Гранит – курулуш тармагында көп колдонулган катуу жана бышык материал. Бирок, анын жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө, айрыкча интегралдык микросхемаларды жасоодо жана иштетүүдө пайдалуу касиеттери бар. Гранит столдору жана гранит блоктору сыяктуу гранит компоненттери туруктуулугу, тегиздиги жана жылуулук кеңейүү коэффициентинин төмөндүгү үчүн кеңири колдонулат.
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө гранит компоненттеринин негизги колдонулуштарынын бири - бул өндүрүш процессинде. Интегралдык микросхемалардын негизги курулуш материалы болгон кремний пластиналары жогорку тактык жана тактык менен жасалышы керек. Процесс учурундагы ар кандай бурмалоо же кыймыл интегралдык микросхемалардын сапатына жана функционалдуулугуна таасир этиши мүмкүн болгон кемчиликтерге алып келиши мүмкүн. Гранит столдору жогорку туруктуулугу жана тегиздиги менен пластинаны иштетүүчү жабдуулар үчүн жакшы платформа болуп саналат. Алар ошондой эле процессте талап кылынган ысытуу жана муздатуудан улам пайда болгон жылуулук кеңейүүсүнө жана кысылышына туруктуу.
Гранит блоктору жарым өткөргүчтөрдү иштетүүдө жылуулук туруктуулугу үчүн да колдонулат. Оёп чыгаруу же чөктүрүү процесстеринде кремний пластинасынын бетин өзгөртүү үчүн ысык газдар же плазмалар колдонулат. Процесстин натыйжалуу жана так жүргүзүлүшүн камсыз кылуу үчүн пластинанын температурасын көзөмөлдөө керек. Төмөн жылуулук кеңейүү коэффициенти менен гранит блоктору пластинанын температурасын турукташтырууга жардам берет, иштетилген материалдын сапатына таасир этиши мүмкүн болгон температуранын өзгөрүшүнүн коркунучун азайтат.
Жасоо жана кайра иштетүү процесстеринен тышкары, гранит компоненттери жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн метрологиялык жана текшерүү этаптарында да колдонулат. Метрологиялык өлчөөлөр пластинадагы конструкциялардын өлчөмү, формасы жана жайгашуусу талап кылынган спецификацияларга ылайык келишин камсыз кылуу үчүн жүргүзүлөт. Гранит блоктору бул өлчөөлөрдө алардын өлчөмдүү туруктуулугу жана тактыгынан улам эталондук стандарттар катары колдонулат. Алар ошондой эле интегралдык микросхемалардын сапаты жогорку чоңойтуу менен текшерилген текшерүү этаптарында колдонулат.
Жалпысынан алганда, акыркы жылдары жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө гранит компоненттерин колдонуу көбөйдү. Интегралдык микросхемаларды жасоодо жана иштетүүдө жогорку тактыкка, тактыкка жана туруктуулукка болгон муктаждык жарым өткөргүч өндүрүүчүлөрдүн бул материалдарды кабыл алуусуна түрткү болду. Граниттин өзгөчө касиеттери, мисалы, анын катуулугу, туруктуулугу жана төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициенти, аны бул процесстерде колдонуу үчүн эң сонун тандоо кылат. Жарым өткөргүч технологиясынын тынымсыз өнүгүшү жана өркүндөтүлүшү менен келечекте гранит компоненттерин колдонуунун андан ары өсүшү күтүлүүдө.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 5-декабры