Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн так чынжырында пластиналарды өткөрүү системасы "чиптерди өндүрүү линиясынын өмүр линиясы" сыяктуу жана анын туруктуулугу жана тактыгы чиптердин түшүмдүүлүк ылдамдыгын түздөн-түз аныктайт. Жаңы муундагы пластиналарды өткөрүү системалары сызыктуу моторлорду гранит негиздери менен революциялык түрдө айкалыштырат жана гранит материалдарынын уникалдуу артыкчылыктары жогорку өндүрүмдүүлүктөгү берүүлөрдү ачуу үчүн негизги код болуп саналат.
Гранит негизи: Туруктуу берүү үчүн "таштай бекем пайдубал" куруу
Жүздөгөн миллиондогон жылдар бою геологиялык жактан тазаланган гранит тыгыз жана бирдей ички минералдык кристаллдашуу менен мүнөздөлөт. Бул табигый өзгөчөлүк аны пластиналарды өткөрүү системалары үчүн идеалдуу негизги материалга айлантат. Жарым өткөргүч таза бөлмөлөрдүн татаал чөйрөсүндө, өтө төмөн жылуулук кеңейүү коэффициентине ээ гранит (болгону 5-7 × 10⁻⁶/℃), жабдууларды иштетүү учурунда пайда болгон ысыкка жана айлана-чөйрөнүн температурасынын өзгөрүшүнүн таасирине туруштук бере алат, базанын өлчөмүнүн туруктуулугун камсыздайт жана жылуулук деформациясынан улам келип чыккан берүү жолунун четтөөсүнө жол бербейт. Анын мыкты термелүүнү басуучу көрсөткүчү сызыктуу моторлорду ишке киргизүү, өчүрүү жана ылдамдатуу учурунда пайда болгон механикалык термелүүлөрдү, ошондой эле цехтеги башка жабдуулардын иштешинен келип чыккан тышкы тоскоолдуктарды тез сиңирип, пластиналарды берүү үчүн "нөлдүк термелүү" менен туруктуу платформаны камсыздай алат.
Ошол эле учурда, граниттин химиялык туруктуулугу анын кислота жана щелочтуу реагенттер учуучу жана жогорку тазалыкты талап кылган жарым өткөргүч цехтеринде дат баспастыгын же дат баспастыгын камсыздайт, ошону менен материалдын эскириши же булгоочу заттардын адсорбциясынан улам өткөрүүнүн тактыгына тийгизген таасиринен сактайт. Жылмакай жана тыгыз беттик мүнөздөмөлөр чаңдын жабышуусун натыйжалуураак азайтып, таза бөлмөлөрдүн чаңсыздыгынын катуу стандарттарына жооп берет жана тамырынан пластинанын булгануу коркунучун жок кылат.
Сызыктуу моторлордун жана граниттин "алтын өнөктөштүк" эффектиси
Сызыктуу моторлор механикалык берүү аралыгы жок, жогорку ылдамдануу жана жогорку жооп берүү ылдамдыгы сыяктуу мүнөздөмөлөрү менен пластиналуу берүүлөргө "тез, так жана туруктуу" артыкчылыктарын берет. Гранит негизи ага бекем жана ишенимдүү колдоо платформасын камсыз кылат. Экөө тең биргелешип иштешип, иштөөдө секирикке жетишет. Сызыктуу мотор пластиналуу ташуучуну гранит негиздүү жолдо иштетүүгө түрткү бергенде, негиздин күчтүү катуулугу жана туруктуулугу мотордун кыймылдаткыч күчүнүн натыйжалуу берилишин камсыздайт, күчтүн жоголушун же негиздин деформациясынан улам келип чыккан берүү кечигүүсүн болтурбайт.
Наноөлчөмдөгү тактыкка болгон суроо-талаптын негизинде, сызыктуу моторлор субмикрондук деңгээлдеги жылышууну башкарууга жетише алышат. Гранит негиздеринин жогорку тактыктагы иштетүү мүнөздөмөлөрү (±1μм чегинде тегиздик каталары көзөмөлдөнөт) сызыктуу моторлордун так башкаруусуна толук дал келет, пластиналарды берүү учурундагы позициялоо катасы ±5μмден аз болушун биргелешип камсыздайт. Ар кандай технологиялык жабдуулардын ортосунда жогорку ылдамдыктагы шаттл болобу же пластиналарды өткөрүп берүү үчүн так токтоо болобу, сызыктуу моторлордун жана гранит негиздеринин айкалышы пластиналарды берүүдөгү "нөлдүк четтөөнү жана нөлдүк титирөөнү" камсыздай алат.
Тармактык практиканы текшерүү: Натыйжалуулукту жана кирешелүүлүктү кош жакшыртуу
Пластинаны өткөрүү системасын жаңырткандан кийин, алдыңкы дүйнөлүк жарым өткөргүч ишканасы сызыктуу мотор + гранит негиздүү чечимди кабыл алды, бул пластинаны өткөрүү натыйжалуулугун 40% га жогорулатты, өткөрүү процессинде кагылышуу жана жылышуу сыяктуу кемчиликтердин пайда болуу көрсөткүчүн 85% га азайтты жана чиптердин жалпы түшүмдүүлүк көрсөткүчүн 6% га жакшыртты. Маалыматтардын артында гранит негизи менен камсыздалган берүү туруктуулугунун кепилдиги жана сызыктуу мотордун жогорку ылдамдыктагы жана так синергиялык эффектиси жатат, бул пластинаны берүү процессиндеги жоготууларды жана каталарды бир топ азайтат.
Материалдык касиеттерден тартып так өндүрүшкө, иштөө артыкчылыктарынан тартып практикалык текшерүүгө чейин, сызыктуу моторлордун жана гранит негиздеринин айкалышы пластиналарды өткөрүү системаларынын стандарттарын кайрадан аныктады. Келечекте жарым өткөргүч технология 3 нм жана 2 нм процесстерге өткөндө, гранит материалдары өзүнүн орду толгус артыкчылыктары менен тармактын өнүгүшүнө күчтүү түрткү бере берет.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 14-майы