Гранит катмары ар кандай жарым өткөргүч түзүлүштөрдө маанилүү компонент болуп саналат. Өтө туруктуу жана катуу материал катары гранит жарым өткөргүчтөрдү иштетүүчү жабдуулардын негизи катары кеңири колдонулат. Ал төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициенти, жогорку өлчөмдүү туруктуулугу жана эң сонун механикалык касиеттери менен мүнөздөлөт. Ушул касиеттеринен улам, гранит катмары көбүнчө үч башка жарым өткөргүч түзүлүштөрдө - метрологиялык жабдууларда, литографиялык жабдууларда жана текшерүү жабдууларында колдонулат.
Метрологиялык жабдуулар жарым өткөргүч түзүлүштөрдүн критикалык өлчөмдөрүн өлчөө жана аныктоо үчүн колдонулат. Ал жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинин сапатын жана ырааттуулугун сактоодо чечүүчү ролду ойнойт. Метрологиялык жабдууларга оптикалык микроскоптор, электрондук микроскоптор жана атомдук күч микроскоптору (АКМ) сыяктуу аспаптар кирет. Бул өлчөөчү аспаптардын иштеши алардын туруктуулугуна, тактыгына жана титирөөгө туруктуулугуна көз каранды болгондуктан, гранит алардын катмар материалы үчүн идеалдуу тандоо болуп саналат. Гранит катмарынын бирдейлиги жана туруктуулугу аспаптар үчүн туруктуу платформаны камсыз кылат, бул алардын тактыгын жана ишенимдүүлүгүн жогорулатат.
Литография жабдуулары пластинадагы микрочип үлгүлөрүн жасоо үчүн колдонулат. Литография процесси татаал схемаларды түзүү жана чиптин иштешин жакшыртуу үчүн жогорку деңгээлдеги тактыкты жана тактыкты талап кылат. Литография жабдуулары сүрөттөрдү пластинага өткөрүү үчүн жарыкты колдонгон тепкич жана сканер системаларын камтыйт. Литография процесси титирөө жана жылуулук өзгөрүүлөрүнө өтө сезгич болгондуктан, литография процессинин туруктуулугун жана кайталанышын камсыз кылуу үчүн жогорку сапаттагы катмар абдан маанилүү. Гранит катмарлары литография системалары үчүн талап кылынган туруктуулукту жана катуу титирөөнү басуу көрсөткүчүн камсыз кылат. Гранит катмары тепкич же сканер системасына жогорку тактыкты жана акыркы продуктунун сапатын камсыз кылуу менен так мейкиндик байланыштарын сактоого мүмкүндүк берет.
Текшерүү жабдуулары жарым өткөргүч түзүлүштөрдөгү кандайдыр бир кемчиликтерди аныктоо үчүн колдонулат. Текшерүү жабдууларына лазердик сканерлөөчү микроскоптор, электрондук микроскоптор жана оптикалык микроскоптор сыяктуу системалар кирет. Бул түзүлүштөрдүн жогорку тактыкка, туруктуулукка жана титирөөгө туруктуу болушу зарыл болгондуктан, гранит катмарлары эң сонун материал болуп саналат. Граниттин механикалык касиеттери жана өлчөмдүү туруктуулугу титирөөнү изоляциялоого жардам берет, бул текшерүү жабдууларынын чыгышынын тактыгын жогорулатат.
Жыйынтыктап айтканда, гранит катмары жарым өткөргүчтөр өнөр жайы үчүн абдан маанилүү жана ар кандай жабдууларда кеңири колдонулат. Анын өлчөмдүү туруктуулугу, төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициенти жана эң сонун механикалык туруктуулук сыяктуу уникалдуу касиеттери гранитти жарым өткөргүч жабдуулардын катмар материалы үчүн идеалдуу тандоого айлантат. Жогорку сапаттагы гранит катмары жарым өткөргүч жабдууларга зарыл болгон туруктуулукту, тактыкты жана титирөөгө туруктуулукту камсыз кылгандыктан, акырында акыркы продуктунун сапатын жакшыртат. Ошондуктан, жарым өткөргүч жабдууларда гранит катмарын колдонуу келечектеги жылдар бою улана берери шексиз.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 3-апрели