|
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү чөйрөсүндө чипти даярдоо процессинин тактыгын аныктоочу негизги жабдуу катары фотолитографиялык машинанын ички чөйрөсүнүн туруктуулугу өтө маанилүү. Экстремалдуу ультра кызгылт көк жарык булагынын дүүлүктүрүлүшүнөн баштап, наноөлчөмдүү так кыймыл платформасынын иштешине чейин ар бир шилтемеде кичине четтөө болушу мүмкүн эмес. Бир катар уникалдуу касиеттери бар гранит негиздери фотолитографиялык машиналардын туруктуу иштешин камсыз кылууда жана фотолитографиянын тактыгын жогорулатууда теңдешсиз артыкчылыктарды көрсөтөт. |
Мыкты электромагниттик коргоо көрсөткүчү
Фотолитографиялык машинанын ичи татаал электромагниттик чөйрө менен толтурулган. Экстремалдуу ультрафиолет жарык булактары, кыймылдаткыч кыймылдаткычтары жана жогорку жыштыктагы электр булактары сыяктуу компоненттер тарабынан түзүлгөн электромагниттик тоскоолдуктар (EMI), эгерде эффективдүү көзөмөлдөнбөсө, жабдуулардын ичиндеги так электрондук компоненттердин жана оптикалык системалардын иштешине олуттуу таасирин тийгизет. Мисалы, тоскоолдуктар фотолитография үлгүлөрүндө бир аз четтөөлөргө алып келиши мүмкүн. Өнүккөн өндүрүш процесстеринде, бул чиптеги транзисторлордун туура эмес туташууларына алып келүү үчүн жетиштүү болуп, чиптин түшүмдүүлүгүн кыйла азайтат. |
Гранит металл эмес материал жана өзүнөн өзү электр тогун өткөрбөйт. Металл материалдардагыдай ичинде эркин электрондордун кыймылынан келип чыккан электромагниттик индукция кубулушу жок. Бул өзгөчөлүк аны табигый электромагниттик коргоочу органга айлантат, ал ички электромагниттик кийлигишүүнүн өткөрүү жолун натыйжалуу бөгөттөй алат. Тышкы электромагниттик интерференция булагы тарабынан пайда болгон өзгөрмө магнит талаасы гранит негизине тараганда, гранит магниттик эмес жана магниттелиши мүмкүн эмес болгондуктан, өзгөрмө магнит талаасынын өтүшү кыйын, ошону менен базага орнотулган фотолитографиялык машинанын негизги компоненттерин коргойт, мисалы, тактык сенсорлор жана электромагниттик жөнгө салуу приборлору жана оптикалык линзалар. фотолитография процессинде үлгү берүүнүн тактыгы. |
Эң сонун вакуум шайкештиги
Өтө ультра кызгылт көк нур (EUV) бардык заттарга, анын ичинде абага оңой сиңип кеткендиктен, EUV литография машиналары вакуумдук чөйрөдө иштеши керек. Бул учурда, вакуумдук чөйрө менен жабдуулардын компоненттеринин шайкештиги өзгөчө маанилүү болуп калат. Вакуумда материалдар эрип, десорбцияланып, газды бөлүп чыгарышы мүмкүн. Чыгарылган газ EUV жарыгын сиңирип гана тим болбостон, жарыктын интенсивдүүлүгүн жана өткөрүү эффективдүүлүгүн төмөндөтөт, ошондой эле оптикалык линзаларды булгашы мүмкүн. Мисалы, суу буусу линзаларды кычкылдандырат, ал эми углеводороддор линзалардын үстүнө көмүртек катмарларын салып, литографиянын сапатына олуттуу таасирин тийгизет. |
Гранит туруктуу химиялык касиеттерге ээ жана вакуумдук чөйрөдө газды дээрлик чыгарбайт. Кесиптик тестирлөөлөргө ылайык, симуляцияланган фотолитография машинасынын вакуумдук чөйрөсүндө (мисалы, негизги камерадагы жарыктандыруу оптикалык системасы жана сүрөттөө оптикалык системасы жайгашкан, H₂O < 10⁻⁵ Па, CₓHᵧ < 10⁻⁵ Па талап кылган ультра таза вакуум чөйрөсү сыяктуу), базалык көрсөткүч өтө төмөн. металл сыяктуу башка материалдарга караганда. Бул фотолитография машинасынын ички бөлүгүн узак убакыт бою жогорку вакуумдук даражаны жана тазалыкты сактоого мүмкүндүк берет, өткөрүү учурунда EUV нурунун жогорку өткөрүмдүүлүгүн жана оптикалык линзалар үчүн өтө таза колдонуу чөйрөсүн камсыз кылат, оптикалык системанын кызмат мөөнөтүн узартат жана фотолитография машинасынын жалпы өндүрүмдүүлүгүн жогорулатат. |
Күчтүү титирөө каршылык жана жылуулук туруктуулук
Фотолитография процессинде нанометрдик деңгээлдеги тактык фотолитографиялык машинада кичине термелүү же термикалык деформация болбошу керек. Цехтеги башка жабдуулардын иштешинен жана персоналдын кыймылынан келип чыккан айлана-чөйрөнүн титирөөлөрү, ошондой эле иштөө учурунда фотолитография машинасынын өзү чыгарган жылуулук фотолитографиянын тактыгына тоскоол болушу мүмкүн. Гранит жогорку тыгыздыкка жана катуу текстурага ээ жана ал мыкты титирөө каршылыгына ээ. Анын ички минералдык кристалл түзүмү компакттуу, ал титирөөнүн энергиясын эффективдүү басаңдатып, титирөөнүн таралышын тез басат. Эксперименталдык маалыматтар ошол эле титирөө булагы астында гранит базасы титирөө амплитудасын 0,5 секунданын ичинде 90% дан ашык азайта аларын көрсөтүп турат. Металл негиз менен салыштырганда, ал жабдууларды стабилдүүлүккө тезирээк калыбына келтирип, фотолитография линзасы менен пластинанын ортосундагы так салыштырмалуу позицияны камсыздай алат жана титирөөдөн келип чыккан үлгүлөрдүн бүдөмүктөлүшүнө же туура эмес түзүлүшүнө жол бербейт. |
Ошол эле учурда, граниттин жылуулук кеңейүү коэффициенти өтө төмөн, болжол менен (4-8) ×10⁻⁶/℃, бул металлдык материалдарга караганда бир топ төмөн. Фотолитографиялык машинанын иштешинде, жарык булагынан жылуулукту пайда кылуу жана механикалык компоненттерден сүрүлүү сыяктуу факторлордон улам ички температура өзгөрүп турса да, гранит негизи өлчөмдүү туруктуулукту сактай алат жана термикалык кеңейүү жана жыйрылуудан улам олуттуу деформацияга дуушар болбойт. Бул фотолитографиянын тактыгынын ырааттуулугун сактоо менен оптикалык системага жана так кыймыл платформасына туруктуу жана ишенимдүү колдоо көрсөтөт.
Посттун убактысы: 20-май-2025