Жогорку класстагы өндүрүш жана алдыңкы илимий изилдөөлөр жаатында, аба калкымасынын өтө так кыймыл модулу өзүнүн эң сонун тактык көрсөткүчтөрү менен так иштөө жана өлчөө үчүн негизги жабдууга айланды. Граниттен жасалган тактык базасы, таяныч өзөгү катары, жумушчу чөйрөгө катуу талаптарды коёт жана ылайыктуу айлана-чөйрө шарттары анын туруктуу иштешин жана эң жакшы натыйжасын камсыз кылуунун негизи болуп саналат.
Биринчиден, температураны көзөмөлдөө: так "стабилизатор"
Гранит туруктуулугу менен белгилүү болгону менен, ал температуранын өзгөрүшүнө толугу менен туруктуу эмес. Анын жылуулук кеңейүү коэффициенти төмөн болгону менен, адатта 5-7 × 10⁻⁶/℃, өтө так кыймылды башкаруу сценарийлеринде температуранын анча чоң эмес өзгөрүүлөрү өлчөмдүү өзгөрүүлөргө алып келип, модулдун тактыгына таасир этиши мүмкүн. Жарым өткөргүч чип өндүрүү цехинде литография процесси данами деңгээлиндеги позициялоо тактыгын талап кылат жана айлана-чөйрөнүн температурасы 1°Cге өзгөрүп турат, ал эми капталынын узундугу 1 метр болгон гранит негизи 5-7 микрон сызыктуу кеңейүүнү же кысылууну пайда кылышы мүмкүн. Бул кичинекей өзгөрүү аба калкып жүрүүчүнүн өтө так кыймыл модулу аркылуу берилет, бул чип литографиясынын үлгүсүнүн четтөөсүн жасоого жана түшүмдүүлүктү бир топ төмөндөтүүгө жетиштүү. Ошондуктан, абада калкып жүрүүчү ультра тактыктагы кыймыл модулунун гранит тактык базасы менен жабдылган, идеалдуу жумушчу чөйрөнүн температурасы 20°C ±1°C температурада көзөмөлдөнүшү керек, туруктуу температура жана нымдуулукту көзөмөлдөөчү кондиционер системасы сыяктуу жогорку тактыктагы туруктуу температура жабдууларынын жардамы менен, айлана-чөйрөнүн температурасын үзгүлтүксүз көзөмөлдөө жана жөнгө салуу, температуранын өтө кичинекей диапазондо өзгөрүшүн камсыз кылуу, базанын өлчөмүнүн туруктуулугун сактоо жана модулдун жогорку тактыкта иштешин камсыз кылуу үчүн.
Экинчиден, нымдуулукту башкаруу: нымдуулуктан коргоонун ачкычы "таш"
Нымдуулук - граниттин так негизинин иштешине таасир этүүчү дагы бир маанилүү фактор. Жогорку нымдуулуктагы чөйрөдө гранит суу буусун оңой сиңирип алат, бул бетинде конденсацияга алып келиши мүмкүн, бул гранит менен аба калкымасынын өтө так кыймыл модулунун байланыш туруктуулугуна гана таасир этпестен, ошондой эле беттин эрозиясын пайда кылып, узак мөөнөттүү келечекте жылтырактыгын жана тактыгын төмөндөтүшү мүмкүн. Оптикалык линзаларды майдалоочу цехте, эгерде нымдуулук узак убакыт бою 60% RH жогору болсо, гранит негизинин бетине адсорбцияланган суу буусу газ калкыма жылдыргычынын кыймылына тоскоол болот, ошондуктан линзаларды майдалоо тактыгы төмөндөйт жана бети кемчиликтүү болот. Ошондуктан, жумушчу чөйрөнүн салыштырмалуу нымдуулугу 40%-60% RH ортосунда катуу көзөмөлдөнүшү керек, аны жогорку нымдуулуктан улам гранит негизине зыян келтирбөө үчүн кургаткычтарды, нымдуулук сенсорлорун жана башка жабдууларды орнотуу менен реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөп жана тууралоого болот жана аба калкымасынын өтө так кыймыл модулунун үзгүлтүксүз иштешин камсыз кылат.
Үчүнчүдөн, тазалыктын кепилдиги: тактыктын "сакчысы"
Аба флотациясынын өтө так кыймыл модулунун так гранит негизине чаң бөлүкчөлөрүнүн зыянын баалабай коюуга болбойт. Майда бөлүкчөлөр газ пленкасынын жылдыргычы менен гранит негизинин ортосундагы газ пленкасынын боштугуна киргенден кийин, алар газ пленкасынын бирдейлигин бузуп, сүрүлүүнү күчөтүп, ал тургай негиздин бетин чийип, кыймылдын тактыгын төмөндөтүшү мүмкүн. Аэрокосмостук тетиктердин өтө так иштетүү цехинде, эгерде абадагы чаң бөлүкчөлөрү гранит негизине түшсө, иштетүүчү шаймандын кыймыл траекториясы четтеп, тетиктердин иштетүү тактыгына таасир этиши мүмкүн. Ошондуктан, жумуш аянты жогорку натыйжалуу аба чыпкалары (HEPA) сыяктуу абаны тазалоочу жабдууларды орнотуу аркылуу тазалыктын 10 000 же андан да жогорку деңгээлине жетип, абадагы чаң бөлүкчөлөрүн чыпкалап, ошол эле учурда кызматкерлер чаңсыз кийим, бут кийимдин капкагын ж.б. кийиши керек, бул адамдар алып келген чаңды азайтат. Гранит негизинин жана абадагы өтө так кыймыл модулунун жогорку тактыктагы иштөө чөйрөсүн сактаңыз.
Төртүнчүдөн, титирөөнү изоляциялоо: "шок аянтчасынын" жылмакай иштеши
Тышкы титирөө аба калкымасынын өтө так кыймыл модулунун тактыгынын душманы болуп саналат. Тактык гранит негизи белгилүү бир титирөөнү басаңдатуу жөндөмүнө ээ болгону менен, жогорку күчтүү титирөө дагы эле анын буфердик чегин бузушу мүмкүн. Заводдун айланасындагы кыймылдан жана ири механикалык жабдуулардын иштешинен пайда болгон титирөө жер аркылуу гранит негизине берилет, бул аба калкымасынын өтө так кыймыл модулунун кыймылынын тактыгына тоскоол болот. Жогорку класстагы CMMде титирөө өлчөөчү зонд менен өлчөнө турган жумушчу бөлүктүн ортосундагы байланыштын туруксуз болушуна алып келиши мүмкүн, бул өлчөө маалыматтарынын четтөөсүнө алып келет. Бул көйгөйдү чечүү үчүн, жабдууларды орнотуу аянтына титирөөнү изоляциялоочу төшөктөрдү төшөө, титирөөнү изоляциялоочу пайдубал куруу же тышкы титирөөнү активдүү түрдө жоюу үчүн активдүү титирөөнү изоляциялоо системасын колдонуу сыяктуу натыйжалуу титирөөнү изоляциялоо чараларын көрүү зарыл, ошондой эле гранит тактык негизи жана аба калкымасынын өтө так кыймыл модулу үчүн тынч жана туруктуу жумушчу чөйрөнү түзүү керек.
Температура, нымдуулук, тазалык жана титирөөнү көзөмөлдөө сыяктуу экологиялык талаптарды толук канааттандыруу менен гана, аба калкымасынын өтө так кыймыл модулунун гранит тактык негизи анын иштөө артыкчылыктарын толук ойной алат, ар кандай тармактардагы өтө так операциялар үчүн ишенимдүү кепилдик берет жана тармактын жогорку тактыктагы өндүрүш жана илимий изилдөө деңгээлине өтүшүнө жардам берет.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 8-апрели