Жарым өткөргүч өндүрүшү жана так өлчөөчү приборлор сыяктуу тармактарда гранит тактык платформаларынын тактыгы жабдуулардын иштөө сапатын түздөн-түз аныктайт. Платформанын тактыгы стандарттарга шайкеш келүүсүн камсыздоо үчүн эки аспектиден: негизги индикаторлорду аныктоо жана стандарттык нормаларга шайкештиктен аракет кылуу керек. |
Негизги көрсөткүчтү аныктоо: тактыкты көп өлчөмдүү башкаруу
Тегиздикти аныктоо: Эталондук тегиздиктин "тегиздигин" аныктоо
Тегиздик гранит тактык аянтчалардын негизги көрсөткүчү болуп саналат, ал, адатта, лазердик interferometers же электрондук деңгээл менен ченелет. Лазердик интерферометр лазер нурун чыгаруу жана жарык интерференциясы принцибинин жардамы менен платформа бетиндеги мүнөттүк толкундарды так өлчөй алат, тактык субмикрондук деңгээлге жетет. Электрондук деңгээл бир нече жолу жылдыруу менен өлчөйт жана платформанын бетинин үч өлчөмдүү контур картасын чийип, кандайдыр бир локалдык чыгуулар же ойдуңдар бар же жок экенин аныктайт. Мисалы, жарым өткөргүчтүү фотолитография машиналарында колдонулган гранит платформалары ± 0,5μm/m тегиздикке ээ болушу керек, башкача айтканда, 1 метр узундуктагы бийиктиктин айырмасы жарым микрометрден ашпашы керек. Бул катуу стандартты жогорку тактыктагы аныктоочу жабдуулар аркылуу гана камсыз кылууга болот. |
2. Түздүгүн аныктоо: Сызыктуу кыймылдын "түздүгүн" камсыз кылуу
Так кыймылдуу бөлүктөрдү ташыган платформалар үчүн түздүк абдан маанилүү. аныктоонун жалпы ыкмалары зым ыкмасы же лазердик коллиматор болуп саналат. Зым ыкмасы түздүктү аныктоо үчүн жогорку тактыктагы болот зымдарын токтотуп, платформанын бети менен болот зымдарынын ортосундагы ажырымды салыштырууну камтыйт. Лазердик коллиматор лазердин сызыктуу таралуу өзгөчөлүктөрүн платформанын багыттоочу рельсинин орнотуу бетинин сызыктуу катасын аныктоо үчүн колдонот. Түздүк стандартка жооп бербесе, кыймыл учурунда жабдуулардын жылышына алып келет, бул иштетүү же өлчөө тактыгына таасирин тийгизет. |
3. Беттин тегиздигин аныктоо: Байланыштын "майдалыгын" камсыз кылыңыз
Платформанын бетинин тегиздиги тетиктерди орнотуунун тууралыгына таасир этет. Демейде аныктоо үчүн стилустун оройлугун өлчөгүч же оптикалык микроскоп колдонулат. Стилус тибиндеги аспап микроскопиялык профилдин бийиктигинин өзгөрүшүн майда зонд менен платформанын бетине тийгизүү аркылуу жазат. Оптикалык микроскоптор беттин текстурасын түздөн-түз байкай алышат. Жогорку тактыктагы колдонмолордо гранит аянтчаларынын бетинин тегиздигин Ra≤0.05μm боюнча көзөмөлдөө керек, бул күзгүгө окшош эффектке барабар, тактык компоненттерди орнотуу учурунда бекем туура келишин камсыз кылуу жана боштуктардан келип чыккан титирөөнүн же жылышуунун алдын алуу. |
Тактык стандарттары төмөнкүдөй: эл аралык нормалар жана ишкананын ички көзөмөлү
Азыркы учурда, эл аралык, ISO 25178 жана GB/T 24632 стандарттары, адатта, гранит аянтчалардын тактыгын аныктоо үчүн негиз катары колдонулат, жана тегиздик жана түздүк сыяктуу көрсөткүчтөр үчүн так классификациялар бар. Мындан тышкары, жогорку класстагы өндүрүш ишканалары көбүнчө ички контролдун катуу стандарттарын белгилешет. Мисалы, фотолитографиялык машинанын гранит платформасы үчүн тегиздик талабы эл аралык стандарттан 30% жогору. Сыноолорду жүргүзүүдө өлчөнгөн маалыматтарды тиешелүү стандарттар менен салыштыруу керек. Стандарттарга толугу менен жооп берген платформалар гана так жабдууларда туруктуу иштөөнү камсыздай алат. |
Гранит так аянтчалардын тактыгын текшерүү системалуу долбоор болуп саналат. Тегиздик, түздүк жана беттик тегиздик сыяктуу негизги көрсөткүчтөрдү катуу сынап, эл аралык жана ишкананын стандарттарын сактоо менен гана платформанын жогорку тактыгына жана ишенимдүүлүгүнө кепилдик берилиши мүмкүн, жарым өткөргүчтөр жана тактык аспаптар сыяктуу жогорку деңгээлдеги өндүрүш тармактары үчүн бекем пайдубал түзүлөт.
Посттун убактысы: 21-май-2025