Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн так чынжырында пластинаны өткөрүү системасы "чиптерди өндүрүү линиясынын жашоо сызыгы" сыяктуу жана анын туруктуулугу жана тактыгы чиптердин кирешелүүлүгүн түздөн-түз аныктайт. Вафли өткөргүч системаларынын жаңы мууну революциялык түрдө сызыктуу моторлорду гранит негиздери менен айкалыштырат жана гранит материалдарынын уникалдуу артыкчылыктары так жогорку натыйжалуу өткөрүүнү ачуу үчүн негизги код болуп саналат.
|
Гранит базасы: Туруктуу өткөрүү үчүн "таш-катуу пайдубалды" куруу
Жүз миллиондогон жылдар бою геологиялык тактоодон өткөн гранит тыгыз жана бирдей ички минералдык кристаллдашуу менен мүнөздөлөт. Бул табигый мүнөздөмөсү аны пластинка которуу системалары үчүн идеалдуу базалык материал кылат. Жарым өткөргүчтүү таза бөлмөлөрдүн татаал чөйрөсүндө гранит, анын ультра төмөн жылуулук кеңейүү коэффициенти (болгону 5-7 ×10⁻⁶/℃) менен жабдуунун иштеши учурунда пайда болгон жылуулукка жана айлана-чөйрөнүн температурасынын өзгөрүшүнө туруштук бере алат, базалык өлчөмдөрдүн туруктуулугун камсыз кылат жана жылуулук менен шартталган өткөргүч жолдун четтөөсүнө жол бербейт. Анын вибрацияны басаңдатуучу өзгөчөлүгү сызыктуу кыймылдаткычтарды ишке киргизүү, өчүрүү жана ылдамдатуу учурунда пайда болгон механикалык термелүүлөрдү, ошондой эле цехтеги башка жабдуулардын иштешинен келип чыккан тышкы тоскоолдуктарды тез сиңирип, пластинканы өткөрүү үчүн "нөлдүк титирөө" менен туруктуу платформаны камсыздай алат. |
Ошол эле учурда, граниттин химиялык туруктуулугу ал кислота жана щелоч реагенттери учуучу жана жогорку тазалык талап кылынган жарым өткөргүч цехтеринде дат басып кетпесин жана дат басып кетпесин камсыздайт, ошентип материалдын эскирүүсүнө же булгоочу заттардын адсорбциясына байланыштуу берүү тактыгына таасирин тийгизбейт. Жылмакай жана тыгыз беттик мүнөздөмөлөрү чаңдын адгезиясын натыйжалуураак азайтат, таза бөлмөлөрдүн чаңсыз катуу стандарттарына жооп берет жана пластинанын тамырынан булгануу коркунучун жок кылат. |
Сызыктуу моторлордун жана граниттин "алтын өнөктөштүк" эффектиси
Сызыктуу кыймылдаткычтар, алардын мүнөздөмөлөрү механикалык өткөргүч клиренси жок, жогорку ылдамдатуу жана жогорку жооп берүү ылдамдыгы менен "тез, так жана туруктуу" артыкчылыктарга ээ. Гранит базасы ал үчүн бекем жана ишенимдүү колдоо аянтчасын камсыз кылат. Экөө биргелешип иштөөдө ийгиликке жетишүү. Сызыктуу мотор вафли ташуучуну гранит базалык жолдо иштөө үчүн айдаганда, базанын күчтүү катуулугу жана туруктуулугу мотор кыймылдаткыч күчүн эффективдүү өткөрүүнү камсыздайт, базанын деформациясынан улам күч жоготуудан же өткөрүп берүү артта калуудан качат. |
Наноөлчөмдүү тактыкка болгон суроо-талап менен шартталган сызыктуу моторлор суб-микрондук деңгээлдеги жылышууну башкарууга жетише алышат. Гранит негиздеринин жогорку тактыктагы иштетүү мүнөздөмөлөрү (± 1μm чегинде тегиздик каталары менен) сызыктуу кыймылдаткычтардын так башкаруусуна эң сонун шайкеш келип, пластинаны өткөрүүдө жайгаштыруу катасынын ± 5μmден аз болушун камсыздайт. Бул ар кандай технологиялык жабдуулардын арасында жогорку ылдамдыкта жүрүү болобу же пластинкаларды тапшыруу үчүн так токтоо болобу, сызыктуу кыймылдаткычтар менен гранит негиздеринин айкалышы пластинаны өткөрүүдө "нөлдүк четтөө жана нөлдүк життерди" камсыздай алат. |
Өнөр жай практикасын текшерүү: Натыйжалуулуктун жана түшүмдүүлүктүн эки эсе жакшырышы
Вафли өткөрүп берүү тутумун жаңырткандан кийин, дүйнөлүк алдыңкы жарым өткөргүч ишкана сызыктуу мотор + гранит базалык чечимди кабыл алды, ал пластинанын өткөрүү эффективдүүлүгүн 40% га жогорулатты, өткөрүп берүү процессинде кагылышуу жана алмаштыруу сыяктуу каталардын пайда болуу ылдамдыгын 85% га кыскартты жана чиптердин жалпы кирешелүүлүгүн 6% га жакшыртты. Берилген маалыматтардын артында гранит базасы жана сызыктуу кыймылдаткычтын жогорку ылдамдыктагы жана так синергетикалык эффекти менен камсыз кылынган берүүнүн туруктуулугунун кепилдиги жатат, бул пластинаны өткөрүү процессиндеги жоготууларды жана каталарды олуттуу азайтат. |
Материалдык касиеттерден так өндүрүшкө чейин, иштөө артыкчылыктарынан практикалык текшерүүгө чейин, сызыктуу кыймылдаткычтар менен гранит негиздеринин айкалышы пластинаны өткөрүү системаларынын стандарттарын кайра аныктады. Келечекте жарым өткөргүч технологиясы 3 нм жана 2 нм процесстерине карай өнүккөндө, гранит материалдары алмаштырылгыс артыкчылыктары менен өнөр жайдын өнүгүшүнө күчтүү түрткү берет.
Посттун убактысы: 14-май-2025