Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө фотолитография машинасы чиптердин тактыгын аныктоочу негизги түзүлүш болуп саналат, ал эми гранит негизи, көп функциялуу мүнөздөмөлөрү менен, фотолитография машинасынын ажырагыс бөлүгүнө айланган.
Термикалык туруктуулук: температуранын өзгөрүшүнө каршы "калкан"
Фотолитографиялык машина иштеп турганда, ал көп өлчөмдөгү жылуулукту бөлүп чыгарат. Температуранын 0,1°C гана өзгөрүшү жабдуунун компоненттеринин деформациясына алып келип, фотолитографиянын тактыгына таасир этиши мүмкүн. Граниттин жылуулук кеңейүү коэффициенти өтө төмөн, болгону 4-8 × 10⁻⁶/℃, бул болоттун кеңейүү коэффициентинин болжол менен 1/3 бөлүгүнө жана алюминий эритмесинин 1/5 бөлүгүнө барабар. Бул гранит негизинин фотолитографиялык машина узак убакыт иштегенде же айлана-чөйрөнүн температурасы өзгөргөндө өлчөмдүү туруктуулугун сактоого мүмкүндүк берет, бул оптикалык компоненттердин жана механикалык конструкциялардын так жайгашуусун камсыз кылат.
Термелүүгө каршы супер көрсөткүч: Термелүүнү сиңирип алган "губка"
Жарым өткөргүч заводдо айланадагы жабдуулардын иштеши жана адамдардын кыймылы термелүүлөрдү жаратышы мүмкүн. Граниттин тыгыздыгы жогору жана катуу текстурасы бар, ошондой эле ал эң сонун демпфердик касиетке ээ, демпфердик катышы металлдардыкына караганда 2ден 5 эсеге чейин жогору. Сырткы термелүү гранит негизине берилгенде, ички минералдык кристаллдардын ортосундагы сүрүлүү термелүү энергиясын жылуулук энергиясына айландырып, чачыратат, бул кыска убакыттын ичинде термелүүнү бир топ азайтып, фотолитография машинасына туруктуулукту тез калыбына келтирүүгө жана термелүүдөн улам фотолитографиялык схеманын бүдөмүктөнүшүнө же туура эмес жайгашуусуна жол бербейт.
Химиялык туруктуулук: Таза айлана-чөйрөнүн "сакчысы"
Фотолитография машинасынын ички бөлүгү ар кандай химиялык чөйрөлөр менен байланышта болот, ал эми кадимки металл материалдары коррозияга же бөлүкчөлөрдүн бөлүнүп чыгышына дуушар болот. Гранит кварц жана талаа шпаты сыяктуу минералдардан турат. Ал туруктуу химиялык касиеттерге жана күчтүү коррозияга туруктуулукка ээ. Кислота жана щелочтуу эритмелерге чылангандан кийин, беттик коррозия өтө аз болот. Ошол эле учурда, анын тыгыз түзүлүшү дээрлик эч кандай таштандыларды же чаңды пайда кылбайт, бул эң жогорку таза бөлмө стандарттарынын талаптарына жооп берет жана пластиналардын булгануу коркунучун азайтат.
Иштетүүнүн адаптацияланышы: Так эталондорду түзүү үчүн "идеалдуу материал"
Фотолитографиялык машинанын негизги компоненттери жогорку тактыктагы эталондук бетке орнотулушу керек. Граниттин ички түзүлүшү бирдей жана аны майдалоо, жылтыратуу жана башка ыкмалар аркылуу өтө жогорку тактыкка чейин иштетүү оңой. Анын тегиздиги ≤0,5 мкм/мге жетиши мүмкүн, ал эми беттин оройлугу Ra ≤0,05 мкм, бул оптикалык линзалар сыяктуу компоненттер үчүн так орнотуу негизин камсыз кылат.
Узак кызмат мөөнөтү жана техникалык тейлөөнү талап кылбайт: Чыгымдарды азайтуу үчүн "курч шаймандар"
Узак мөөнөттүү колдонууда чарчоого жана жарака кетүүгө жакын металл материалдары менен салыштырганда, гранит кадимки жүктөмдөр астында пластикалык деформацияга же сынууга дээрлик дуушар болбойт жана ал бетин иштетүүнү талап кылбайт, ошону менен каптоо сыйрылып, булгануу коркунучунан сактайт. Практикалык колдонмолордо, көп жылдар бою колдонулгандан кийин, гранит негизинин негизги көрсөткүчтөрү дагы эле туруктуу бойдон кала берет, бул жабдууларды эксплуатациялоо жана техникалык тейлөө чыгымдарын азайтат.
Гранит негизинин жылуулук туруктуулугунан, титирөөгө туруктуулугунан химиялык инерцияга чейин көптөгөн мүнөздөмөлөрү фотолитографиялык машинанын талаптарына толук жооп берет. Чиптерди өндүрүү процесси жогорку тактыкка карай өнүгүп жаткандыктан, гранит негиздери жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү тармагында алмаштыргыс ролду ойной берет.
Жарыяланган убактысы: 20-май, 2025-жыл