Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү тармагында тактык бардыгы болуп саналат. Чипти өндүрүү технологиясы нанометр деңгээлине, ал тургай нанометр деңгээлине карай илгерилей бергендиктен, кандайдыр бир кичинекей ката чиптин иштешинин төмөндөшүнө же ал тургай толук иштебей калышына алып келиши мүмкүн. Бул акыркы тактык үчүн атаандаштыкта, гранит так аксессуарлар, алардын уникалдуу физикалык жана механикалык касиеттери менен, чип өндүрүшүнүн нано масштабдуу тактыгын камсыз кылуунун негизги элементи болуп калды.
Мыкты туруктуулук тактык үчүн негиз түзөт
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү цехиндеги чөйрө татаал жана титирөө жана температуранын өзгөрүшү сыяктуу тышкы факторлор өндүрүштүн тактыгына дайыма коркунуч келтирет. Гранит так аксессуарлары чип өндүрүү үчүн бекем негизди камсыз кылуу, өтө жогорку туруктуулукка ээ. Анын ички түзүлүшү тыгыз жана бир калыпта, жүз миллиондогон жылдар бою геологиялык процесстердин натыйжасында пайда болгон жана табигый жогорку демпфликтүү өзгөчөлүккө ээ. Тышкы титирөө өндүрүштүк жабдууларга берилгенде, граниттин так бөлүктөрү титирөө энергиясынын 80% дан ашыгын эффективдүү сиңирип, басаңдатып, титирөөнүн тактык жабдууларга тийгизген таасирин олуттуу түрдө азайтат.
Бул өзгөчөлүк фотолитография процессинде өзгөчө маанилүү. Фотолитография микросхемалардын дизайн үлгүлөрүн кремний пластинкаларына өткөрүүдө чечүүчү кадам болуп саналат, ал өтө жогорку туруктуулукту сактоо үчүн фотолитография машинасынын жумушчу үстөлүн талап кылат. Гранит тактык жумушчу столу цехтин полунан жана башка жабдуулардан титирөө интерференциясын бөлүп, кремний пластинасы менен фотолитография маскасынын ортосундагы салыштырмалуу позиция катасынын фотолитографиялык машинанын экспозиция процессинде нанометр деңгээлинде көзөмөлдөнүшүн камсыздай алат, ошону менен үлгүнүн так өтүшүнө кепилдик берет.
Мындан тышкары, граниттин жылуулук кеңейүү коэффициенти өтө төмөн, адатта 5тен 7×10⁻⁶/℃ге чейин жетет. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде жабдуулардын иштешинен пайда болгон жылуулук жана цехтин чөйрөсүндөгү температуранын өзгөрүшү да материалдардын термикалык деформациясына алып келиши мүмкүн. Гранит так аксессуарлары температуранын өзгөрүшүнө дээрлик таасирин тийгизбейт жана ар дайым туруктуу өлчөмдөр менен формаларды сактай алат. Мисалы, чипти оюу процессинде температуранын бир аз өзгөрүшү да оюу жабдууларынын негизги компоненттеринин термикалык кеңейишине алып келиши мүмкүн, натыйжада оюу тереңдигинде жана тактыгында четтөөлөр пайда болот. Бирок, гранит так аксессуарларын колдоо жана жүк көтөрүүчү компоненттер катары колдонуу бул кырдаалдын пайда болушунан эффективдүү түрдө алдын ала алат, оюу процессинин жогорку тактыгын жана ырааттуулугун камсыз кылат.
Жогорку тактыкта иштетүү жана бетинин сапаты артыкчылыктары
Гранит тактык бөлүктөрүнүн жогорку тактыктагы кайра иштетүү технологиясы да чиптердин өндүрүштүк тактыгын камсыз кылууда маанилүү фактор болуп саналат. Өнүккөн ультра тактык иштетүү технологиясы аркылуу гранит аксессуарларынын бетинин тегиздиги, түздүгү жана башка тактык көрсөткүчтөрү өтө жогорку деңгээлге жетиши мүмкүн. Мисалы, CNC майдалоо жана жылтыратуу ыкмаларын колдонуу менен, граниттин бетинин оройлугун нанометрдик деңгээлге чейин төмөндөтүп, беттин жасалгасы күзгүдөй эффектке жакындайт.
Чипти өндүрүүчү жабдууларда гранит тактыктагы багыттоочу рельстер жана жылдыргычтар сыяктуу компоненттердин бетинин жогорку тактык сапаты кыймылдуу бөлүктөрдүн ортосундагы сүрүлүүнү жана эскирүүнү кыйла азайтат. Бул жабдуулардын кыймылынын туруктуулугун жана тактыгын гана жогорулатпастан, ошондой эле жабдуулардын иштөө мөөнөтүн узартат. Мисал катары чипти таңгактоочу жабдууларды алалы. Так гранит багыттоочу рельстер микрометр же нанометр деңгээлинде микрометр же ал тургай нанометр деңгээлинде көзөмөлдөнүп, таңгактоочу баштын кыймыл траекториясынын катасын камсыздай алат, ошону менен чип менен таңгак субстраттын ортосунда так тегиздөө жана ишенимдүү байланышка жетишет.
эскирүүгө каршы жана узак мөөнөттүү туруктуулук
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үзгүлтүксүз жана узак мөөнөттүү өндүрүш процесси болуп саналат жана жабдуулар узак убакыт бою туруктуу иштеши керек. Гранит узак мөөнөттүү механикалык кыймылдарды жана жүктөрдү туруштук бере алат, 6 үчүн 7 бир Mohs катуулугу менен, сонун эскирүү каршылык бар. Чип өндүрүүчү жабдуулардын күнүмдүк иштешинде граниттин так бөлүктөрү эскирүүгө жана эскирүүгө жакын эмес жана ар дайым туруктуу иштөөнү жана тактыкты сактай алат.
Башка материалдар менен салыштырганда, гранит узак мөөнөттүү пайдалануу учурунда чарчоо деформациясы же аткаруунун начарлашына дуушар болбойт. Бул гранит тактык компоненттерин колдонуу чип өндүрүштүк жабдуулар дагы эле натыйжалуу жабдуулардын тактык төмөндөшү менен шартталган продукт кемчилик курсун азайтуу, узак мөөнөттүү иш кийин жогорку тактык жана туруктуулукту сактап кала алат дегенди билдирет. Жарым өткөргүч өндүрүүчүлөр үчүн бул өндүрүштүн натыйжалуулугун гана жогорулатпастан, өндүрүштүк чыгымдарды да азайтат.
Корутунду
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө нано масштабдагы тактыкка умтулуу жолунда гранит тактык бөлүктөрү эң сонун туруктуулугу, жогорку тактыктагы кайра иштетүү жана узак мөөнөттүү ишенимдүүлүгү менен алмаштырылгыс ролду ойнойт. Фотолитографиядан офортко чейин, чиптин таңгагынан тестирлөөгө чейин гранит так аксессуарлары чиптерди өндүрүүдөгү ар бир негизги шилтеме аркылуу өтүп, чиптерди жогорку тактыкта өндүрүүгө бекем кепилдик берет. Жарым өткөргүч технологиясын тынымсыз өнүктүрүү менен тактыкка болгон талаптар барган сайын жогору болот. Граниттин так тетиктери дагы бул тармакта маанилүү ролду ойной берет, жарым өткөргүч өнөр жайына дайыма жаңы бийиктиктерге жетүүгө жардам берет. Азырбы же келечектеби, граниттин так бөлүктөрү ар дайым жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө нанометрдик деңгээлдеги тактыкты камсыз кылуучу негизги күч болуп кала берет.
Посттун убактысы: 07-2025-май