Так өлчөө чөйрөсүндө, гранит тактык платформасы, анын эң сонун туруктуулугу, жогорку катуулук жана жакшы эскирүү каршылыгы, көптөгөн жогорку тактыктагы өлчөө иштери үчүн идеалдуу негиз болуп калды. Бирок, караңгыда катылган "так өлтүргүч" сыяктуу экологиялык факторлордогу температуранын өзгөрүшү гранит так платформасынын өлчөө тактыгына анчалык деле чоң эмес таасирин тийгизет. Өлчөө иштеринин тактыгын жана ишенимдүүлүгүн камсыз кылуу үчүн таасир босогосун терең изилдөөнүн мааниси чоң.
Гранит өзүнүн туруктуулугу менен белгилүү болсо да, ал температуранын өзгөрүшүнө каршы эмес. Анын негизги компоненттери кварц, талаа шпаты жана башка минералдар болуп саналат, алар ар кандай температурада термикалык кеңейүү жана жыйрылышы кубулуштарын пайда кылат. Айлана-чөйрөнүн температурасы жогорулаганда, гранит так платформа жылытылат жана кеңейип, аянтчанын өлчөмү бир аз өзгөрөт. Температура төмөндөгөндө, ал кайра баштапкы абалына кичирейет. Кичинекей көрүнгөн өлчөмдөгү өзгөрүүлөр так өлчөө сценарийлеринде өлчөө натыйжаларына таасир этүүчү негизги факторлорго чоңойтсо болот.
Мисал катары гранит платформасына дал келген жалпы координатты өлчөөчү аспапты алсак, жогорку тактыктагы өлчөө тапшырмасында өлчөө тактыгына талаптар көбүнчө микрон деңгээлине же андан да жогору болот. 20 ℃ стандарттык температурада платформанын ар кандай өлчөмдүү параметрлери идеалдуу абалда болот деп болжолдонууда жана так маалыматтарды даярдалган бөлүгүн өлчөө аркылуу алууга болот. Айлана-чөйрөнүн температурасы өзгөрүп турганда, абал такыр башкача болот. Көптөгөн эксперименталдык маалыматтар статистикасы жана теориялык анализден кийин, нормалдуу шарттарда, айлана-чөйрөнүн температурасынын 1℃ өзгөрүшү, гранит так платформасынын сызыктуу кеңейиши же кыскарышы болжол менен 5-7 × 10⁻⁶/℃. Бул 1 метр тараптын узундугу менен гранит платформа үчүн, температура 1 ° C өзгөрсө, каптал узундугу 5-7 микрон менен өзгөрүшү мүмкүн дегенди билдирет. Так өлчөө, өлчөмүн мындай өзгөртүү алгылыктуу диапазондун чегинен тышкары өлчөө каталары себеп үчүн жетиштүү болуп саналат.
Ар кандай тактык деңгээлинде талап кылынган өлчөө иштери үчүн температуранын өзгөрүүсүнө таасир этүү чеги да ар түрдүү. Кадимки тактыкта өлчөөдө, мисалы, механикалык бөлүктөрдүн өлчөмүн өлчөөдө, эгерде уруксат берилген өлчөө катасы ± 20 микрондун ичинде болсо, жогоруда көрсөтүлгөн кеңейүү коэффициентинин эсебине ылайык, температуранын өзгөрүшү ± 3-4 ℃ диапазонунда көзөмөлдөнүшү керек, платформанын өлчөмүн алгылыктуу деңгээлде өзгөртүүдөн улам өлчөө катасын көзөмөлдөө үчүн. Жарым өткөргүч микросхемаларын өндүрүүдө литография процессин өлчөө сыяктуу жогорку тактык талаптары бар аймактарда катага ±1 микрон чегинде жол берилет, ал эми температуранын өзгөрүшүн ± 0,1-0,2 ° C чегинде катуу көзөмөлгө алуу керек. Температуранын өзгөрүшү бул босогодон ашкандан кийин, термикалык кеңейүү жана жыйрылуу платформасында өлчөө натыйжаларына таасир этиши мүмкүн. чип өндүрүшүнүн түшүмү.
гранит тактык аянтчаны өлчөө тактыгына айлана-чөйрөнүн температурасынын өзгөрүшүнүн таасири менен күрөшүү үчүн, көп иш-чаралар практикалык иштерде кабыл алынат. Мисалы, өтө кичинекей диапазондо температуранын өзгөрүшүн көзөмөлдөө үчүн өлчөө чөйрөсүндө жогорку тактыктагы туруктуу температура жабдуулары орнотулган; Температураны компенсациялоо өлчөө маалыматтары боюнча жүзөгө ашырылат, ал эми өлчөө натыйжалары платформанын жылуулук кеңейүү коэффициентине жана реалдуу убакыт режиминде температуранын өзгөрүшүнө ылайык программалык алгоритм менен оңдолот. Бирок, кандай гана чаралар көрүлбөсүн, гранит так платформасынын өлчөө тактыгына айлана-чөйрөнүн температурасынын өзгөрүшүнүн таасирин так түшүнүү так жана ишенимдүү өлчөө иштерин камсыз кылуунун негизи болуп саналат.
Посттун убактысы: 03-03-2025