Жарым өткөргүч жабдууларда так гранит компоненттеринин 8 типтүү колдонулушу

"Нанометр" стандарттык өлчөө бирдиги болгон жарым өткөргүчтөр өнөр жайында жабдуулардын структуралык бүтүндүгү талашсыз. Чип түйүндөрү 5 нмге жана андан жогору кичирейген сайын, термелүүнү басууга жана жылуулук туруктуулугуна болгон суроо-талап өтө жогорку деңгээлге жетет. Так гранит компоненттери жогорку класстагы варианттан жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү жабдуулардын маанилүү "ДНКсына" өттү.

Жогорку туруктуу жабдуулардын конструкцияларын жеткирүүчү алдыңкы компания катары, ZHHIMG® гранит заводдун үнсүз баатыры болгон сегиз эң маанилүү колдонууну талдайт.

1. Литография машинасынын негиздери

Литография машинасы жарым өткөргүч чынжырдагы эң татаал жабдуу болуп саналат. Негиз кемчиликсиз кыймылсыз турганда массивдүү оптикалык системаларды кармап турушу керек. Граниттин жогорку тыгыздыгы жана ички демпфери ага айлана-чөйрөдөн микротитирөөлөрдү сиңирүүгө мүмкүндүк берет, бул жарык булагынын атомдук деңгээлде бир калыпта болушун камсыздайт.

2. Аба көтөргүчтүн кыймыл этаптары

Жогорку ылдамдыктагы пластиналарды ташуу үчүн сүрүлүүсүз кыймыл талап кылынат. Гранитти микрондон төмөн тегиздикке чейин жылмалап коюуга мүмкүн болгондуктан, ал аба өткөргүч технологиясы үчүн эң сонун өнөктөш болуп кызмат кылат. "Аба жаздыгы" граниттин бетинде эч кандай эскирбестен жылып, сканерлөө жана позициялоо үчүн талап кылынган өтө жылмакай кыймылды камсыз кылат.

3. Вафли текшерүү жана метрология платформалары

Оёп бүткөндөн кийин, пластиналардын кемчиликтерин текшерүү керек. Машинанын рамасындагы ар кандай жылуулук кеңейүү "жалган оң натыйжага" же байкалбаган кемчиликке алып келет.Так гранит компоненттеритекшерүү маалыматтары машинанын бурмаланышын эмес, пластинанын бетинин чыныгы чагылдырылышын камсыз кылып, термикалык жактан инерттүү чөйрөнү камсыз кылыңыз.

4. Порталдык кыймыл системалары (көпүрө курулмалары)

Жогорку ылдамдыктагы кесүү же зым менен байлоодо "көпүрө" же портал чайпалбастан тез кыймылдашы керек. Гранит порталы чоюнга салыштырмалуу жогорку катуулук-масса катышын сунуштайт, бул "чөгүү убактысын" - машинанын кийинки тапшырмасын аткаруудан мурун термелүүлөрдүн токтошун күтүшү керек болгон убакытты бир топ кыскартат.

5. Лазердик оңдоо жабдууларынын алкактары

Маскада же пластинада кемчилик табылганда, так оңдоо үчүн лазерлер колдонулат. Бул толугу менен магниттик эмес жана өткөргүч эмес конструкциялык негизди талап кылат. Гранит табигый түрдө изоляциялайт, электромагниттик тоскоолдуктардын назик лазер жолуна таасир этишине жол бербейт.

6. Таза бөлмөлөр үчүн CMM (координаталык өлчөөчү машиналар)

Жарым өткөргүч жайдын ичиндеги сапатты көзөмөлдөө үчүн таза бөлмөнүн катуу протоколдоруна туруштук бере алган CMM талап кылынат. Бөлүкчөлөрдү бөлүп чыгаруучу же кычкылдандыруучу металлдан айырмаланып, гранит кислотага туруктуу жана дат баспайт, айлана-чөйрөнү булгабастан, жабдуулардын жогорку туруктуулугун сактайт.

7. Химиялык механикалык жылтыратуу (ХМЖ) негиздери

CMP процесси металлдарды өтө коррозияга дуушар кылган шламдарды жана химиялык заттарды камтыйт. Граниттин табигый химиялык туруктуулугу аны жылтыраткыч агрегаттардын структуралык негизи үчүн идеалдуу материалга айлантат, бул катаал химиялык чөйрөдө да узак кызмат мөөнөтүн камсыз кылат.

8. Иондук имплантация системалары

Иондук имплантаторлордогу жогорку чыңалуудагы чөйрөлөр иондук нурларга тоскоол болбогон же электрдик дого жаратпаган компоненттерди талап кылат. Граниттин диэлектрикалык касиеттери аны сезгич электрдик жана вакуумдук компоненттерди орнотуу үчүн коопсуз жана туруктуу тандоо кылат.

Эмне үчүн жарым өткөргүч инфраструктура үчүн ZHHIMG®?

ZHHIMG® компаниясында биз жарым өткөргүч жабдуулардын негизи жөн гана таштын бир бөлүгү эмес, калибрленген аспап экенин түшүнөбүз. Биздин адистештирилген кара гранит, 30 жылдан ашык убакыттан бери кол менен майдалоо боюнча тажрыйбабыз менен айкалышып, субмикрондук доордун катуу талаптарына жооп берген тегиздик жана параллелизм класстарына жетүүгө мүмкүндүк берет.

• Материал: Жогорку тыгыздыктагы, өтө майда бүртүкчөлүү ZHHIMG® кара гранити.

• Тактык: DIN 876 00-класска же JIS/ASME спецификацияларына ылайык тактык класстары.

• Ыңгайлаштыруу: 10 000 м² туруктуу температурадагы устаканаларыбызга алдын ала орнотулган интеграцияланган кошумчалар, Т-формасындагы уячалар жана аба өткөрүүчү жолдор.