Жарым өткөргүчтөр өнөр жайы 2 нмден төмөн процесстик түйүндөрдү агрессивдүү түрдө иликтеп жаткандыктан, механикалык каталардын чеги дээрлик жок болуп кетти. Бул жогорку тобокелдик чөйрөсүндө процесстик камеранын туруктуулугу экинчи орунда турбайт; ал кирешелүүлүк үчүн негизги тоскоолдук болуп саналат. ZHHIMG компаниясында биз дүйнөлүк OEM өндүрүүчүлөрүнүн жарым өткөргүч капиталдык жабдуулардын структуралык бүтүндүгүнө болгон мамилесинде түп-тамырынан бери өзгөрүүнү байкап жатабыз.
Тынчтык физикасы: Вибрацияны басаңдатуунун өркүндөтүлгөн ыкмалары
Заманбап пластиналарды жасоодо бир кезде "фондук ызы-чуу" деп эсептелген термелүүлөр азыр катастрофалык болуп калды. Бул мекеменин HVAC системасынан келип чыккан микротермелүүлөрбү же жогорку ылдамдыктагы сканерлөө баскычынын ички инерциясыбы, башкарылбаган энергия түздөн-түз катмарлардын каталарына жана бүдөмүк үлгүлөргө алып келет.
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдөгү учурдагы титирөөнү басуу ыкмалары көп катмарлуу архитектурага айланды. Пассивдүү демпферлөө - минералдык куюу же так гранит сыяктуу жогорку массалуу материалдарды колдонуу - негиз бойдон калса да, биз активдүү демпферлөө интеграциясынын кескин өсүшүн байкап жатабыз.
Активдүү системалар каршы жыштыктарды түзүү менен термелүүлөрдү "жокко чыгаруу" үчүн пьезоэлектрдик кыймылдаткычтарды жана реалдуу убакыттагы сенсорлорду колдонушат. Бирок, активдүү системалардын натыйжалуулугу негизги материалдын демпферлөө катышы менен чектелет. Дал ушул жерде ZHHIMG компаниясынын жогорку демпферлөөчү структуралык материалдар боюнча тажрыйбасы абдан маанилүү болуп калат. Активдүү электрониканы табигый инерттүү гранит же композиттик негиз менен айкалыштыруу менен, биз нано-позициялоо тоскоолдуксуз жүрө турган "Тынч зонаны" камсыз кылабыз.
Сүрүлбөс кыймылдын пайда болушу: аба подшипник технологиясы
Жогорку өткөрүү жөндөмдүүлүгүнө болгон суроо-талап салттуу механикалык подшипниктерди чегине жеткирди. Сүрүлүү жылуулукка, ал эми жылуулук жылуулук кеңейүүсүнө алып келет - тактыктын душманы. Бул кеңири колдонулушуна алып келдитактык этаптары үчүн аба көтөрүүчү технология.
Аба подшипниктери басымдуу абанын жука катмарына, адатта бир нече микрон калыңдыктагы, жүктү көтөрөт. Физикалык байланыш жок болгондуктан, статикалык сүрүлүү (жабышуу) нөлгө барабар. Бул төмөнкүлөргө мүмкүндүк берет:
-
Гистерезиссиз кыймыл: этаптын ар бир жолу так ошол эле нанометрдик координатага кайтып келишин камсыз кылуу.
-
Ылдамдыктын туруктуулугу: Электрондук нурларды текшерүү сыяктуу сканерлөө колдонмолору үчүн абдан маанилүү, анткени механикалык подшипниктин кичинекей "тиштүү кыймылы" да сүрөттү бурмалайт.
-
Өтө узак кызмат мөөнөтү: Тийиштүү бөлүктөрү жок болгондуктан, эскирүү жана бөлүкчөлөрдүн пайда болушу болбойт, бул аларды 1-класстагы таза бөлмө чөйрөлөрү үчүн идеалдуу кылат.
ZHHIMG компаниясында биз бул аба подшипниктери үчүн жол көрсөткүч катары кызмат кылган өтө жалпак гранит беттерин чыгарабыз. Туура иштеши үчүн, бул беттер жарык толкун узундугунун үлүштөрү менен өлчөнгөн тегиздикке чейин жылмаланышы керек.
Жарым өткөргүч капиталдык жабдууларындагы тенденциялар: 2026 жана андан кийинки жылдар
2026-жылга кадам таштап жатканыбызда,жарым өткөргүчтүү капиталдык жабдуулардагы тенденциялар"Үч мамыча" менен мүнөздөлөт: Модуляция, Туруктуулук жана Жылуулукту башкаруу.
-
Модулдук платформанын дизайны: OEM өндүрүүчүлөрү "кошуп, иштете турган" базалык модулдарды издеп жатышат. Ар бир шайман үчүн жаңы базаны долбоорлоонун ордуна, алар литография, метрология же гравюрага ылайыкташтырыла турган стандартташтырылган ZHHIMG тактык негиздерин колдонуп жатышат.
-
Жылуулук башкаруу: EUV (өтө ультрафиолет) жарык булактары эбегейсиз көп жылуулукту пайда кылгандыктан, машинанын негизи чоң жылуулук чыгаруучу катары иштеши керек. Биз $<0.01^\circ\text{C}$ дельтасын сактоо үчүн татаал муздатуу каналдарын түздөн-түз минералдык жана гранит компоненттерибизге интеграциялап жатабыз.
-
Вакуумдук шайкештик: Жогорку вакуумдук чөйрөлөргө көбүрөөк процесстер өткөн сайын, колдонулган материалдар нөлдүк газ бөлүп чыгарышы керек. Биздин атайын гранит жана керамика иштетүүбүз вакуумдун бүтүндүгүнүн конструкциялык пайдубал тарабынан эч качан бузулбашын камсыздайт.
ZHHIMG менен стратегиялык өнөктөштүк
ZHHIMG жөн гана компоненттерди өндүрүүчү эмес; биз кыймылды башкаруу жеткирүү чынжырындагы стратегиялык өнөктөшпүз. Кытайдагы биздин ишкана тармактагы эң татаал туруктуулук көйгөйлөрүн чечүү үчүн Кремний өрөөнүндөгү жана Эйндховендеги инженердик топтор менен тыгыз координацияда иштейт.
Биздин менчик айлантуу ыкмаларыбызды жана терең түшүнүгүбүздү колдонуу менентитирөөнү басуу ыкмалары, биз кардарларыбызга Мур мыйзамынын чектерин кеңейтүүгө мүмкүнчүлүк беребиз. Сиз кийинки муундагы ALD (Атомдук катмарды чөктүрүү) куралын же жогорку ылдамдыктагы пластина зонддоочу аспапты иштеп чыгып жатасызбы, пайдубал ZHHIMGден башталат.
Жыйынтык
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн эволюциясы физика мыйзамдарына каршы жарыш болуп саналат. Өнөр жай 2026-жылга карай жылып баратканда, аба подшипниктеринин тактыгына жана өнүккөн демпферлөөлөргө көңүл буруу күчөй берет. Бул тенденциялардан алдыда болуу үчүн тажрыйбага жана инновацияга негизделген – түзмө-түз жана каймана мааниде – пайдубал керек.
Жарыяланган убактысы: 2026-жылдын 26-январы