Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү цехинде айлана-чөйрөнүн шарттарына жана жабдуулардын тактыгына карата чипти өндүрүү процессинин талаптары өтө жогору жана кандайдыр бир аз четтөө чиптин түшүмдүүлүгүнүн олуттуу төмөндөшүнө алып келиши мүмкүн. XYZT тактык порталынын кыймыл платформасы наносөлчөмдүн тактыгына жетүү үчүн бекем пайдубалды түзүү үчүн платформанын башка бөлүктөрү менен кызматташуу үчүн гранит компоненттерине таянат.
Мыкты вибрацияны бөгөттөөчү касиеттери
Жарым өткөргүчтөрдү чыгаруучу цехте перифериялык жабдуулардын иштеши жана персоналдын айланасында жүрүүсү титирөөнү пайда кылышы мүмкүн. Гранит компоненттеринин ички түзүлүшү тыгыз жана бирдиктүү, эффективдүү титирөө "тоскоолдугу" сыяктуу табигый жогорку демпфиялык мүнөздөмөлөргө ээ. Тышкы титирөө XYZT платформасына өткөрүлүп берилгенде, гранит компоненти титирөө энергиясынын 80% дан ашыгын эффективдүү түрдө азайтып, платформа кыймылынын тактыгына титирөөнүн кийлигишүүсүн азайтат. Ошол эле учурда платформа гранит тетиктери менен бирдикте иштеген жогорку тактыктагы аба сүзүүчү багыттоочу система менен жабдылган. Аба сүзүүчү гид платформанын кыймылдуу бөлүктөрүнүн контактсыз суспензия кыймылын ишке ашыруу жана механикалык сүрүлүүдөн келип чыккан кичинекей титирөөнү азайтуу үчүн жогорку басымдагы газдан түзүлгөн туруктуу газ пленкасын колдонот. Экөө биргелешип, чип литографиясы жана оюу сыяктуу негизги процесстерде платформанын позициясын аныктоонун тактыгы ар дайым нанометрдик деңгээлде сакталып турушун камсыздайт жана титирөөдөн келип чыккан чип схемасынын схемаларынын четтөөсүнө жол бербейт.
Мыкты жылуулук туруктуулугу
Цехтеги температуранын жана нымдуулуктун терецдиги чип жасоочу жабдуулардын так иштешине зор таасирин тийгизет. Граниттин жылуулук кеңейүү коэффициенти өтө төмөн, көбүнчө 5-7 ×10⁻⁶/℃, температура өзгөргөндө көлөмү дээрлик өзгөрбөйт. Цехтеги күн менен түндүн ортосундагы температуранын айырмасы же жабдуулардын жылуулук өндүрүшү айлана-чөйрөнүн температурасынын өзгөрүшүнө алып келсе да, гранит компоненттери платформанын термикалык кеңейүү жана жыйрылышынын деформациясынын алдын алуу үчүн туруктуу бойдон кала алат. Ошол эле учурда, платформа менен жабдылган интеллектуалдык температураны башкаруу системасы айлана-чөйрөнүн температурасын реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөйт, кондиционерди жана жылуулукту таркатуучу жабдууларды автоматтык түрдө жөнгө салат жана цехтин температурасын 20 ° C ± 1 ° C деңгээлинде кармап турат. Граниттин жылуулуктун туруктуулугунун артыкчылыктары менен айкалышып, платформанын узак мөөнөттүү иштешин камсыздайт, кыймыл ар дайым ар бир микросхема метринин стандарттык тактыгына жооп берет. чип литография үлгүсүнүн өлчөмү так болушун камсыз кылуу үчүн, оюу тереңдиги бирдей.
Таза чөйрөнүн муктаждыктарын канааттандыруу
Жарым өткөргүчтөрдү чыгаруучу цех чаң бөлүкчөлөрүнүн чипти булгап кетишине жол бербөө үчүн жогорку деңгээлдеги тазалыкты сактоосу керек. Гранит материалы өзү чаң чыгарбайт, үстү жылмакай, чаңды сиңирип алуу оңой эмес. Жалпысынан платформа сырткы чаңдын киришин азайтуу үчүн толугу менен жабык же жарым-жартылай жабык конструкцияны кабыл алат. Ички аба айлануу системасы цехтин таза кондициялоо системасы менен байланыштырылып, ички абанын тазалыгы чип өндүрүшүндө талап кылынган деңгээлге жетет. Бул таза чөйрөдө гранит компоненттери чаң эрозиясынан улам иштөөгө таасир этпейт жана платформанын жогорку тактыктагы сенсорлор жана моторлору сыяктуу негизги компоненттер да туруктуу иштей алат, чип өндүрүшү үчүн үзгүлтүксүз жана ишенимдүү нано масштабдагы тактык кепилдикти камсыз кылат жана жарым өткөргүч өнөр жайына процесстин жогорку деңгээлине өтүүгө жардам берет.
Посттун убактысы: 14-апрель-2025