так өндүрүш жана илимий изилдөө тармактарында, гранит так аянтчалардын тегиздик жабдуулардын тактыгын камсыз кылуу үчүн негизги көрсөткүчү болуп саналат. Төмөндө сиз үчүн аныктоонун бир нече негизги ыкмалары жана алардын иштөө жол-жоболору менен толук таанышуу болуп саналат. |
I. Лазердик интерферометрди аныктоо ыкмасы
Лазердик интерферометр жогорку тактыктагы тегиздикти аныктоо үчүн артыкчылыктуу курал болуп саналат. Мисал катары ZYGO GPI XP лазердик интерферометрин алалы, анын резолюциясы 0,1 нмге жетиши мүмкүн. Аныктоо жүргүзүүдө, адегенде интерферометрдин жарык булагын платформага тууралаңыз жана платформанын бетин 50мм×50мм тор аймактарына бөлүңүз. Кийинчерээк интерференциянын четки маалыматтары чекит боюнча чогултулуп, маалыматтар тегиздик катасын алуу үчүн Zernike полиномиясынын жардамы менен орнотулду жана анализденди. Бул ыкма жогорку тактыктагы платформаларга тиешелүү жана ≤0,5μm/m² тегиздик каталарын аныктай алат. Ал көбүнчө фотолитографиялык машиналарды жана жогорку класстагы үч координаттуу өлчөөчү машина платформаларын аныктоодо колдонулат. |
Ii. Электрондук деңгээл массивинин методу
Электрондук деңгээлдеги массивди аныктоо оңой жана эффективдүү. TESA A2 электрондук деңгээли (0.01μm/m токтому менен) тандалып алынган жана платформанын X/Y огу багытында 9×9 массивинде уюштурулган. Ар бир деңгээлдин жантаюу маалыматтарын синхрондуу чогултуу жана андан кийин эсептөө үчүн эң аз квадраттык ыкманы колдонуу менен тегиздиктин маанисин так алууга болот. Бул ыкма платформанын локалдык ойуу жана томпок шарттарын натыйжалуу аныктай алат. Мисалы, 50мм диапазонунда 0,2μm термелүүсү да аныкталышы мүмкүн, бул массалык өндүрүштө тез аныктоого ылайыктуу. |
Iii. Оптикалык жалпак кристаллдык метод
Оптикалык жалпак кристалл ыкмасы кичинекей аянтчаларды аныктоо үчүн ылайыктуу. Платформада сыналуучу бетке оптикалык жалпак кристаллды бекем бекитиңиз жана монохроматтык жарык булагынын (мисалы, натрий лампасынын) жарыгы астында алардын ортосунда пайда болгон интерференциялык чектерге көз салыңыз. Эгерде сызыктар параллель түз тилкелер болсо, анда бул жакшы тегиздикти көрсөтөт. Эгерде ийилген тилкелер пайда болсо, тилкенин ийрилик даражасына жараша тегиздик катасын эсептеңиз. Ар бир ийри тилке 0.316μm бийиктиктин айырмасын билдирет, ал эми тегиздик маалыматтарын жөнөкөй өзгөртүү аркылуу алууга болот. |
Төрт. Үч координатты өлчөөчү машина текшерүү ыкмасы
Үч координатты өлчөөчү машина үч өлчөмдүү мейкиндикте жогорку тактыктагы өлчөөлөргө жетише алат. Гранит платформасын өлчөөчү машинанын столуна коюп, аянтчанын бетиндеги бир нече өлчөө пункттарынан маалыматтарды бирдей чогултуу үчүн зондду колдонуңуз. Өлчөөчү машина системасы платформанын тегиздиги жөнүндө отчетту түзүү үчүн бул маалыматтарды иштеп чыгат жана талдайт. Бул ыкма жалаң гана тегиздикти аныктабастан, платформанын башка геометриялык параметрлерин бир убакта ала алат жана чоң гранит аянтчаларын комплекстүү аныктоого ылайыктуу. |
Бул аныктоо ыкмаларын өздөштүрүү гранит тактык платформасынын тегиздигин так баалоого жардам берет жана так жабдуулардын туруктуу иштешине ишенимдүү кепилдик берет.
Посттун убактысы: 29-май-2025