Жогорку өндүрүштүк жана заманбап илимий изилдөөлөр тармагында аба сүзгүчүнүн ультра тактык кыймыл модулу эң сонун тактык менен иштөө жана өлчөө үчүн негизги жабдуу болуп калды. Гранит тактык базасы, колдоо өзөгү катары, жумушчу чөйрө үчүн катуу талаптарга ээ жана ылайыктуу экологиялык шарттар анын туруктуу иштешин жана эң жакшы эффектин камсыз кылуу үчүн негиз болуп саналат.
Биринчиден, температураны көзөмөлдөө: тактык "стабилизатор"
Гранит өзүнүн туруктуулугу менен белгилүү болсо да, ал температуранын өзгөрүшүнө толук каршы эмес. Анын жылуулук кеңейүү коэффициенти төмөн болсо да, көбүнчө 5-7 ×10⁻⁶/℃, ультра тактыктагы кыймылды башкаруу сценарийлеринде, температуранын тымызын термелүүлөрү дагы эле өлчөмдөрдүн өзгөрүшүнө жана модулдун тактыгына таасир этиши мүмкүн. Жарым өткөргүч микросхемаларын жасоочу цехте литография процесси данами деңгээлинде жайгаштыруунун тактыгын талап кылат, ал эми айлана-чөйрөнүн температурасы 1 ° C менен өзгөрүп турат, ал эми капталынын узундугу 1 метр болгон гранит негизи 5-7 микрон сызыктуу кеңейүүнү же жыйроону жаратышы мүмкүн. Бул кичинекей өзгөрүү чиптин литография үлгүсүнүн четтөөсүнө жана түшүмдүүлүгүн бир топ төмөндөтүүгө жетиштүү болгон аба сүзгүчүнүн ультра тактыктагы кыймыл модулу тарабынан берилет. Ошондуктан, абада калкып жүрүүчү ультра тактык кыймыл модулунун гранит тактык базасы менен жабдылган, идеалдуу жумушчу чөйрөнүн температурасы 20 ° C ± 1 ° C, жогорку тактык туруктуу температура жабдуулардын жардамы менен, мисалы, туруктуу температура жана нымдуулук кондиционер системасы, үзгүлтүксүз мониторинг жана айлана-чөйрөнүн температурасын жөнгө салуу, температуранын өзгөрүшүн камсыз кылуу үчүн, модулдун абдан кичинекей диапазонунда туруктуулукту камсыз кылуу үчүн. жогорку тактык менен иштөө.
Экинчиден, нымдуулук башкаруу: ным-далил коргоо ачкычы "таш"
Нымдуулук так гранит базасынын иштешине таасир этүүчү дагы бир маанилүү фактор болуп саналат. Жогорку нымдуулукта чөйрөдө гранит суу буусун сиңирип алуу оңой, бул жер бетинде конденсацияга алып келиши мүмкүн, бул граниттин туташуу туруктуулугуна жана аба сүзгүчүнүн ультра тактык кыймыл модулуна гана таасирин тийгизбестен, ошондой эле жер үстүндөгү эрозияга алып келиши мүмкүн жана узак мөөнөттүү келечекте жалтыратуу жана тактык. Оптикалык линзаларды майдалоочу цехте нымдуулук 60% RH жогору болсо, гранит базасынын бетине адсорбцияланган суу буусу газ сүзгүчтүн кыймылына тоскоол болот, андыктан линзаны майдалоо тактыгы азаят, ал эми бети кемчилик. Ошондуктан, жумушчу чөйрөнүн салыштырмалуу нымдуулугу 40% -60% RH ортосунда катуу көзөмөлгө алынышы керек, ал жогорку нымдуулуктун кесепетинен гранит базасына зыян келтирбөө үчүн нымдуулукту, нымдуулук сенсорлорун жана башка жабдууларды орнотуу аркылуу реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөнүп, жөнгө салынышы керек.
Үчүнчүдөн, тазалык кепилдиги: тактыктын “сакчысы”
Чаң бөлүкчөлөрүнүн аба флотациясынын ультра так кыймыл модулунун так гранит базасына тийгизген зыянын баалабай коюуга болбойт. Майда бөлүкчөлөр газ сүзгүч сыдыргычы менен гранит негизинин ортосундагы газ пленкасынын боштугуна киргенден кийин, алар газ пленкасынын бирдейлигин бузуп, сүрүлүүнү күчөтүп, ал тургай, базанын бетин чийип, кыймылдын тактыгын азайтат. Аэрокосмостук тетиктерди ультра тактык менен иштетүүчү цехте абадагы чаң бөлүкчөлөрү гранит негизине түшсө, иштетүүчү аспаптын кыймыл траекториясы четтеп, тетиктерди иштетүүнүн тактыгына таасирин тийгизиши мүмкүн. Ошондуктан, жумуш зонасы өтө таза болушу керек, тазалык стандарттарынын 10 000 же андан да жогорку деңгээлине чейин, абаны тазалоочу жабдууларды орнотуу аркылуу, мисалы, жогорку эффективдүү аба чыпкалары (HEPA), абадагы чаң бөлүкчөлөрүн чыпкалоо, ошол эле учурда адамдар алып келген чаңды азайтуу үчүн кызматкерлер чаңсыз кийимдерди, бут кийимдерди ж.б. кийиши керек. Гранит базасынын жана аба флотунун ультра тактык кыймыл модулунун жогорку тактыктагы иштөө чөйрөсүн сактаңыз.
Төрт, титирөө изоляциясы: "шок аянтчасынын" жылмакай иштеши
Тышкы термелүү аба сүзгүчүнүн ультра тактык кыймыл модулунун тактыгынын душманы болуп саналат. Так гранит базасы белгилүү бир титирөөнү басаңдатуу жөндөмүнө ээ болсо да, жогорку күчтөгү титирөө дагы эле буфердик чегин бузушу мүмкүн. Заводдун айланасындагы кыймылдан жана ири механикалык жабдуулардын иштешинен пайда болгон титирөө жер аркылуу гранит базасына берилет, бул аба сүзгүчүнүн ультра тактык кыймыл модулунун кыймылынын тактыгына тоскоол болот. Жогорку сапаттагы CMMде титирөө өлчөөчү зонд менен өлчөөчү тетиктин ортосундагы байланышты туруксуз кылып, өлчөө маалыматтарынын четтөөсүнө алып келиши мүмкүн. Бул көйгөйдү чечүү үчүн титирөөнүн эффективдүү обочолонуу чараларын көрүү керек, мисалы, жабдууларды орнотуу аянтына титирөө изоляциялоочу аянтчаларды төшөө, титирөө изоляциясынын пайдубалын куруу же тышкы титирөөнү активдүү жабуу үчүн жигердүү титирөө изоляциялоо тутумун колдонуу жана гранит тактык базасы үчүн тынч жана туруктуу иштөө чөйрөсүн түзүү керек.
Температуранын, нымдуулуктун, тазалыктын жана титирөөнүн экологиялык талаптарын толугу менен канааттандыруу менен, аба сүзгүчүнүн ультра тактык кыймыл модулунун гранит тактык базасы анын иштөө артыкчылыктарын толук ойной алат, ар кандай тармактарда өтө так операциялар үчүн ишенимдүү кепилдик бере алат жана өнөр жайдын жогорку тактыктагы өндүрүш жана илимий изилдөө деңгээлине өтүүгө жардам берет.
Посттун убактысы: 08-08-2025