Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү тармагында тактык баарынан маанилүү. Чиптерди өндүрүү технологиясы нанометрдик деңгээлге, ал тургай нанометрдик деңгээлге карай өнүгүп жаткандыктан, ар кандай кичинекей ката чиптин иштешинин төмөндөшүнө же ал тургай толугу менен иштен чыгышына алып келиши мүмкүн. Эң жогорку тактык үчүн болгон бул атаандаштыкта, уникалдуу физикалык жана механикалык касиеттери бар граниттен жасалган тактык аксессуарлары чип өндүрүшүнүн наноөлчөмдөгү тактыгын камсыз кылууда негизги элемент болуп калды.
Мыкты туруктуулук тактыктын негизин түзөт
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү цехиндеги чөйрө татаал жана титирөө жана температуранын өзгөрүшү сыяктуу тышкы факторлор өндүрүштүн тактыгына дайыма коркунуч туудурат. Граниттен жасалган так аксессуарлар өтө жогорку туруктуулукка ээ, бул чип өндүрүшү үчүн бекем пайдубал түзөт. Анын ички түзүлүшү тыгыз жана бирдей, жүздөгөн миллиондогон жылдар бою геологиялык процесстер аркылуу пайда болгон жана табигый жогорку демпфердик мүнөздөмөгө ээ. Тышкы титирөөлөр өндүрүш жабдууларына берилгенде, граниттен жасалган тактык бөлүктөрү титирөө энергиясынын 80% дан ашыгын натыйжалуу сиңирип жана басаңдата алат, бул титирөөнүн тактык жабдууларга тийгизген таасирин бир кыйла азайтат.
Бул мүнөздөмө фотолитография процессинде өзгөчө маанилүү. Фотолитография чиптердин дизайн үлгүлөрүн кремний пластиналарына өткөрүүдөгү маанилүү кадам болуп саналат, бул фотолитография машинасынын жумушчу столунун өтө жогорку туруктуулукту сактоосун талап кылат. Граниттен жасалган так жумушчу стол титирөөнүн тоскоолдуктарын цехтин полунан жана башка жабдуулардан бөлүп, кремний пластинасы менен фотолитографиялык масканын ортосундагы салыштырмалуу позиция катасы фотолитография машинасынын экспозиция процессинде нанометр деңгээлинде башкарылышын камсыздай алат, ошону менен үлгүнүн так өткөрүлүшүн камсыздайт.
Мындан тышкары, граниттин жылуулук менен кеңейүү коэффициенти өтө төмөн, адатта 5тен 7×10⁻⁶/℃ге чейин. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде жабдуулардын иштешинен пайда болгон жылуулук жана цехтин чөйрөсүндөгү температуранын өзгөрүшү материалдардын жылуулук деформациясына алып келиши мүмкүн. Граниттен жасалган так аксессуарлар температуранын өзгөрүшүнө дээрлик таасир этпейт жана ар дайым туруктуу өлчөмдөрдү жана формаларды сактай алат. Мисалы, чиптерди оюу процессинде температуранын бир аз өзгөрүшү да оюу жабдууларынын негизги компоненттеринин жылуулук менен кеңейишине алып келиши мүмкүн, бул оюу тереңдигинде жана тактыгында четтөөлөргө алып келет. Бирок, граниттен жасалган так аксессуарларды таяныч жана жүк көтөрүүчү компоненттер катары колдонуу бул кырдаалдын алдын алып, оюу процессинин жогорку тактыгын жана ырааттуулугун камсыздай алат.
Жогорку тактыктагы иштетүү жана беттик сапаттын артыкчылыктары
Граниттен жасалган тактык тетиктерин жогорку тактыкта иштетүү технологиясы да чиптердин өндүрүшүнүн тактыгын камсыз кылууда маанилүү фактор болуп саналат. Өркүндөтүлгөн өтө тактыктагы иштетүү технологиясы аркылуу гранит аксессуарларынын бетинин тегиздиги, түздүгү жана башка тактык көрсөткүчтөрү өтө жогорку деңгээлге жетиши мүмкүн. Мисалы, CNC майдалоо жана жылтыратуу ыкмаларын колдонуу менен граниттин бетинин оройлугун нанометрдик деңгээлге чейин төмөндөтүүгө болот, бул беттин жасалгасын күзгүдөй эффектке жакындатат.
Чип өндүрүүчү жабдууларда граниттен жасалган так багыттагыч рельстер жана жылдыргычтар сыяктуу компоненттердин жогорку тактыктагы беттик сапаты кыймылдуу бөлүктөр ортосундагы сүрүлүүнү жана эскирүүнү бир топ азайта алат. Бул жабдуулардын кыймылынын туруктуулугун жана тактыгын жогорулатып гана тим болбостон, жабдуулардын иштөө мөөнөтүн да узартат. Мисал катары чип таңгактоочу жабдууларды алалы. Так гранит багыттагыч рельстер чипти алып, жайгаштырууда таңгактоочу баштын кыймыл траекториясынын катасын микрометр же ал тургай нанометр деңгээлинде башкарууну камсыздай алат, ошону менен чип менен таңгактоочу субстраттын ортосунда так тегиздөө жана ишенимдүү байланышка жетишүүгө жетишилет.
Эскирүүгө каршы жана узак мөөнөттүү туруктуулук
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үзгүлтүксүз жана узак мөөнөттүү өндүрүш процесси болуп саналат жана жабдуулар узак убакыт бою туруктуу иштеши керек. Гранит эң сонун эскирүүгө туруктуулукка ээ, Моостун катуулугу 6дан 7ге чейин, узак мөөнөттүү механикалык кыймылдарга жана жүктөмдөргө туруштук бере алат. Чип өндүрүүчү жабдуулардын күнүмдүк иштешинде граниттин тактык тетиктери эскирүүгө жана айрылууга жакын эмес жана ар дайым туруктуу иштөөнү жана тактыкты сактай алат.
Башка материалдар менен салыштырганда, гранит узак мөөнөттүү колдонууда чарчоонун деформациясына же иштөөсүнүн начарлашына дуушар болбойт. Бул граниттин так компоненттерин колдонгон чип өндүрүүчү жабдуулар узак мөөнөттүү пайдалануудан кийин дагы эле жогорку тактыкты жана туруктуулукту сактай аларын, жабдуулардын тактыгынын төмөндөшүнөн келип чыккан продукциянын кемчиликтерин натыйжалуу азайтаарын билдирет. Жарым өткөргүч өндүрүүчүлөр үчүн бул өндүрүштүн натыйжалуулугун жогорулатып гана тим болбостон, өндүрүш чыгымдарын да азайтат.
Жыйынтык
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө наноөлчөмдүү тактыкты көздөө жолунда граниттин тактык бөлүктөрү өзүнүн мыкты туруктуулугу, жогорку тактыктагы иштетүүсү жана узак мөөнөттүү ишенимдүүлүгү менен алмаштыргыс ролду ойнойт. Фотолитографиядан гравюрага чейин, чиптерди таңгактоодон сыноого чейин, граниттин тактык аксессуарлары чип өндүрүшүндөгү ар бир негизги звенодон өтүп, чиптерди жогорку тактыкта өндүрүү үчүн бекем кепилдик берет. Жарым өткөргүч технологиясынын тынымсыз өнүгүшү менен тактыкка болгон талаптар барган сайын жогорулай берет. Граниттин тактык бөлүктөрү да бул тармакта маанилүү ролду ойной берет, бул жарым өткөргүч өнөр жайына тынымсыз жаңы бийиктиктерге жетүүгө жардам берет. Азырбы же келечектеби, граниттин тактык бөлүктөрү жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө нанометрдик деңгээлдеги тактыкты камсыз кылуучу негизги күч болуп калат.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 7-майы