун камсыз кылуу. |
Үчүнчүдөн, таза жана антитерференция өлчөмү
1. Төмөн чаң муун: жарым өткөргүч өндүрүш чөйрөсү абдан таза болушу керек, ал эми гранит материалы өзү туруктуу жана чаң бөлүкчөлөрүн өндүрүү үчүн жеңил эмес. Сыноо аянтчасын иштетүүдө базадан пайда болгон чаң пластинаны булгабайт жана чаң бөлүкчөлөрүнүн натыйжасында кыска туташуу жана ачык туташуу коркунучу азаят. Чаңсыз цехтин пластинкасын текшерүү зонасында гранит базасын текшерүү үстөлүнүн айланасындагы чаң концентрациясы ар дайым жарым өткөргүч өнөр жайынын катуу тазалык талаптарына жооп берген өтө төмөн деңгээлде көзөмөлдөнөт. |
2. Магниттик тоскоолдук жок: аныктоочу жабдуулар электромагниттик чөйрөгө сезгич жана гранит магниттик эмес материал болуп саналат, ал аныктоочу жабдуулардын электрондук сигналына тоскоол болбойт. Электрондук нурларды аныктоону жана өтө жогорку электромагниттик чөйрөнү талап кылган башка тестирлөө технологияларын колдонууда гранит базасы аныктоочу жабдуулардын электрондук сигналынын туруктуу берилишин камсыз кылат жана сыноонун натыйжаларынын тактыгын камсыз кылат. Мисалы, пластинка жогорку тактыктагы электрдик көрсөткүчтөр үчүн сыналганда, магниттик эмес гранит базасы аныктоочу токтун жана чыңалуу сигналдарына кийлигишүүдөн сактайт, андыктан аныктоо маалыматтары пластинанын электрдик мүнөздөмөлөрүн чындап чагылдырат.
Посттун убактысы: 31-март-2025