Өркүндөтүлгөн дисплей өндүрүшүнүн атаандаштыкка жөндөмдүү дүйнөсүндө рынокто лидерлик менен эскирүүнүн ортосундагы айырмачылык көбүнчө бир факторго келип такалат: тактык. Жогорку чечилиштеги, жогорку өндүрүмдүүлүктөгү OLED жана LCD экрандарынын негизи болгон төмөнкү температурадагы поликристаллдык кремний (LTPS) массивдерин жасоо жана текшерүү инженериянын чектерин кеңейтүүчү чыдамкайлыкты талап кылат. Бул өтө жогорку тактык деңгээлине жетүү техниканын өзүнүн физикалык негиздеринен башталат. Ошондуктан LTPS массив жабдуулары үчүн гранит машинасынын негизин тандоо жөн гана дизайн тандоосу эмес, негизги талап болуп саналат.
LTPS массивин жасоодо колдонулган процесстер, айрыкча лазердик кристаллдашуу жана андан кийинки фотолитография жана чөктүрүү кадамдары, айлана-чөйрөнүн ызы-чуусуна, анын ичинде назик термелүүлөргө жана жылуулук жылыштарына өтө сезгич келет. Эң кылдат көзөмөлдөнгөн таза бөлмө чөйрөсүндө да, кичинекей өзгөрүүлөр массивдин өндүрүмдүүлүгүнө жана бирдейлигине олуттуу таасир этиши мүмкүн. Ар бир транзистордун кемчиликсиз формада болушун камсыз кылуу үчүн өтө татаал жабдуулар менен жүргүзүлгөн текшерүү этабы структуралык бүтүндүктүн андан да жогорку деңгээлин талап кылат. Бул жалпак панелдүү дисплейдин төмөнкү температурадагы полисиликон массивин текшерүү жабдуулары үчүн гранит машинасынын базасы чындап эле мыкты болгон тармак.
LTPS инспекциясынын жылуулук жана динамикалык императиви
LTPS технологиясы электрондордун тезирээк кыймылдуулугун камсыз кылат, кичирээк, натыйжалуураак транзисторлорду иштетүүгө мүмкүндүк берет жана укмуштуудай жаңыртуу ылдамдыгы жана аз энергия керектөөсү бар дисплейлерге алып келет. Бирок, катышкан структуралар микроскопиялык, микрондор менен өлчөнөт. Татаал текшерүү жабдуулары кемчиликтерди так аныктай, өлчөй жана талдай алышы үчүн, анын иштөө платформасы дээрлик кыймылсыз жана өлчөмдүү жактан өзгөрүлбөшү керек.
Чоюн же болот сыяктуу салттуу материалдар бекем болгону менен, жылуулук кеңейүүсүнө табигый түрдө сезгич келет. Кадимки болоттун жылуулук кеңейүү коэффициенти (КТК) кара гранитке караганда бир топ жогору. Бул айлана-чөйрөнүн температурасынын бир аз көтөрүлүшү, балким, бир же эки градуска гана, болоттон жасалган машинанын конструкциясынын кескин кеңейишине жана кысылышына алып келет дегенди билдирет. Массивдерди текшерүү контекстинде бул жылуулук дрейфи позициялык каталарды, оптикалык жолдо туура эмес жайгашууларды жана жакшы панелдердин четке кагылышына же кемчиликтүү панелдердин кабыл алынышына алып келиши мүмкүн болгон так эмес көрсөткүчтөрдү жаратат.
Тескерисинче, LTPS Array жабдуулары үчүн атайын гранит машинасынын төшөгүн колдонуу өзгөчө төмөн CTEге ээ платформаны камсыз кылат. Бул жылуулук туруктуулугу машинанын критикалык геометриясынын — өлчөө сенсору менен LTPS субстратынын ортосундагы аралыктын — туруктуу бойдон калышын камсыз кылат, бул сапатты көзөмөлдөө үчүн зарыл болгон ырааттуу, кайталануучу субмикрондук өлчөөлөрдү жүргүзүүгө мүмкүндүк берет.
Теңдешсиз титирөөнү басуу жана катуулук
Термикалык туруктуулуктан тышкары, граниттин материалдык касиеттери динамикалык күчтөрдү жана термелүүлөрдү башкарууда олуттуу артыкчылык берет. Өркүндөтүлгөн текшерүү системалары жогорку ылдамдыктагы баскычтарды жана майда механикалык кыймылдарды жана термелүүлөрдү пайда кылган татаал сканерлөө механизмдерин колдонот. Бул ички күчтөр, аба иштетүүчү түзүлүштөрдөн же жанаша жайгашкан техникадан чыккан тышкы ызы-чуу менен бирге, кыймылдын бүдөмүктөшүн же окуунун туруксуздугун алдын алуу үчүн тез арада нейтралдаштырылышы керек.
Граниттин жогорку ички демпферлөө жөндөмдүүлүгү, башкача айтканда, титирөө энергиясын металлдарга караганда алда канча тез таркатууга мүмкүндүк берген касиети, бул жерде абдан маанилүү. Ал пассивдүү амортизатор катары иштейт, ар бир кыймылдан кийин машинанын тез арада кемчиликсиз кыймылсыз абалга кайтып келишин камсыздайт. Таштын жогорку ийкемдүүлүк жана тыгыздык модулу ошондой эле өтө катуу түзүлүшкө салым кошуп, оор гантри системаларынын, оптикалык түзүлүштөрдүн жана вакуум камераларынын салмагы астында статикалык деформацияны минималдаштырат.
Негизинен, LTPS массивдери үчүн так даярдалган гранит станок негизин тандоо менен, инженерлер жылуулук жактан туруктуу, акустикалык жактан тынч жана структуралык жактан катуу пайдубал түзүп жатышат. Бул үчилтик касиеттер заманбап LTPS дисплейлерин өндүрүү үчүн талап кылынган өндүрүмдүүлүк жана кирешелүүлүк максаттарына жетүү үчүн талашсыз.
Табияттан алынган инженердик кемчиликсиздик
Акыркы продукт – гранит станоктун негизи – чийки карьер ташынан алда канча алыс. Бул метрологиянын шедеври, көбүнчө төмөнкү микрондук диапазондо же ал тургай субмикрондук диапазондо өлчөнгөн толеранттуулуктарга чейин бүткөрүлөт. Граниттин стресстен арылуусун жана кемчиликсиз тегиздигин камсыз кылуу үчүн атайын ыкмалар колдонулат. Бул жогорку деңгээлде тазаланган табигый материал бардык кийинки механикалык жана оптикалык тегиздөөлөр калибрленген эң жогорку эталондук тегиздикти камсыз кылат.
LTPS массивдик жабдууларын өндүрүүчүлөр үчүн жогорку тактыктагы гранитти интеграциялоо алардын машиналарынын эң жогорку өндүрүмдүүлүктө үзгүлтүксүз иштешин камсыздайт, бул түздөн-түз керектөө рыногу үчүн жогорку өндүрүмдүүлүккө жана сапаттуу дисплейлерге алып келет. Бул инженерия абсолюттук кемчиликсиздикти талап кылганда, жердин эң туруктуу табигый материалына кайрылуу эң ишенимдүү чечимди камсыз кылаарынын далили.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 3-декабры