Тактык өндүрүшү жана илимий изилдөө тармактарында граниттен жасалган тактык платформаларынын тегиздиги жабдуулардын тактыгын камсыз кылуунун негизги көрсөткүчү болуп саналат. Төмөндө сиз үчүн бир нече негизги аныктоо ыкмалары жана алардын иштөө процедуралары жөнүндө кеңири маалымат берилген.
I. Лазердик интерферометрди аныктоо ыкмасы
Лазердик интерферометр жогорку тактыктагы тегиздикти аныктоо үчүн артыкчылыктуу курал болуп саналат. Мисал катары ZYGO GPI XP лазердик интерферометрин алалы, анын чечилиши 0,1 нмге жетиши мүмкүн. Аныктоону жүргүзүүдө алгач интерферометрдин жарык булагын платформа менен тегиздеп, платформанын бетин 50 мм × 50 мм торчо аймактарына бөлүңүз. Андан кийин, интерференциялык тилке маалыматтары чекит боюнча чогултулуп, маалыматтар дал келтирилип, тегиздик катасын алуу үчүн Зерник полиномун колдонуп талданды. Бул ыкма жогорку тактыктагы платформаларга колдонулат жана ≤0,5 мкм/м² тегиздик каталарын аныктай алат. Ал көбүнчө фотолитографиялык машиналарды жана жогорку класстагы үч координаталык өлчөөчү машина платформаларын аныктоодо колдонулат.
II. Электрондук деңгээл массиви ыкмасы
Электрондук деңгээл массивин аныктоо оңой жана абдан натыйжалуу. TESA A2 электрондук деңгээли (чечилиши 0,01 мкм/м) тандалып алынып, платформанын X/Y огу багыты боюнча 9×9 массивге жайгаштырылган. Ар бир деңгээлдин жантайыңкы маалыматтарын синхрондуу түрдө чогултуу жана андан кийин эсептөө үчүн эң кичине квадраттар ыкмасын колдонуу менен тегиздиктин маанисин так алууга болот. Бул ыкма платформанын жергиликтүү оюк жана томпок шарттарын натыйжалуу аныктай алат. Мисалы, 50 мм диапазондогу 0,2 мкм термелүүнү да аныктоого болот, бул массалык өндүрүштө тез аныктоо үчүн ылайыктуу.
III. Оптикалык жалпак кристалл ыкмасы
Оптикалык жалпак кристалл ыкмасы кичинекей аянттагы платформаларды аныктоо үчүн ылайыктуу. Оптикалык жалпак кристаллды платформада сыноо үчүн бетке бекем бекитип, монохроматтык жарык булагынын (мисалы, натрий лампасынын) жарыгында алардын ортосунда пайда болгон интерференциялык тилкелерди байкаңыз. Эгерде тилкелер параллель түз тилкелер болсо, анда бул жакшы тегиздикти көрсөтөт. Эгерде ийри тилкелер пайда болсо, тилкенин ийрилик даражасына негизделген тегиздик катасын эсептеңиз. Ар бир ийри тилке 0,316 мкм бийиктик айырмасын билдирет жана тегиздик маалыматтарын жөнөкөй конвертациялоо аркылуу алууга болот.
Төртүнчү. Үч координаталуу өлчөөчү машинаны текшерүү ыкмасы
Үч координаталуу өлчөөчү машина үч өлчөмдүү мейкиндикте жогорку тактыктагы өлчөөгө жетише алат. Гранит платформасын өлчөөчү машинанын жумушчу столуна коюп, зондду колдонуп, платформанын бетиндеги бир нече өлчөө чекиттеринен маалыматтарды бирдей чогултуңуз. Өлчөөчү машинанын системасы бул маалыматтарды иштетип жана талдап, платформанын тегиздиги жөнүндө отчет түзөт. Бул ыкма тегиздикти гана аныктабастан, платформанын башка геометриялык параметрлерин бир эле учурда ала алат жана чоң гранит платформаларын комплекстүү аныктоого ылайыктуу.
Бул аныктоо ыкмаларын өздөштүрүү гранит тактык платформасынын тегиздигин так баалоого жардам берет жана тактык жабдууларынын туруктуу иштеши үчүн ишенимдүү кепилдик берет.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 29-майы