Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү цехинде чип өндүрүү процессинин айлана-чөйрөнүн шарттарына жана жабдуулардын тактыгына болгон талаптары өтө жогору жана ар кандай бир аз четтөө чиптин өндүрүмдүүлүгүнүн олуттуу төмөндөшүнө алып келиши мүмкүн. XYZT тактыктагы гантри кыймыл платформасы наномасштабдагы тактыкка жетүү үчүн бекем пайдубал куруу максатында платформанын башка бөлүктөрү менен кызматташуу үчүн гранит компоненттерине таянат.
Мыкты вибрацияны бөгөттөө касиеттери
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү цехинде перифериялык жабдуулардын жана кызматкерлердин иштеши титирөөнү жаратышы мүмкүн. Гранит компоненттеринин ички түзүлүшү тыгыз жана бирдей, табигый жогорку демпфердик мүнөздөмөлөргө ээ, натыйжалуу титирөө "тоскоолу". Тышкы титирөө XYZT платформасына берилгенде, гранит компоненти титирөө энергиясынын 80% дан ашыгын натыйжалуу басаңдатып, платформанын кыймылынын тактыгына титирөөнүн тоскоолдуктарын азайта алат. Ошол эле учурда, платформа гранит компоненттери менен бирге иштеген жогорку тактыктагы аба калкып жүрүүчү жетектөөчү система менен жабдылган. Аба калкып жүрүүчү жетектөөчү платформанын кыймылдуу бөлүктөрүнүн контактсыз асма кыймылын ишке ашыруу жана механикалык сүрүлүүдөн келип чыккан кичинекей титирөөнү азайтуу үчүн жогорку басымдагы газдан пайда болгон туруктуу газ пленкасын колдонот. Экөө биргелешип, чип литографиясы жана гравюра сыяктуу негизги процесстерде платформаны жайгаштыруунун тактыгы ар дайым нанометр деңгээлинде сакталып турушун камсыздайт жана титирөөдөн келип чыккан чип схемаларынын четтөөсүнө жол бербейт.
Мыкты жылуулук туруктуулугу
Цехтеги температуранын жана нымдуулуктун өзгөрүшү чип өндүрүүчү жабдуулардын тактыгына чоң таасирин тийгизет. Граниттин жылуулук кеңейүү коэффициенти өтө төмөн, адатта 5-7 × 10⁻⁶/℃, температура өзгөргөндө өлчөмү дээрлик өзгөрбөйт. Цехте күн менен түндүн ортосундагы температура айырмасы же жабдуулардын жылуулук өндүрүшү айлана-чөйрөнүн температурасынын өзгөрүшүнө алып келсе да, гранит компоненттери жылуулук кеңейүүсүнө жана кысылышына байланыштуу платформанын деформациясына жол бербөө үчүн туруктуу бойдон кала алат. Ошол эле учурда, платформа менен жабдылган акылдуу температураны көзөмөлдөө системасы айлана-чөйрөнүн температурасын реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөп, кондиционерди жана жылуулукту таркатуу жабдууларын автоматтык түрдө тууралайт жана цехтин температурасын 20°C ±1°C деңгээлинде кармап турат. Граниттин жылуулук туруктуулугунун артыкчылыктары менен айкалышып, платформанын узак мөөнөттүү иштешин, ар бир огунун кыймылынын тактыгы ар дайым чип өндүрүүчү нанометрдик тактык стандарттарына жооп берерин, чип литографиясынын үлгүсүнүн өлчөмүнүн тактыгын, оюу тереңдигинин бирдей болушун камсыз кылуу.
Таза айлана-чөйрөнүн муктаждыктарын канааттандыруу
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү цех чаң бөлүкчөлөрүнүн чипти булгашына жол бербөө үчүн жогорку деңгээлдеги тазалыкты сакташы керек. Гранит материалы өзү чаң чыгарбайт жана бети жылмакай, чаңды сиңирүү оңой эмес. Платформа жалпысынан тышкы чаңдын киришин азайтуу үчүн толугу менен жабык же жарым-жартылай жабык структуралык дизайнды колдонот. Ички аба айлануу системасы цехтин таза аба кондиционерлөө системасы менен байланышкан, бул ички абанын тазалыгы чип өндүрүүдө талап кылынган деңгээлге жетишин камсыз кылат. Мындай таза чөйрөдө гранит компоненттери чаңдын эрозиясынан улам иштин натыйжалуулугуна таасир этпейт, ал эми платформанын жогорку тактыктагы сенсорлору жана моторлору сыяктуу негизги компоненттери да туруктуу иштей алат, бул чип өндүрүү үчүн үзгүлтүксүз жана ишенимдүү наноөлчөмдөгү тактык кепилдигин берет жана жарым өткөргүчтөр өнөр жайынын жогорку процесстик деңгээлге өтүшүнө жардам берет.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 14-апрели