Жарым өткөргүч жана оптоэлектрондук өндүрүш жабдууларында гранит негизинен так кыймыл платформалары, багыттагыч рельстердин негиздери, титирөөнү изоляциялоочу колдоочу конструкциялар жана оптикалык компоненттерди орнотуучу субстраттар сыяктуу негизги бөлүктөрдө колдонулат. Бул бөлүктөр тактыкка, туруктуулукка жана айлана-чөйрөгө чыдамдуулукка өтө жогорку талаптарга ээ. Граниттин мүнөздөмөлөрү жарым өткөргүч жана оптоэлектрондук өнөр жайлардын катуу талаптарына так жооп бере алат. Төмөндө конкреттүү колдонуу сценарийлеринин жана артыкчылыктарынын талдоосу келтирилген:
I. Негизги колдонуу бөлүктөрү
Так кыймыл платформалары (мисалы, фотолитография машиналары жана байланыштыруучу машиналар үчүн пластина платформалары)
Ал пластиналар жана оптикалык линзалар сыяктуу так компоненттерди ташуу үчүн колдонулат, нано масштабдагы тактык менен которуу жана айлануу кыймылдарына жетишет.
Типтүү жабдуулар: фотолитографиялык машинанын жумушчу бөлүктөрү үчүн стол, өлчөөчү жабдуулардын позициялоо платформасы.
Гид-рейлдин негизи жана рамалык түзүлүшү
Сызыктуу жол көрсөткүчтөрдү жана аба флотациялык жол көрсөткүчтөрүн орнотуу базасы катары, ал жабдуулардын негизги кыймыл механизмин колдойт.
Типтүү жабдуулар: жарым өткөргүч таңгактоочу жабдуулардын механикалык алкактары жана оптикалык текшерүү аспаптары.
Вибрациялык изоляцияны колдоо жана турукташтыруу конструкциясы
Ал тышкы термелүүлөрдү (мисалы, заводдон чыккан же жабдууларды иштетүү учурундагы термелүүлөрдү) бөлүп алуу үчүн колдонулат, бул оптикалык системалардын же тактыктагы техниканын туруктуулугун камсыз кылат.
Типтүү сценарийлер: Оптикалык микроскоптор жана лазердик интерферометрлер үчүн базалык колдоо.
Оптикалык компонентти орнотуучу субстрат
Оптикалык жол системасынын тегиздөө тактыгынын узак мөөнөттүү туруктуулугун камсыз кылуу үчүн күзгүлөр, призмалар жана лазерлер сыяктуу оптикалык түзүлүштөрдү бекитиңиз.
Типтүү жабдуулар: Оптоэлектрондук таңгактоочу жабдуулар, оптикалык була туташтыргыч системалар.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 29-майы