Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө фотолитография машинасы микросхемалардын тактыгын аныктоочу негизги түзүлүш болуп саналат, ал эми гранит негизи өзүнүн көп мүнөздөмөлөрү менен фотолитографиялык машинанын ажырагыс бөлүгү болуп калды.
Термикалык туруктуулук: Температуранын өзгөрүшүнө каршы "Калкан"
Фотолитографиялык машина иштеп турганда, ал көп сандагы жылуулукту пайда кылат. Температуранын 0,1℃ гана өзгөрүшү да жабдуулардын компоненттеринин деформациясына алып келиши мүмкүн жана фотолитографиянын тактыгына таасирин тийгизиши мүмкүн. Граниттин термикалык кеңейүү коэффициенти өтө төмөн, болгону 4-8 ×10⁻⁶/℃, бул болоттун болжол менен 1/3 бөлүгүн жана алюминий эритмесинин 1/5 бөлүгүн түзөт. Бул фотолитография машинасы узак убакыт бою иштегенде же айлана-чөйрөнүн температурасы өзгөргөндө оптикалык компоненттердин жана механикалык түзүлүштөрдүн так жайгашуусун камсыз кылуу менен гранит негизине өлчөмдүү туруктуулукту сактоого мүмкүндүк берет.
Термелүүгө каршы супер көрсөткүч: титирөөнү соруп алган "губка"
Жарым өткөргүчтөр заводунда курчап турган жабдуулардын иштеши жана адамдардын кыймылы термелүүлөрдү жаратышы мүмкүн. Гранит жогорку тыгыздыкка жана катуу текстурага ээ жана ал эң сонун демпфиялык касиеттерге ээ, демпфингдик катышы металлдардан 2-5 эсе көп. Сырткы термелүүлөр гранит негизине өткөндө, ички минералдык кристаллдардын ортосундагы сүрүлүү термелүү энергиясын диссипациялоо үчүн жылуулук энергиясына айландырат, бул кыска убакыттын ичинде термелүүнү олуттуу түрдө азайтат, бул фотолитография машинасына туруктуулукту тез калыбына келтирүүгө жана титирөөнүн натыйжасында фотолитография үлгүсүнүн бүдөмүк же туура эмес тегиздөөсүнө жол бербейт.
Химиялык туруктуулук: Таза чөйрөнүн "сакчысы"
Фотолитографиялык машинанын ичи ар кандай химиялык чөйрөлөр менен байланышта болот жана кадимки металл материалдары коррозияга же бөлүкчөлөрдүн бөлүнүп чыгышына жакын. Гранит кварц жана талаа шпаты сыяктуу минералдардан турат. Бул туруктуу химиялык касиеттерге жана күчтүү коррозияга туруктуулугуна ээ. Кислота жана щелоч эритмелерине малынгандан кийин беттик коррозия өтө аз болот. Ошол эле учурда, анын жыш түзүлүшү дээрлик эч кандай сыныктарды же чаңды жаратпайт, таза бөлмөнүн эң жогорку стандарттарынын талаптарына жооп берет жана пластинанын булгануу коркунучун азайтат.
Кайра иштетүүгө ыңгайлашуу: так эталондорду түзүү үчүн "идеалдуу материал"
Фотолитографиялык машинанын негизги компоненттери жогорку тактыктагы шилтеме бетине орнотулушу керек. Граниттин ички түзүлүшү бирдей жана аны майдалоо, жылмалоо жана башка ыкмалар аркылуу өтө жогорку тактыкта иштетүү оңой. Анын тегиздиги ≤0.5μm / м жетиши мүмкүн, ал эми бетинин оройлугу Ra ≤0.05μm болуп, оптикалык линзалар сыяктуу компоненттер үчүн так орнотуу негизин камсыз кылат.
Узак иштөө мөөнөтү жана техникалык тейлөө талап кылынбайт: чыгымдарды азайтуу үчүн "курч куралдар"
Узак мөөнөттүү колдонууда чарчоого жана жарылып кетүүгө жакын болгон металл материалдарга салыштырмалуу гранит кадимки жүктөрдө пластикалык деформацияга же сынууга дээрлик дуушар болбойт жана ал беттик тазалоону талап кылбайт, ошентип каптоо кабыгынан жана булгануу коркунучунан сактайт. Практикалык колдонмолордо, көп жылдар бою колдонулгандан кийин, гранит базасынын негизги көрсөткүчтөрү дагы эле туруктуу бойдон калууда, жабдууларды эксплуатациялоо жана тейлөө чыгымдарын азайтат.
Термикалык туруктуулуктан, титирөөдөн химиялык инерттүүлүккө чейин, гранит базасынын бир нече мүнөздөмөлөрү фотолитография машинасынын талаптарына толук жооп берет. Чипти өндүрүү процесси жогорку тактыкка карай өнүгүп жаткандыктан, гранит негиздери жарым өткөргүч өндүрүшүндө алмаштырылгыс ролду ойной берет.
Посттун убактысы: 20-май-2025