Жарым өткөргүч пластиналарды текшерүү чөйрөсүндө таза бөлмө чөйрөсүнүн тазалыгы продуктунун түшүмдүүлүгүнө түздөн-түз байланыштуу. Чиптерди өндүрүү процесстеринин тактыгы жакшырган сайын, аныктоочу жабдуулардын алып жүрүүчү аянтчаларына талаптар барган сайын катуу болуп баратат. Гранит платформалары, алардын нөлдүк металл ион чыгаруу жана бөлүкчөлөрдүн булганышы аз, салттуу дат баспас болоттон жасалган материалдардан ашып кетти жана пластиналарды текшерүү жабдуулары үчүн артыкчылыктуу чечим болуп калды.
Гранит - негизинен кварц, талаа шпаты жана слюда сыяктуу металл эмес минералдардан турган табигый магмалык тоо тек. Бул өзгөчөлүк ага нөл металл ион чыгаруу артыкчылыгын берет. Ал эми дат баспас болоттон жасалган темир, хром жана никель сыяктуу металлдардын эритмеси, таза бөлмө чөйрөсүндө суу буусунун жана кислоталуу же щелочтуу газдардын эрозиясынан улам бетинде электрохимиялык коррозияга дуушар болот, натыйжада Fe²⁺ жана Cr³⁺ сыяктуу металл иондорунун чөгүшүнө алып келет. Бул кичинекей иондор пластинанын бетине жабышып калгандан кийин, алар жарым өткөргүч материалдын электрдик касиеттерин кийинки процесстерде, мисалы, фотолитография жана офортто өзгөртүп, транзистордун босого чыңалуусунун дрейфине алып келет, ал тургай чынжырда кыска туташууларга алып келет. Кесиптик мекеменин тесттик маалыматтары көрсөткөндөй, гранит платформасы 1000 саат бою симуляцияланган таза бөлмө температурасына жана нымдуулук чөйрөсүнө (23 ± 0,5 ℃, 45% ± 5% RH) тынымсыз дуушар болгондон кийин, металл иондорунун чыгарылышы аныктоо чегинен төмөн болгон (< 0,1ppb). Дат баспас болоттон жасалган аянтчаларды колдонууда металл ионунун булгануусунан келип чыккан пластинкалардын дефектинин деңгээли 15% дан 20% га чейин болушу мүмкүн.
Бөлүкчөлөрдүн булганышын көзөмөлдөө жагынан гранит платформалары да өзгөчө жакшы иштешет. Таза бөлмөлөр абадагы суспензия бөлүкчөлөрүнүн концентрациясына өтө жогорку талаптарды коюшат. Мисалы, ISO 1 классындагы таза бөлмөлөрдө бир куб метрге уруксат берилген 0,1 мкм бөлүкчөлөрдүн саны 10дон ашпайт. Дат баспас болоттон жасалган платформа жылтыратуудан өткөн болсо дагы, ал дагы эле металл калдыктарын же оксид шкаласынын кабыгын чыгарышы мүмкүн, мисалы, жабдуулардын титирөөсү жана персоналдын иштеши сыяктуу тышкы күчтөрдүн таасиринен, алар оптикалык жолго тоскоол болушу мүмкүн. Гранит платформалары, алардын тыгыз минералдык түзүлүшү (тығыздыгы ≥2,7 г/см³) жана жогорку катуулугу (Мохс шкаласы боюнча 6-7) менен узак мөөнөттүү пайдаланууда эскирүүгө же сынууга жакын эмес. Ченилген өлчөөлөр көрсөткөндөй, алар дат баспас болоттон жасалган аянтчаларга салыштырмалуу аныктоочу жабдыктын аймагынын абасындагы асылып калган бөлүкчөлөрдүн концентрациясын 40% га азайтып, таза бөлмөнүн стандарттарын эффективдүү сактай алат.
Таза мүнөздөмөлөрүнөн тышкары, гранит платформаларынын комплекстүү иштеши дат баспас болоттон алда канча ашып кетет. Жылуулук туруктуулугу боюнча, анын жылуулук кеңейүү коэффициенти (4-8) ×10⁻⁶/℃, дат баспас болоттун жарымынан азы (болжол менен 17×10⁻⁶/℃), бул таза бөлмөдөгү температура өзгөрүп турганда аныктоочу жабдуулардын жайгашуу тактыгын жакшыраак сактай алат. Жогорку демпфингдик мүнөздөмөсү (демпфинг коэффициенти > 0,05) жабдуулардын титирөөсүн тез басаңдатып, аныктоо зондунун титирөөсүнө жол бербейт. Анын табигый коррозияга туруктуулугу ага фоторезисттик эриткичтерге, оюу газдарына жана башка химиялык заттарга тийсе дагы, кошумча жабууну коргоону талап кылбастан туруктуу бойдон калууга мүмкүндүк берет.
Азыркы учурда, гранит аянтчалары өнүккөн пластинка өндүрүүчү ишканаларда кеңири колдонулат. Маалыматтар көрсөткөндөй, гранит платформасын кабыл алгандан кийин, пластинка бетинин бөлүкчөлөрүн аныктоонун туура эмес чечими 60% га азайган, жабдууларды калибрлөө цикли үч эсеге узартылган жана өндүрүштүн жалпы наркы 25% га төмөндөгөн. Жарым өткөргүч өнөр жайы жогорку тактыкка карай жылып баратканда, гранит платформалары металлдын нөлдүк ионунун чыгышы жана бөлүкчөлөрдүн аз булганышы сыяктуу негизги артыкчылыктары менен пластинкаларды текшерүүгө туруктуу жана ишенимдүү колдоо көрсөтүүнү улантып, тармактын прогрессине түрткү берүүчү маанилүү күчкө айланат.
Посттун убактысы: 20-май-2025