♦Алюминий оксиди (Al)2O3)
ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) тарабынан чыгарылган тактыктагы керамикалык тетиктер жогорку тазалыктагы керамикалык чийки заттан, 92~97% глиноземден, 99,5% глиноземден, >99,9% глиноземден жана CIP муздак изостатикалык пресстөөдөн жасалышы мүмкүн. Жогорку температурада бышыруу жана так иштетүү, өлчөмдүк тактык ± 0,001 мм, жылмакайлык Ra0.1 чейин, колдонуу температурасы 1600 градуска чейин. Кардарлардын талаптарына ылайык ар кандай түстөгү керамика жасалышы мүмкүн, мисалы: кара, ак, беж, кочкул кызыл ж.б. Биздин компания тарабынан чыгарылган тактыктагы керамикалык тетиктер жогорку температурага, коррозияга, эскирүүгө жана изоляцияга туруктуу жана жогорку температурада, вакуумда жана коррозиялуу газ чөйрөсүндө узак убакыт бою колдонулушу мүмкүн.
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү ар кандай жабдууларда кеңири колдонулат: рамалар (керамикалык кронштейндер), субстрат (негиз), рычаг/көпүрө (манипулятор), механикалык компоненттер жана керамикалык аба подшипниктери.
| Продукциянын аталышы | Жогорку тазалыктагы 99 глиноземдүү керамикалык чарчы түтүк / түтүк / таякча | |||||
| Индекс | Бирдик | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
| Тыгыздык | г/см3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Суунун сиңирилиши | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Синтетикалык температура | ℃ | 1620-жыл | 1650-жыл | 1800-жыл | 1800-жыл | |
| Катуулугу | Мохс | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Ийилүү күчү (20℃)) | МПа | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Кысылуу күчү | Кгф/см2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Узак убакыт иштөө температурасы | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650-жыл | |
| Максималдуу иштөө температурасы | ℃ | 1450 | 1600 | 1800-жыл | 1800-жыл | |
| Көлөмдүк каршылык | 20℃ | Ω. см3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Жогорку тазалыктагы алюминий кычкылынын керамикасын колдонуу:
1. Жарым өткөргүч жабдууларга колдонулат: керамикалык вакуумдук патрон, кесүүчү диск, тазалоочу диск, керамикалык патрон.
2. Вафли өткөрүүчү бөлүктөрү: вафли иштетүүчү патрондор, вафли кесүүчү дисктер, вафли тазалоочу дисктер, вафли оптикалык текшерүүчү соргучтар.
3. LED / LCD жалпак панелдүү дисплей өнөр жайы: керамикалык форсунка, керамикалык майдалоочу диск, LIFT PIN, PIN рельс.
4. Оптикалык байланыш, күн энергиясы өнөр жайы: керамикалык түтүктөр, керамикалык таякчалар, схемалык такта экран басып чыгаруу үчүн керамикалык кыргычтар.
5. Ысыкка чыдамдуу жана электр изоляциялоочу бөлүктөрү: керамикалык подшипниктер.
Учурда алюминий кычкылы керамикасын жогорку тазалыктагы жана кадимки керамика деп бөлүүгө болот. Жогорку тазалыктагы алюминий кычкылы керамика сериясы 99,9% дан ашык Al₂O₃ камтыган керамикалык материалды билдирет. Анын бышыруу температурасы 1650 - 1990°C чейин жана өткөрүү толкун узундугу 1 ~ 6 мкм болгондуктан, ал көбүнчө платина тигели ордуна эритилген айнекке иштетилет: ал жарык өткөрүмдүүлүгү жана щелочтуу металлга коррозияга туруктуулугунан улам натрий түтүгү катары колдонулушу мүмкүн. Электроника өнөр жайында ал IC субстраттары үчүн жогорку жыштыктагы изоляциялык материал катары колдонулушу мүмкүн. Алюминий кычкылынын ар кандай курамына жараша, кадимки алюминий кычкылы керамика сериясын 99 керамика, 95 керамика, 90 керамика жана 85 керамика деп бөлүүгө болот. Кээде 80% же 75% алюминий кычкылы бар керамика дагы кадимки алюминий кычкылы керамикалык сериясы катары классификацияланат. Алардын арасында 99 алюминий кычкылы керамикалык материалы жогорку температурадагы тигель, өрткө чыдамдуу меш түтүгү жана керамикалык подшипниктер, керамикалык пломбалар жана клапан плиталары сыяктуу атайын эскирүүгө туруктуу материалдарды өндүрүү үчүн колдонулат. 95 алюминий керамикасы негизинен коррозияга туруктуу эскирүүгө туруктуу бөлүк катары колдонулат. 85 керамикасы көбүнчө кээ бир касиеттери боюнча аралаштырылат, ошону менен электрдик көрсөткүчтөрдү жана механикалык бекемдикти жакшыртат. Ал молибден, ниобий, тантал жана башка металл пломбаларды колдоно алат, ал эми кээ бирлери электр вакуумдук түзүлүштөр катары колдонулат.
| Сапаттуу буюм (өкүлчүлүк баалуулугу) | Продукциянын аталышы | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Химиялык курамы аз натрийлүү оңой бышыруу продуктусу | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Күлкүнүчтүү | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Орточо бөлүкчөлөрдүн диаметри (MT-3300, лазердик анализ ыкмасы) | мкм | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α Кристаллдын өлчөмү | мкм | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Түзүлүү тыгыздыгы** | г/см³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Агломерация тыгыздыгы** | г/см³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Агломерациялоо линиясынын кыскаруу ылдамдыгы** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO Al₂O₃ тазалыгын эсептөөгө киргизилген эмес.
* Кабаттоочу порошоксуз 29.4 МПа (300 кг/см²), бышыруу температурасы 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: 0,05 ~ 0,1% MgO кошуңуз, эригичтиги эң сонун, андыктан тазалыгы 99% дан ашкан алюминий кычкылынан жасалган керамикага колдонсо болот.
AES-22S: Жогорку калыптандыруу тыгыздыгы жана бышыруу линиясынын төмөнкү кичирейүү ылдамдыгы менен мүнөздөлөт, ал талап кылынган өлчөмдүү тактык менен тайгаланып куюу жана башка ири масштабдуу продукцияларга колдонулат.
AES-23 / AES-31-03: Ал AES-22Sке караганда жогорку калыптандыруу тыгыздыгына, тиксотропиясына жана төмөнкү илешкектүүлүгүнө ээ. Биринчиси керамикада колдонулат, ал эми экинчиси өрткө туруктуу материалдар үчүн сууну азайтуучу катары колдонулат жана популярдуулукка ээ болууда.
♦Кремний карбидинин (SiC) мүнөздөмөлөрү
| Жалпы мүнөздөмөлөр | Негизги компоненттердин тазалыгы (салмактык %) | 97 | |
| Түс | Кара | ||
| Тыгыздык (г/см³) | 3.1 | ||
| Суунун сиңирилиши (%) | 0 | ||
| Механикалык мүнөздөмөлөрү | Ийилүүнүн күчү (МПа) | 400 | |
| Жаш модуль (GPa) | 400 | ||
| Виккерс катуулугу (GPa) | 20 | ||
| Жылуулук мүнөздөмөлөрү | Максималдуу иштөө температурасы (°C) | 1600 | |
| Жылуулук кеңейүү коэффициенти | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| Жылуулук өткөрүмдүүлүгү (Вт/м x К) | 130 110 | ||
| Термикалык соккуга туруктуулук ΔT (°C) | 300 | ||
| Электр мүнөздөмөлөрү | Көлөмдүк каршылык | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Диэлектрик туруктуу | 10 ГГц | - | |
| Диэлектрикалык жоготуу (x 10-4) | - | ||
| Q фактору (x 104) | - | ||
| Диэлектрикалык бузулуу чыңалуу (кВ/мм) | - | ||
♦Кремний нитриди керамикасы
| Материал | Бирдик | Si₃N₄ |
| Атомдоштуруу ыкмасы | - | Газ басымы менен синтезделген |
| Тыгыздык | г/см³ | 3.22 |
| Түс | - | Кочкул боз |
| Суунун сиңүү ылдамдыгы | % | 0 |
| Жаш модуль | GPA | 290 |
| Виккерстин катуулугу | GPA | 18 - 20 |
| Кысылуу күчү | МПа | 2200 |
| Ийилүү күчү | МПа | 650 |
| Жылуулук өткөрүмдүүлүгү | Вт/мК | 25 |
| Термикалык шокко туруктуулук | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Максималдуу иштөө температурасы | °C | 1200 |
| Көлөмдүк каршылык | Ω·см | > 10 ^ 14 |
| Диэлектрик туруктуусу | - | 8.2 |
| Диэлектрикалык күч | кВ/мм | 16 |