Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдөгү тактык революциясы: Гранит микрон технологиясы менен кездешкенде
1.1 Материал таануудагы күтүлбөгөн ачылыштар
SEMI Эл аралык жарым өткөргүчтөр ассоциациясынын 2023-жылдагы отчетуна ылайык, дүйнөдөгү өнүккөн фабрикалардын 63% салттуу металл платформалардын ордуна гранит негиздерин колдоно башташкан. Жердин тереңиндеги магманын конденсациясынан келип чыккан бул табигый таш өзүнүн уникалдуу физикалык касиеттеринен улам жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү тарыхын кайра жазып жатат:
Жылуулук инерциясынын артыкчылыгы: граниттин 4.5×10⁻⁶/℃ жылуулук кеңейүү коэффициенти дат баспас болоттун жылуулук кеңейүү коэффициентинин 1/5 бөлүгүн гана түзөт, ал эми литографиялык машинанын үзгүлтүксүз иштешинде ±0.001 мм өлчөмдүү туруктуулук сакталат.
Вибрацияны басуу мүнөздөмөлөрү: ички сүрүлүү коэффициенти чоюнга караганда 15 эсе жогору, жабдуулардын микровибрациясын натыйжалуу сиңирип алат
Нөлдүк магниттештирүү мүнөзү: лазердик өлчөөдөгү магниттик катаны толугу менен жок кылат
1.2 Меникиден фабрикага чейинки метаморфоздук сапар
Мисалы, Шаньдун шаарындагы ZHHIMG компаниясынын интеллектуалдык өндүрүш базасын алсак, чийки граниттин бир бөлүгү төмөнкүлөргө дуушар болушу керек:
Өтө так иштетүү: беш огу бар байланыш иштетүү борбору 200 саат үзгүлтүксүз фрезерлөө үчүн, бетинин оройлугу Ra0.008μm чейин
Жасалма картаюу: туруктуу температура жана нымдуулук цехинде 48 саат бою табигый стресстен арылуу, бул продуктунун туруктуулугун 40% га жакшыртат
Экинчиден, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн "таш чечиминин" алты тактык маселесин чечип алыңыз
2.1 Вафлилердин фрагментация ылдамдыгын төмөндөтүү схемасы
Мисалдын демонстрациясы: Германиядагы чип куюучу завод биздин газ менен калкып жүрүүчү гранит платформабызды колдонгондон кийин:
| Вафли диаметри | чип ылдамдыгын азайтуу | тегиздикти жакшыртуу |
| 12 дюйм | 67% | ≤0,001 мм |
| 18 дюйм | 82% | ≤0.0005 мм |
2.2 Литографиялык тегиздөөнүн тактыгынын ачылыш схемасы
Температураны компенсациялоо системасы: орнотулган керамикалык сенсор форманын өзгөрмөсүн реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөйт жана платформанын жантайышын автоматтык түрдө тууралайт
Өлчөнгөн маалыматтар: 28℃±5℃ термелүүсүндө, киргизүүнүн тактыгы 0,12μmден аз өзгөрүп турат
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 24-марты